提供了有机发光显示装置及其制造方法。有机发光显示装置包括：在基板上的发光元件；以及在发光元件上的封装单元，封装单元包括多个无机封装层以及在无机封装层之间的至少一个有机封装层，无机封装层中的至少一个包括多个无机绝缘层和在无机绝缘层之间的至少一个元件封装层，至少一个元件封装层包含疏水性元素和惰性元素中的至少一个。布置在无机绝缘层下的元件封装层使用疏水性元素和惰性元素中的任一个形成，而布置在无机绝缘层上的元件封装层使用疏水性元素和惰性元素中的另一个形成。层使用疏水性元素和惰性元素中的另一个形成。层使用疏水性元素和惰性元素中的另一个形成。
【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置及其制造方法
[0001]本专利技术申请是申请日期为2017年10月30日、申请号为“201711033711.9”、专利技术名称为“有机发光显示装置及其制造方法”的专利技术专利申请的分案申请。
[0002]相关申请的交叉引用
[0003]本申请要求于2016年10月31日提交的韩国申请第10
‑
2016
‑
0143975号的优先权，其整体通过引用并入本文。
[0004]本公开涉及有机发光显示装置及其制造方法。
技术介绍
[0005]薄膜晶体管(TFT)被用作平板显示器的开关元件和/或驱动元件。根据用于有源层的材料，薄膜晶体管分为使用非晶硅的薄膜晶体管、使用多晶硅的薄膜晶体管和使用氧化物半导体的薄膜晶体管。其中，使用氧化物半导体的薄膜晶体管与使用非晶硅的薄膜晶体管相比具有高迁移率，并且与使用非晶硅的薄膜晶体管和使用多晶硅的薄膜晶体管相比具有低得多的漏电流和优异的可靠性。此外，使用氧化物半导体的薄膜晶体管具有确保与使用多晶硅的薄膜晶体管相比更均匀的阈值电压(Vth)分布的优点。
[0006]使用氧化物半导体的薄膜晶体管上形成有多个无机膜。当通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)形成无机膜时，无机膜中的氢含量为约15％至30％。当存在于无机膜中的氢扩散到薄膜晶体管的有源层中时，扩散的氢与存在于氧化物半导体中的氧反应，从而改变薄膜晶体管的特性(例如阈值电压)，并且不利地导致薄膜晶体管的可靠性劣化。
技术实现思路
[0007]因此，本公开涉及基本上消除了由于相关技术的限制和缺点导致的一个或更多个问题的有机发光显示装置及其制造方法。
[0008]在一个方面中，本公开的实施例可提供有机发光显示装置以减少或防止薄膜晶体管的劣化，从而提高可靠性，以及制造有机发光显示装置的方法。
[0009]另外的特征和方面将在下面的说明书中进行阐述，而这些另外的特征和方面的一部分则由说明书而显见或者可通过实践本文所提供的专利技术构思而得知。专利技术构思的其他特征和方面可通过说明书给出的、或可由其推论的和权利要求以及附图中具体指出的结构来实现和获得。
[0010]为了实现专利技术构思的这些和其他方面，如所体现和广义描述的，提供了有机发光显示装置，其包括：在基板上的发光元件；以及在发光元件上的封装单元，封装单元包括多个无机封装层以及在无机封装层之间的至少一个有机封装层，无机封装层中的至少一个包括多个无机绝缘层和在无机绝缘层之间的至少一个元件封装层，至少一个元件封装层包含疏水性元素和惰性元素中的至少一个。布置在无机绝缘层下的元件封装层使用疏水性元素和惰性元素中的任一个形成，而布置在无机绝缘层上的元件封装层使用疏水性元素和惰性
元素中的另一个形成。
[0011]在另一方面中，提供了制造有机发光显示装置的方法，其包括：在基板上提供发光元件；以及在发光元件上提供封装单元，提供封装单元包括：提供多个无机封装层，以及在无机封装层之间提供至少一个有机封装层，提供无机封装层中的至少一个包括提供多个无机绝缘层，和在无机绝缘层之间提供至少一个元件封装层，提供至少一个元件封装层包括提供疏水性元素和惰性元素中的至少一个。布置在无机绝缘层下的元件封装层使用疏水性元素和惰性元素中的任一个形成，而布置在无机绝缘层上的元件封装层使用疏水性元素和惰性元素中的另一个形成。
[0012]在审视以下附图及详细描述之后，本专利技术的其他系统、方法、特征及优点将对本领域技术人员变得显见。目的在于所有这些附加系统、方法、特征和优点被包括在本说明书内、在本公开的范围内，并且得到所附权利要求的保护。在这部分中没有应被认为限制那些权利要求的内容。下面结合本公开的实施例来讨论进一步的方面和优点。应理解，本公开的前述一般性描述和以下详细描述均为示例和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的本公开的进一步说明。
附图说明
[0013]附图示出了本公开的实施方式并且与说明书一起用于说明本公开的各种原理，附图被包括以提供对本公开的进一步理解并且被并入在该说明书中且构成该说明书的一部分。
[0014]图1示出了根据本公开的实施例的有机发光显示装置。
[0015]图2是示出沿着图1的I
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I'线截取的有机发光显示装置的截面图。
[0016]图3是示出图1所示的包括驱动薄膜晶体管的有机发光显示装置的截面图。
[0017]图4是图示了图2和图3中示出的无机绝缘层和元件封装层的特性的截面图。
[0018]图5A至5D是示出根据本公开的多个实施例的包括元件封装层的封装单元的截面图。
[0019]图6A至6E是示出制造图2所示的有机发光显示装置的方法的截面图。
[0020]图7是示出根据本公开的另一个实施例的包括图2和图3所示的无机绝缘层和元件封装层的有机发光显示装置的截面图。
[0021]在整个附图和详细说明书中，除非另有说明，否则相同的附图标记应理解为是指相同的元件、特征和结构。为了清楚、说明和方便，这些元件的相对尺寸和描绘可能被放大。
具体实施方式
[0022]现在将详细地参照本公开的一些实施例，这些实施例的示例在附图中示出。在以下描述中，当确定与本文件相关的公知功能或配置的详细描述不必要地模糊本专利技术构思的要点时，将省略其详细描述。所描述的处理步骤和/或操作的进展为示例；然而，除了必须以特定顺序发生的步骤和/或操作之外，步骤和/或操作的顺序不限于本文所阐述的那些，并且可以如本领域已知的那样被改变。相同的附图标记始终表示相同的元件。以下说明中使用的各个元件的名称仅为了便于书写说明书而选择，因此可能与实际产品中使用的那些不同。
[0023]在实施例的描述中，当结构被描述为设置在另一结构“上或上方”或者“下或下方”时，该描述应被解释为包括其中结构彼此接触以及在其间设置有第三结构的情况。
[0024]图1示出了根据本公开的一个实施例的有机发光显示装置。图2是沿着图1的I
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I'线截取的有机发光显示装置的截面图。
[0025]如图1的示例所示，根据本公开的一个实施例的有机发光显示装置可包括有源区AA和焊盘区PA。焊盘区PA中可以有多个焊盘。多个焊盘各自可以向布置在有源区AA中的扫描线SL、数据线DL、低电压电源(VSS)线和高电压电源(VDD)线提供驱动信号。焊盘可通过覆盖有源区AA的封装单元140而暴露。例如，如图2所示，保护膜198可以例如通过粘合层196附着到封装单元140上。该保护膜可附着到封装单元140的上表面和侧表面上。粘合层可以是例如压敏粘合剂(PSA)。
[0026]有源区AA可通过包括发光元件120的单元像素来显示图像。单元像素可包括例如红色(R)子像素、绿色(G)子像素和蓝色(B)子像素，或者红色(R)子像素、绿色(G)子像素、蓝色(B)子像素和白色(W)子像素。每个子像素可包括像素驱动电路和连接至像素驱动电路的发光元件120。
[0027]像素驱动电路可本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种有机发光显示装置，包括：在基板上的发光元件；以及在所述发光元件上的封装单元，所述封装单元包括：多个无机封装层，所述无机封装层中的至少一个包括：多个无机绝缘层；和在所述无机绝缘层之间的至少一个元件封装层，所述至少一个元件封装层包含疏水性元素和惰性元素中的至少一个；以及在所述无机封装层之间的至少一个有机封装层，其中，布置在所述无机绝缘层下的所述元件封装层使用所述疏水性元素和所述惰性元素中的任一个形成，而布置在所述无机绝缘层上的所述元件封装层使用所述疏水性元素和所述惰性元素中的另一个形成。2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，还包括：连接至所述发光元件的驱动薄膜晶体管；和连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。3.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中：所述疏水性元素基于碳氟CF元素；以及所述惰性元素包括Ar、He、N2和Ne中的至少一种。4.根据权利要求3所述的有机发光显示装置，其中，所述碳氟CF元素包括CF4和C4F8中的至少一种。5.根据权利要求3所述的有机发光显示装置，还包括：连接至所述发光元件的驱动薄膜晶体管；和连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。6.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述无机绝缘层包含硅氮化物SiN
x
、硅氧化物SiO
x
和氮氧化硅SiON中的一个或多个。7.根据权利要求6所述的有机发光显示装置，还包括：连接至有机发光元件的驱动薄膜晶体管；和连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。8.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中：所述无机封装层中的所述无机绝缘层的总厚度为至各元件封装层比相邻的无机绝缘层薄；并且各元件封装层的厚度为至9.根据权利要求8所述的有机发光显示装置，还包括：
连接至有机发光元件的驱动薄膜晶体管；和连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。10.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中：所述有机封装层上的所述无机封装层的层结构相对于所述有机封装层与所述有机封装层下的所述无机封装层的层结构对称。11.根据权利要求10所述的有机发光显示装置，其中：所述有机封装层上的所述无机封装层具有其中布置在所述无机绝缘层下的所述元件封装层使用所述疏水性元素形成，而布置在所述无机绝缘层上的所述元件封装层使用所述惰性元素形成的层结构，以及所述有机封装层下的所述无机封装层...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴载映，孙石宇，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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