翘片检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种翘片检测装置，包括机架、检测机构、光源机构以及用于运输石墨舟的输送机构，机架上由下至上依次设置有输送机构、光源机构和检测机构；光源机构包括光源和安装架，安装架上设有光源，安装架设于机架上。本实用新型专利技术将光源直接固定在石墨舟的上方形成固定光源，省略了传统设备上用于驱动光源进行移动的组件以及与移动光源配合工作的吹气组件，大大简化了设备结构，而且杜绝了光源撞到石墨舟和舟托的风险，从而减少了不必要的损失。失。失。

【技术实现步骤摘要】
翘片检测装置


[0001]本技术涉及检测设备
，尤其涉及翘片检测装置。

技术介绍

[0002]翘片检测(检测硅片在石墨舟中的翘曲度，便于机械手取放)在硅片生产工艺中是不可或缺的一步。在对石墨舟翘片进行检测时，传统设备是通过输送机构移送石墨舟，通过光源气缸带动光源移动至石墨舟下方对其进行照射，然后通过检测机构对石墨舟翘片进行检测，从而完成对石墨舟翘片的检测。但是光源需要通过机构将光源伸入移动的石墨舟和舟托之间，在光源深入石墨舟和舟托过程中，光源有撞到石墨舟和舟托的风险。而且整个设备相对较复杂，设备成本较高。

技术实现思路

[0003]为了解决上述的技术问题，本技术提供一种翘片检测装置，包括机架、检测机构、光源机构以及用于运输石墨舟的输送机构，所述机架上由下至上依次设置有输送机构、光源机构和检测机构；
[0004]所述光源机构包括光源和安装架，所述安装架上设有光源，所述安装架设于所述机架上。
[0005]采用以上技术方案，所述检测机构包括相机和相机支架，所述相机支架倾斜设置于所述机架上，所述相机支架上设有相机。
[0006]采用以上技术方案，所述相机支架的数量为若干，若干相机支架分成两组，两组相机支架向相反的方向倾斜设置。
[0007]采用以上技术方案，所述检测机构还包括固定架，相机通过固定架连接机架。
[0008]采用以上技术方案，所述检测机构包括支撑杆，所述支撑杆设于所述机架上，所述支撑杆上设有固定架。
[0009]采用以上技术方案，所述输送机构包括驱动源、输送架以及传输皮带，所述输送架上设置有主动辊和从动辊，所述主动辊与从动辊通过传输皮带连接，所述驱动源与所述主动辊驱动连接。
[0010]采用以上技术方案，所述驱动源为电机。
[0011]采用以上技术方案，所述输送机构还包括导向板，输送架两侧设置导向板，所述导向板上设置有弧形导向面。
[0012]相较于现有技术而言，本技术将光源直接固定在石墨舟的上方形成固定光源，省略了传统设备上用于驱动光源进行移动的组件以及与移动光源配合工作的吹气组件，大大简化了设备结构，而且杜绝了光源撞到石墨舟和舟托的风险，从而减少了不必要的损失。
附图说明
[0013]图1是本技术的一结构示意图。
[0014]图2是图1上A部的局部放大示意图。
[0015]图3是图1上B部的局部放大示意图。
[0016]图4是本技术的另一结构示意图。
[0017]图5是图4上C部的局部放大示意图。
[0018]图中标号说明：1、机架；2、检测机构；21、相机；22、相机支架；23、固定架；24、支撑杆；3、光源机构；31、光源；32、安装架；4、输送机构；41、驱动源；42、输送架；43、传输皮带；44、导向板；45、主动辊；46、从动辊。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0021]参照图1至图5所示，本技术实施例提供一种翘片检测装置，包括机架1、检测机构2、光源机构3以及用于运输石墨舟的输送机构4，机架1上由下至上依次设置有输送机构4、光源机构3和检测机构2。即光源机构3设置在输送机构4的上方，检测机构2设置在输送机构4的上方。
[0022]通过输送机构4移送承载有石墨舟的舟托，石墨舟上方的光源31对其进行照射，通过检测机构2对石墨舟翘片进行检测，从而完成对石墨舟翘片的检测作业。具体的，光源机构3包括光源31和安装架32，安装架32上设有光源31，安装架32设于机架1上，以使光源31在机架1上形成固定光源31，较于现有技术而言，本技术将光源31直接固定在石墨舟的上方形成固定光源31，省略了传统设备上用于驱动光源31进行移动的组件以及与移动光源31配合工作的吹气组件，大大简化了设备结构，而且杜绝了光源31撞到石墨舟和舟托的风险，从而减少了不必要的损失。
[0023]检测机构2包括相机21和相机支架22，相机支架22倾斜设置于机架1上，相机支架22上设有相机21，相机支架22的数量为若干。优选的，本技术相机21的数量为4个，4个相机21分成两组，即每组有2个相机21，两组相机支架22向相反的方向倾斜设置，以使4个相机21倾斜设置，从而能够增加相机21的拍摄范围。如此可以将机架1的高度调低一点，便于设备调试。
[0024]为了保证相机21固定的稳定性，本技术检测机构2包括固定架23和支撑杆24，支撑杆24设于机架1上，支撑杆24上设有固定架23，相机21通过固定架23连接机架1。
[0025]输送机构4包括驱动源41、输送架42、传输皮带43和导向板44，输送架42上设置有主动辊45和从动辊46，主动辊45与从动辊46通过传输皮带43连接，驱动源41与主动辊45驱动连接，输送架42的两侧设置导向板44，导向板44上设置有弧形导向面。优选的，驱动源41为电机，电机通过主动辊45带动从动辊46旋转，从而实现传输皮带43对石墨舟的输送。
[0026]以上所述实施例仅是为充分说明本技术而所举的较佳的实施例，本技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本技术基础上所作的等同替代或变换，均在本技术的保护范围之内。本技术的保护范围以权利要求书为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种翘片检测装置，其特征在于：包括机架、检测机构、光源机构以及用于运输石墨舟的输送机构，所述机架上由下至上依次设置有输送机构、光源机构和检测机构；所述光源机构包括光源和安装架，所述安装架上设有光源，所述安装架设于所述机架上。2.如权利要求1所述的翘片检测装置，其特征在于：所述检测机构包括相机和相机支架，所述相机支架倾斜设置于所述机架上，所述相机支架上设有相机。3.如权利要求2所述的翘片检测装置，其特征在于：所述相机支架的数量为若干，若干相机支架分成两组，两组相机支架向相反的方向倾斜设置。4.如权利要求2所述的翘片检测装置，其特征在于：所述检测机构还...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，王涛，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：