反射式纯相位液晶空间光调制器及其制备、盒厚测试方法技术

本发明专利技术提供一种反射式纯相位液晶空间光调制器及其制备、盒厚测试方法，解决现有反射式液晶空间光调制器存在靶面尺寸较小、封装容易出现盒厚不均、盒厚均一性较差的问题。该调制器中，上盖板玻璃、第二电极层、上取向层由上至下依次设置形成上基板；下取向层、第一电极层、像素电路层、下盖板玻璃由上至下依次设置形成下基板；透明支撑柱设置在液晶分子层中，排布在像素非开口区；像素电路层采用大面阵薄膜晶体管TFT

【技术实现步骤摘要】
反射式纯相位液晶空间光调制器及其制备、盒厚测试方法


[0001]本专利技术属于空间光调控器件领域，具体涉及一种反射式纯相位液晶空间光调制器及其制备、盒厚测试方法。

技术介绍

[0002]液晶空间光调制器是一种基于液晶光电特性，对光场强度和相位分布进行二维调制的器件，其已广泛应用于教学、科研、光通讯、显示以及工业等领域。同时，液晶空间光调制器由于具有分辨率高、调制范围大、图案加载灵活等优点，在微显示、全息投影、光通讯等领域也被广泛关注。液晶光阀是液晶空间光调制器的核心器件，液晶分子在电场作用下发生偏转，改变液晶光阀的光学特性，从而实现对光场调制。液晶空间光调制器根据光路分为透射式和反射式，根据基板类型分为TFT和LCoS两类，TFT基板一般用于透射式液晶空间光调制器，LCoS基板一般用于反射式液晶空间光调制器。
[0003]图1a和图1b为现有LCOS型反射式纯相位液晶空间光调制器和TFT型透射式纯相位液晶空间光调制器的光调控器件液晶光阀的结构图。现有反射式纯相位液晶空间光调制器尺寸一般在0.26”～1.2”，尺寸较小，从图1a中可以看出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反射式纯相位液晶空间光调制器，其特征在于：包括上盖板玻璃、第二电极层、上取向层、液晶分子层、下取向层、第一电极层、像素电路层、下盖板玻璃和透明支撑柱；所述上盖板玻璃、第二电极层、上取向层由上至下依次设置形成上基板，且上盖板玻璃上设置有遮光层；所述下取向层、第一电极层、像素电路层、下盖板玻璃由上至下依次设置形成下基板；所述透明支撑柱与第二电极层连接，其设置在液晶分子层中，排布在像素非开口区；所述像素电路层采用大面阵薄膜晶体管TFT
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LCD电路基板；所述第一电极层包括反射层和设置在反射层两侧的保护层，用于实现TFT
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LCD电路基板的反射式光路；所述液晶分子层设置在上基板和下基板之间，且液晶分子层的四周设置有周边框胶，所述透明支撑柱、周边框胶和液晶分子实现盒厚均一。2.根据权利要求1所述的反射式纯相位液晶空间光调制器，其特征在于：所述反射层为Ag层或Al层，所述保护层为ITO层或Ti层。3.根据权利要求2所述的反射式纯相位液晶空间光调制器，其特征在于：所述第一电极层包括依次设置的ITO层、Ag层和ITO层，或者依次设置的ITO层、Al层和ITO层，或者依次设置的Ti层、Ag层和Ti层。4.根据权利要求1或2或3所述的反射式纯相位液晶空间光调制器，其特征在于：所述上盖板玻璃、第二电极层之间设置有色阻层。5.根据权利要求4所述的反射式纯相位液晶空间光调制器，其特征在于：所述透明支撑柱通过采用涂胶、光刻的方式在第二电极层上制作。6.根据权利要求5所述的反射式纯相位液晶空间光调制器，其特征在于：透明支撑柱的形状为圆柱状、圆台状或椭圆条状。7.根据权利要求6所述的反射式纯相位液晶空间光调制器，其特征在于：所述液晶分子层为ECB模...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛利军，赵卫，夏高飞，王华，高宇，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：