中空纤维膜组件制造技术

本发明专利技术提供一种中空纤维膜组件。中空纤维膜组件(100)包括：多个中空纤维膜(10)；容器(20)，其收纳多个中空纤维膜(10)；以及供给水入口(201)，其以供给水向容器(20)的内部的流入方向与多个中空纤维膜(10)的长度方向平行的方式设于容器(20)的一端部。0.1MPa的膜间压差时的中空纤维膜(10)的渗透通量为850升/m2/h以上。h以上。h以上。

【技术实现步骤摘要】
中空纤维膜组件


[0001]本专利技术涉及一种中空纤维膜组件。

技术介绍

[0002]在半导体器件的制造中，大量的超纯水是不可欠缺的。超纯水能够利用具备中空纤维膜组件的水处理系统制造。中空纤维膜组件配置于水处理系统的规定的位置，主要贡献于对半导体器件的制造带来较大的阻碍的细颗粒的去除。
[0003]为了去除中空纤维膜的表面的污垢(fouling)、附着于中空纤维膜的表面的细颗粒、积存于容器的内部的细颗粒等异物，有时对中空纤维膜组件进行清洗。清洗例如定期地进行。
[0004]专利文献1中公开有一种在中空纤维膜的出口侧的端部的附近设有渗透流体的紊流构件的外压型的中空纤维膜组件。专利文献2公开一种中空纤维膜组件的反洗方法。
[0005]专利文献1：日本特开平5
‑
137972号公报
[0006]专利文献2：日本特开2016
‑
179430号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]在中空纤维膜组件的清洗过程中，来自中空纤维膜组件的超纯水的供给停止。因此，期望中空纤维膜组件的清洗所花费的时间尽可能较短。作为缩短清洗时间的方法之一，考虑增加清洗液的流量。但是，若增加流量，则中空纤维膜受到损伤的可能性也会升高。
[0009]本专利技术的目的在于防止中空纤维膜的损伤并且缩短中空纤维膜组件的清洗所花费的时间。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]本专利技术提供一种中空纤维膜组件，其为外压型的中空纤维膜组件，其中，
[0012]该中空纤维膜组件包括：
[0013]多个中空纤维膜；
[0014]容器，其收纳所述多个中空纤维膜；以及
[0015]供给水入口，其以供给水向所述容器的内部的流入方向与所述多个中空纤维膜的长度方向平行的方式设于所述容器的一端部，
[0016]0.1MPa的膜间压差时的所述中空纤维膜的渗透通量为850升/m2/h以上。
[0017]专利技术的效果
[0018]本专利技术的中空纤维膜组件能够防止中空纤维膜的损伤并且在短时间内被充分清洗。
附图说明
[0019]图1是本专利技术的一实施方式的中空纤维膜组件的纵剖视图。
[0020]图2是隔板的俯视图和剖视图。
[0021]图3A是内层网和外层网的立体图。
[0022]图3B是表示内层网与外层网之间的位置关系的图。
[0023]图3C是表示内层网与外层网之间的另一位置关系的图。
[0024]图4是说明供给水的流入方向与中空纤维膜的长度方向垂直时产生的问题的图。
[0025]图5是使用了中空纤维膜组件的水处理系统的一个例子的结构图。
[0026]图6是表示清洗试验的结果的图表。
具体实施方式
[0027]以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。本专利技术并不限定于以下的实施方式。
[0028]图1是本专利技术的一实施方式的中空纤维膜组件100的纵剖视图。中空纤维膜组件100具备容器20以及多个中空纤维膜10。中空纤维膜组件100为外压型的中空纤维膜组件。“外压型”是指供给水在中空纤维膜10的外部流动且渗透水在中空纤维膜10的内部流动的形式。在本实施方式中，供给水为应被处理的水。渗透水为超纯水。中空纤维膜组件100例如用于制造超纯水。
[0029]容器20为收纳多个中空纤维膜10的部件。在容器20设有供给水入口201、渗透水出口202以及浓缩水出口203。供给水入口201以供给水向容器20的内部的流入方向与多个中空纤维膜10的长度方向平行的方式设于容器20的一端部。根据这样的构造，能够避免供给水自与中空纤维膜10的长度方向垂直的方向与中空纤维膜10直接碰撞。因此，中空纤维膜10不易损伤。
[0030]渗透水出口202以渗透水向容器20的外部的流出方向与多个中空纤维膜10的长度方向平行的方式设于容器20的另一端部。浓缩水出口203以供给水的自容器20的内部向外部的流出方向与多个中空纤维膜10的长度方向垂直的方式设于容器20的另一端部。这样的构造也有助于上述的效果。
[0031]容器20包括容器主体20a、盖20b以及盖20c。容器主体20a为两端部开口的圆筒状的部件。盖20b和盖20c为安装于容器主体20a的一端部和另一端部的漏斗形的部件。盖20b和盖20c能够相对于容器主体20a装卸。盖20b和容器主体20a利用螺栓、螺丝等紧固构件互相固定。同样地，盖20c和容器主体20a利用螺栓、螺丝等紧固构件互相固定。供给水入口201为设于盖20b的开口部。渗透水出口202为设于盖20c的开口部。浓缩水出口203为设于容器主体20a的开口部。在供给水入口201、渗透水出口202以及浓缩水出口203可以连接配管、连接器等部件。
[0032]在中空纤维膜组件100中，容器20的开口部为供给水入口201、渗透水出口202以及浓缩水出口203这三个。与在容器设有4个开口部的情况相比较，根据中空纤维膜组件100，配管的连接部较少。这一点有助于包含中空纤维膜组件100的水处理系统的简化和低成本化。
[0033]在容器20的内部存在作为流路发挥功能的内部空间SP1、SP2以及SP3。内部空间SP1为容器主体20a的内部空间，且作为供给水流路发挥功能。内部空间SP2为盖20b的内部空间，且作为供给水流路发挥功能。内部空间SP3为盖20c的内部空间，且作为渗透水流路发挥功能。多个中空纤维膜10朝向内部空间SP3开口。渗透水经由盖20c的内部空间SP3自中空
纤维膜10被送往中空纤维膜组件100的外部。
[0034]容器20的材料没有特殊限定。容器20可以由氯乙烯、聚碳酸酯、聚砜等树脂制作。
[0035]多个中空纤维膜10互相平行地排列。中空纤维膜10的长度方向与容器20的长度方向平行。作为中空纤维膜10，可列举微滤膜、超滤膜、反渗透膜等。典型而言，中空纤维膜10为超滤膜。中空纤维膜10的数量、尺寸以及材料没有特别限定。中空纤维膜10的数量例如为1000～20000根。中空纤维膜10的外径例如为0.2～2.0mm。中空纤维膜10的长度例如为800～1200mm。作为中空纤维膜10的材料，可列举聚砜、聚醚砜、聚偏二氟乙烯、聚丙烯腈、聚氯乙烯
‑
聚丙烯腈共聚物、聚酰胺、醋酸纤维素等。
[0036]在中空纤维膜10由超滤膜制作时，其截留分子量例如为1000～500000的范围内。“截留分子量”的词语的意思是能被对象的膜阻止90％以上的低浓度的球状溶质(典型而言为蛋白质分子)的大概的分子量。
[0037]典型而言，中空纤维膜10在内表面侧和外表面侧这两侧具有皮层。在皮层与皮层之间存在海绵层。海绵层为具有比皮层的密度低的密度的多孔质层。这样的构造也被称作双皮层构造。由于供给水被两个皮层过滤两次，因此，根据具有双皮层构造的中空纤维膜10，能够达成较高的阻止率。即使在外表面侧的皮层存在有缺陷，只要内表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中空纤维膜组件，其为外压型的中空纤维膜组件，其中，该中空纤维膜组件包括：多个中空纤维膜；容器，其收纳所述多个中空纤维膜；以及供给水入口，其以供给水向所述容器的内部的流入方向与所述多个中空纤维膜的长度方向平行的方式设于所述容器的一端部，0.1MPa的膜间压差时的所述中空纤维膜的渗透通量为850升/m2/h以上。2.根据权利要求1所述的中空纤维膜组件，其中，所述中空纤维膜的拉伸强度为0.20kgf以上。3.根据权利要求1所述的中空纤维膜组件，其中，该中空纤维膜组件还包括：多个内层网，其以使所述多个中空纤维膜分成多束的方式将所述多个中空纤维膜捆住；以及外层网，其将所述多个内层网捆住。4.根据权利要求1所述的中空纤维膜组件，其中，该中空纤维膜组件还包括：第1束缚部，其设...

【专利技术属性】
技术研发人员：田口将光，藤冈宏树，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：