【技术实现步骤摘要】
一种研磨液浓度可视化装置
[0001]本技术涉及TFT
‑
LCD研磨
,尤其涉及一种研磨液浓度可视化装置。
技术介绍
[0002]研磨液添加时,人员需要拿着量具,从研磨机出液口接出抛光液进行测量,该方式有三个缺点。正在抛光的机台,接出抛光液时,机台会有短时的无液研磨。且量具有脏污时,易造成在制产品的品质异常。制成过程想知道研磨液浓度变化时,只能人员多次进行测量,无法实时监控到研磨液的浓度变化。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的不能对研磨液浓度进行实时测量的缺点,而提出的一种研磨液浓度可视化装置。
[0004]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0005]设计一种研磨液浓度可视化装置,包括出液管,所述出液管上连通设置有连接管,所述连接管上螺纹连接有透明竖管,所述透明竖管与所述连接管之间设置有密封机构,所述透明竖管内固定连接有缓冲垫,所述缓冲垫上开设有多个漏孔,所述缓冲垫上端设置有浮漂,所述浮漂上固定连接有浓度计,所述连接管上设置有开 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种研磨液浓度可视化装置,包括出液管(1),其特征在于,所述出液管(1)上连通设置有连接管(2),所述连接管(2)上螺纹连接有透明竖管(3),所述透明竖管(3)与所述连接管(2)之间设置有密封机构,所述透明竖管(3)内固定连接有缓冲垫(10),所述缓冲垫(10)上开设有多个漏孔(9),所述缓冲垫(10)上端设置有浮漂(8),所述浮漂(8)上固定连接有浓度计(7),所述连接管(2)上设置有开关(4)。2.根据权利要求1所述的一种研磨液浓度可视化装置,其特征在于,所述密封机构包括...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈晨,
申请(专利权)人:惠晶显示科技苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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