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一种基于芯片制造用的开孔装置制造方法及图纸

技术编号:29907650 阅读:17 留言:0更新日期:2021-09-04 13:25
本实用新型专利技术提供一种基于芯片制造用的开孔装置,包括开孔机、支撑轴和加工台,支撑轴位于开孔机内侧的一端,且支撑轴的左右两端分别与开孔机固定连接,加工台位于开孔机内侧的一端,支撑轴的中部上端均匀分布有减震杆,且加工台的下端与减震杆固定连接,开孔机内侧的上端中部设有液压挂杆,且液压挂杆的顶部与开孔机固定连接。该种基于芯片制造用的开孔装置通过结构的改进,使本装置在实际使用时,可避免开孔时产生的渣屑将孔洞堵住,并且可对渣屑进行顺畅的排放处理,实用性强,同时本装置在实际使用时可对开孔刀具进行保护,以避免刀具在开孔时造成歪斜损坏,提升了开孔时的可靠性。提升了开孔时的可靠性。提升了开孔时的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于芯片制造用的开孔装置


[0001]本技术涉及芯片加工设备
,尤其是涉及一种基于芯片制造用的开孔装置。

技术介绍

[0002]芯片又称集成电路,是在硅板上集合多种电子元器件实现某种特定功能的电路模块,它是电子设备中最重要的部分,承担着运算和存储的功能,在芯片制造过程中为了让芯片发挥其特有的功能会利用开孔装置对芯片进行开孔。
[0003]现有的基于芯片制造用的开孔装置在实际使用时,其开孔时产生的芯片碎屑通常会残留于芯片表面或加工台处,而由于芯片的厚度或体积极小,细微的渣屑亦可能将芯片孔堵塞,进而会使芯片报废,并且现有的基于芯片制造用的开孔装置,其对芯片开孔的刀具为适应开孔的大小,其直径都很细微,而现有的芯片开孔的刀具在实际使用时缺乏保护性,以使刀具在钻进时发生损坏,不利于实际使用。
[0004]因此,需要在现有基于芯片制造用的开孔装置的基础上进行升级和改造,以克服现有问题和不足。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种基于芯片制造用的开孔装置,以解决现有技术中存在的缺点。
[0006]上述目的通过以下技术方案来解决:一种基于芯片制造用的开孔装置,包括开孔机、支撑轴和加工台,所述支撑轴位于开孔机内侧的一端,且支撑轴的左右两端分别与开孔机固定连接,所述加工台位于开孔机内侧的一端,所述支撑轴的中部上端均匀分布有减震杆,且加工台的下端与减震杆固定连接,所述开孔机内侧的上端中部设有液压挂杆,且液压挂杆的顶部与开孔机固定连接,所述液压挂杆的左右两侧分别设有固定杆,且固定杆的顶部分别与开孔机固定连接,所述固定杆和液压挂杆的底部均设有连接板,且连接板与固定杆和液压挂杆固定连接,所述连接板的下端均匀分布有开孔枪,且开孔枪均与连接板固定连接,所述开孔枪的左右两端均设有固定板,且固定板的顶部分别与连接板固定连接,所述固定板的一端均设有连接杆,且连接杆的一端分别与固定板固定连接,并且连接杆的一端分别与开孔枪固定连接,所述连接杆的一端分别设有弹簧杆,且弹簧杆的一端均与连接杆固定连接,所述弹簧杆的一端分别设有固定轴,且固定轴的一端分别与弹簧杆固定连接,并且固定轴的一端均与固定板固定连接,所述加工台的上端均匀分布有废料漏孔,所述加工台的内侧设有水箱,且水箱与加工台固定连接,并且水箱下端的一侧贯穿连接有出水管口,同时出水管口的一端均与加工台连通设置。
[0007]优选的,所述均匀分布的废料漏孔均连通至加工台的端面,且废料漏孔依次为等距均匀排列分布。
[0008]优选的,所述废料漏孔的底部均与水箱连通设置。
[0009]优选的,所述连接杆分别依次为纵向排列分布,且开孔枪的左右两端均呈凹陷状设置。
[0010]优选的,所述弹簧杆均固定连接于连接杆的一侧中部,且固定轴均呈L状。
[0011]优选的,所述固定板的高度均高于开孔枪顶部3cm。
[0012]有益效果:
[0013](1)该种基于芯片制造用的开孔装置通过结构的改进,使本装置在实际使用时,可避免开孔时产生的渣屑将孔洞堵住,并且可对渣屑进行顺畅的排放处理,实用性强,同时本装置在实际使用时可对开孔刀具进行保护,以避免刀具在开孔时造成歪斜损坏,提升了开孔时的可靠性。
[0014](2)该种基于芯片制造用的开孔装置之优点在于:由于连接杆的一端分别与开孔枪固定连接,且由于连接杆分别依次为纵向排列分布以及开孔枪的左右两端均呈凹陷状设置,使本装置在实际使用时,通过均匀分布的连接杆可在开孔枪的左右两侧分别对开孔枪进行支撑,保证了开孔枪不会因为开孔时的振动而产生偏位,以避免枪体发生歪斜,提升了开孔时的可靠性。
[0015](3)其次:由于均匀分布的废料漏孔均连通至加工台的端面,且由于废料漏孔依次为等距均匀排列分布,并且由于废料漏孔的底部均与水箱连通设置,使本装置在实际使用时,开孔时产生的废料可通过均匀分布的废料漏孔落至水箱内,而落于水箱内的渣屑可留存于水箱内,后续可通过打开出水管口将其一并排出,可避免开孔时产生的渣屑将孔洞堵住,并且可对渣屑进行顺畅的排放处理,实用性强。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图。
[0017]图2为本技术的连接杆结构示意图。
[0018]图3为本技术的加工台局部结构剖面示意图。
[0019]图4为本技术的图2中A处结构放大示意图。
[0020]图1

4中:1

开孔机;2

支撑轴;3

加工台;301

水箱;302

废料漏孔;303

出水管口;4

减震杆;5

液压挂杆;6

连接板;7

开孔枪;8

固定板;801

连接杆;802

固定轴;803

弹簧杆;9

固定杆。
具体实施方式
[0021]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0022]请一并参考图1至图4:本实施例提供的一种基于芯片制造用的开孔装置,包括开孔机1、支撑轴2和加工台3,支撑轴2位于开孔机1内侧的一端,且支撑轴2的左右两端分别与开孔机1固定连接,加工台3位于开孔机1内侧的一端,支撑轴2的中部上端均匀分布有减震杆4,且加工台3的下端与减震杆4固定连接,开孔机1内侧的上端中部设有液压挂杆5,且液压挂杆5的顶部与开孔机1固定连接,液压挂杆5的左右两侧分别设有固定杆9,且固定杆9的顶部分别与开孔机1固定连接,固定杆9和液压挂杆5的底部均设有连接板6,且连接板6与固
定杆9和液压挂杆5固定连接,连接板6的下端均匀分布有开孔枪7,且开孔枪7均与连接板6固定连接,开孔枪7的左右两端均设有固定板8,且固定板8的顶部分别与连接板6固定连接,固定板8的一端均设有连接杆801,且连接杆801的一端分别与固定板8固定连接,并且连接杆801的一端分别与开孔枪7固定连接,连接杆801的一端分别设有弹簧杆803,且弹簧杆803的一端均与连接杆801固定连接,弹簧杆803的一端分别设有固定轴802,且固定轴802的一端分别与弹簧杆803固定连接,并且固定轴802的一端均与固定板8固定连接,加工台3的上端均匀分布有废料漏孔302,加工台3的内侧设有水箱301,且水箱301与加工台3固定连接,并且水箱301下端的一侧贯穿连接有出水管口303,同时出水管口303的一端均与加工台3连通设置。
[0023]进一步的,均匀分布的废料漏孔302均连通至加工台3的端面,且废料漏孔302依次为等距均匀排列分布,通过此种设计,打孔时产生的渣屑可落于分布的废料漏孔302本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于芯片制造用的开孔装置,包括开孔机(1)、支撑轴(2)和加工台(3),其特征在于,所述支撑轴(2)位于开孔机(1)内侧的一端,且支撑轴(2)的左右两端分别与开孔机(1)固定连接,所述加工台(3)位于开孔机(1)内侧的一端,所述支撑轴(2)的中部上端均匀分布有减震杆(4),且加工台(3)的下端与减震杆(4)固定连接,所述开孔机(1)内侧的上端中部设有液压挂杆(5),且液压挂杆(5)的顶部与开孔机(1)固定连接,所述液压挂杆(5)的左右两侧分别设有固定杆(9),且固定杆(9)的顶部分别与开孔机(1)固定连接,所述固定杆(9)和液压挂杆(5)的底部均设有连接板(6),且连接板(6)与固定杆(9)和液压挂杆(5)固定连接,所述连接板(6)的下端均匀分布有开孔枪(7),且开孔枪(7)均与连接板(6)固定连接,所述开孔枪(7)的左右两端均设有固定板(8),且固定板(8)的顶部分别与连接板(6)固定连接,所述固定板(8)的一端均设有连接杆(801),且连接杆(801)的一端分别与固定板(8)固定连接,并且连接杆(801)的一端分别与开孔枪(7)固定连接,所述连接杆(801)的一端分别设有弹簧杆(803),且弹簧杆(803)的一端均与连接杆(801)固定连接,所述弹簧杆(803)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:侯宗扬
申请(专利权)人:侯宗扬
类型:新型
国别省市:

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