红外探测器像素结构和红外探测器制造技术

本公开涉及一种红外探测器像素结构和红外探测器，红外探测器像素结构包括：衬底以及依次设置的第一结构层和第二结构层；第一结构层包括至少两个梁结构，梁结构连接中间支撑结构和微桥柱，由中间支撑结构向对应的微桥柱的梁路径中，交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一半桥结构和第二半桥结构，第一半桥结构和第二半桥结构形成热对称结构；第一半桥结构的长度大于第二半桥结构的长度，沿垂直于衬底的方向，第一半桥结构的厚度大于第二半桥结构的厚度，微桥柱为实心柱结构；第一结构层包括第一电极层，第二结构层包括第二电极层和热敏层，第二电极层通过第一电极层电连接至微桥柱。该红外探测器像素结构能够提高红外探测器的探测性能。

【技术实现步骤摘要】
红外探测器像素结构和红外探测器
本专利技术涉及红外探测
，尤其涉及一种红外探测器像素结构和红外探测器。
技术介绍
红外探测器的工作原理是将接收到的红外辐射信号转换成热信号，再将热信号转换为电信号，并对电信号进行处理后输出。红外探测器的噪声等效温差和红外探测器的本底噪声等参数直接影响红外探测器的性能。目前的红外探测器中，由于红外探测器对目标温度辐射能量吸收率、总热导以及自身电阻等原因，导致红外探测器的探测性能较差。
技术实现思路
为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种红外探测器像素结构和红外探测器，能够提高红外探测器的探测性能。第一方面，本公开实施例提供了一种红外探测器像素结构，包括：衬底以及位于所述衬底上依次设置的第一结构层和第二结构层；所述第一结构层包括至少两个梁结构，每个所述梁结构分别连接中间支撑结构和微桥柱，至少两个所述梁结构中，由所述中间支撑结构向对应的所述微桥柱的梁路径中，交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一半桥结构和第二半桥结构，所述第一半桥本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外探测器像素结构，其特征在于，包括：/n衬底以及位于所述衬底上依次设置的第一结构层和第二结构层；/n所述第一结构层包括至少两个梁结构，每个所述梁结构分别连接中间支撑结构和微桥柱，至少两个所述梁结构中，由所述中间支撑结构向对应的所述微桥柱的梁路径中，交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一半桥结构和第二半桥结构，所述第一半桥结构和所述第二半桥结构形成热对称结构；其中，所述第一半桥结构的长度大于所述第二半桥结构的长度，沿垂直于所述衬底的方向，所述第一半桥结构的厚度大于所述第二半桥结构的厚度，所述微桥柱为实心柱结构；/n所述第一结构层包括第一电极层，所述第二结构层包括第二电极层和热敏层，所...

【技术特征摘要】
1.一种红外探测器像素结构，其特征在于，包括：
衬底以及位于所述衬底上依次设置的第一结构层和第二结构层；
所述第一结构层包括至少两个梁结构，每个所述梁结构分别连接中间支撑结构和微桥柱，至少两个所述梁结构中，由所述中间支撑结构向对应的所述微桥柱的梁路径中，交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一半桥结构和第二半桥结构，所述第一半桥结构和所述第二半桥结构形成热对称结构；其中，所述第一半桥结构的长度大于所述第二半桥结构的长度，沿垂直于所述衬底的方向，所述第一半桥结构的厚度大于所述第二半桥结构的厚度，所述微桥柱为实心柱结构；
所述第一结构层包括第一电极层，所述第二结构层包括第二电极层和热敏层，所述第二电极层通过所述第一电极层电连接至所述微桥柱。


2.根据权利要求1所述的红外探测器像素结构，其特征在于，所述第一结构层与所述衬底之间的第一牺牲层和所述第二结构层与所述第一结构层之间的第二牺牲层中，至少构成所述第一牺牲层的材料包括氧化硅，所述微桥柱与所述第一牺牲层位于同一层。


3.根据权利要求2所述的红外探测器像素结构，其特征在于，至少两个所述梁结构包括临近所述衬底一侧设置的第一支撑层，构成所述第一支撑层的材料包括氧化铝、非晶碳、非晶硅、非晶锗或者非晶硅锗中的至少一种。


4.根据权利要求1所述的红外探测器像素结构，其特征在于，所述第一半桥结构包括第一支撑层、所述第一电极层和第一钝化层，所述第二半桥结构包括所述第一支撑层；
相对设置的两个所述梁结构中，所述第一半桥结构和所述第二半桥结构的分布位置相反。


5.根据权利要求1所述的红外探测器像素结构，其特征在于，所述第一半桥结构包括第一支撑层和所述第一电极层，所述第二半桥结构包括所述第一支撑层。


6.根据权利要求4或5所述的红外探测器像素结构，其特征在于，包含有所述热对称结构的所述梁结构还包括至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟光杰，潘辉，武佩，
申请(专利权)人：北京北方高业科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11