一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法和系统技术方案

本发明专利技术涉及一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法和系统，包括：探针台检测端控制探针台在晶圆芯片的测试区内进行测试；当探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警时，探针台检测端将自身监控的探针台上当前晶圆测试图中已测试过的区域标为“不测区”，并控制拍照截图系统对探针台晶圆芯片进行拍照储存。当测试控制端执行限流报警后,测试控制端关闭限流报警弹窗；当达到启动条件时，测试控制端继续启动探针台的晶圆芯片测试程序。本发明专利技术解决了目前高压芯片晶圆自动化测试过程中因芯片打火而过流保护报警时必须人为干预后才能继续测试的问题，大幅降低了人工工作的强度和时长，提升高压电力电子芯片晶圆的自动测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法和系统
本专利技术涉及半导体器件测试领域，具体涉及一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法和系统。
技术介绍
当大功率晶圆芯片制造完成后，需要对大功率晶圆芯片进行晶圆测试以保证其生产的质量。现有的大功率晶圆芯片在晶圆自动测试过程中，常常会出现因芯片表面打火导致的反向漏电流过大的故障现象，在该故障现象发生时，测试控制端限流保护程序会启动，进而弹出限流警示窗并中断测试；此时，需要人工进行处理并恢复测试。该测试过程需要人工监视，一旦发现弹出限流警示窗，需立即处理，极大地占用了人力成本，致使高压电力电子芯片晶圆测试效率低下。目前，尚未有能解决上述问题的技术被提出。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法，所述方法包括：探针台检测端控制探针台在晶圆芯片的测试区内进行测试；当探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警时，探针台检测端将自身监控的探针台上当前晶圆测试图中已测试过的区域标为“不测区”，并控制拍照截图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法，其特征在于，所述方法包括：/n探针台检测端控制探针台在晶圆芯片的测试区内进行测试；/n当探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警时，探针台检测端将自身监控的探针台上当前晶圆测试图中已测试过的区域标为“不测区”，并控制拍照截图系统对探针台晶圆芯片进行拍照储存。/n

【技术特征摘要】
1.一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法，其特征在于，所述方法包括：
探针台检测端控制探针台在晶圆芯片的测试区内进行测试；
当探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警时，探针台检测端将自身监控的探针台上当前晶圆测试图中已测试过的区域标为“不测区”，并控制拍照截图系统对探针台晶圆芯片进行拍照储存。


2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警的过程，包括：
探针台检测端监控探针台上当前晶圆测试图中探针坐标变化以及探针起伏变化；
若探针坐标在预设时间内无变化、探针在预设时间内无起伏和/或探针台检测端收到测试控制端发送的测试控制端进行限流报警的信息，则探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警；
否则，探针台检测端未识别出测试控制端进行限流报警。


3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将探针台检测端监控的探针台上当前晶圆测试图中已测试过的区域标为“不测区”，并控制拍照截图系统对探针台晶圆芯片进行拍照储存之后，还包括：
当探针台检测端与测试控制端连网时，探针台检测端向测试控制端发送继续测试指令。


4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警之后，还包括：
当自动氟油添加系统受探针台检测端控制时，探针台检测端向自动氟油添加系统发送“往探针台晶圆添加氟油”的电信号。


5.一种探针台检测端，其特征在于，包括：
测试控制模块，用于探针台检测端控制探针台在晶圆芯片的测试区内进行测试；
标记及拍照储存模块，用于当自身识别出测试控制端进行限流报警时，将自身监控的探针台上当前晶圆测试图中已测试过的区域标为“不测区”，并控制拍照截图系统对探针台晶圆芯片进行拍照储存。


6.如权利要求5所述的探针台检测端，其特征在于，所述探针台检测端还包括识别模块，所述识别模块包括：监控单元，用于监控探针台上当前晶圆测试图中探针坐标变化以及探针起伏变化；
识别单元，用于若探针坐标在预设时间内无变化、探针在预设时间内无起伏和/或探针台检测端收到测试控制端发送的测试控制端进行限流报警的信息，则探针台检测端识别出测试控制端进行限流报警；
否则，探针台检测端未识别出测试控制端进行限流报警。


7.如权利要求5所述的探针台检测端，其特征在于，所述探针台检测端还包括第一发送模块；
所述第一发送模块，用于当探针台检测端与测试控制端连网时，向测试控制端发送继续测试指令。


8.如权利要求5所述的探针台检测端，其特征在于，所述探针台检测端还包括第一电信号发送模块；
所述第一电信号发送模块，用于：当自动氟油添加系统受探针台检测端控制时，向自动氟油添加系统发送“往探针台晶圆添加氟油”的电信号。


9.一种大功率晶圆芯片测试的智能报警处理方法，其特征在于，所述方法包括：
当测试控制端执行限流报警后；
测试控制端关闭限流报警弹窗；
当达到启动条件时，测试控制端继续启动探针台的晶圆芯片测试程序。


10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述启动条件为：
测试控制端收到探针台检测端发送的继续测试指令和/或
测试控制端未收到探针台检测端发送的继续测试指令且当前...

【专利技术属性】
技术研发人员：阎海亮，李玲，李嘉琳，韩纪层，
申请(专利权)人：全球能源互联网研究院有限公司，国网福建省电力有限公司电力科学研究院，国家电网有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11