加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置，用于简单地估计装置中的加热源的寿命，所述装置利用加热源将对象物进行加热，并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度，通过温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制。温度控制器实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制，寿命估计系统具有：温度监视器部，其对由温度测定器测定出的对象物的测定温度进行监视；波动量探测部，其探测由温度监视器部监视到的对象物的温度在稳定区域中的波动量；以及寿命估计部，其根据波动量探测部探测到的波动量来估计加热源的寿命。

【技术实现步骤摘要】
加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置
本公开涉及一种加热源的寿命估计系统、寿命估计方法以及检查装置。
技术介绍
在半导体制造工艺中，具有规定的电路图案的多个电子器件形成在半导体晶圆(下面仅记为晶圆。)上。对所形成的电子器件进行电特性等检查来筛选合格品和不良品。在专利文献1中记载有一种在分割出各电子器件之前的晶圆状态下检查电子器件的电特性的检查装置。该检查装置具有：探针卡，其具有多个针状的探针；载置台，其用于载置晶圆；以及测试器。在该检查装置中，使探针卡的各探针与在晶圆的电子器件形成的电极对应地设置的电极焊盘、焊锡凸块接触，使来自电子器件的信号向测试器传递来检查电子器件的电特性。另外，专利文献1的检查装置具有温度控制装置，在检查器件的电特性时，所述温度控制装置利用冷却单元或加热单元来控制载置台的温度，以再现该电子器件的安装环境。另外，在专利文献2中记载有一种将LED用作这种检查装置的加热单元。LED的寿命比较短，需要预测或者估计LED的寿命，在专利文献3中公开了一种预测LED的寿命的方法。具体地说，公开了以下技术：将被试本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热源的寿命估计系统，估计装置中的加热源的寿命，所述装置利用加热源将对象物进行加热，并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度，通过温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制，其中，/n所述温度控制器控制向所述加热源投入的功率，并且实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制，/n所述寿命估计系统具有：/n温度监视器部，其对所述温度测定器测定出的所述对象物的测定温度进行监视；/n波动量探测部，其探测由所述温度监视器部监视到的所述对象物的温度在稳定区域中的波动量；以及/n寿命估计部，其根据由所述波动量探测部探测到的所述波动量来估计所述加热源的寿命。/n

【技术特征摘要】
20200212 JP 2020-0211291.一种加热源的寿命估计系统，估计装置中的加热源的寿命，所述装置利用加热源将对象物进行加热，并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度，通过温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制，其中，
所述温度控制器控制向所述加热源投入的功率，并且实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制，
所述寿命估计系统具有：
温度监视器部，其对所述温度测定器测定出的所述对象物的测定温度进行监视；
波动量探测部，其探测由所述温度监视器部监视到的所述对象物的温度在稳定区域中的波动量；以及
寿命估计部，其根据由所述波动量探测部探测到的所述波动量来估计所述加热源的寿命。


2.根据权利要求1所述的加热源的寿命估计系统，其中，
所述寿命估计部求出所述波动量与所述加热源的输出之间的关系，根据该关系来估计所述加热源的寿命。


3.根据权利要求1所述的加热源的寿命估计系统，其中，
所述寿命估计部预先设定所述加热源的所述波动量的阈值，并将所述阈值作为进行所述寿命的估计的基准。


4.根据权利要求1至3中的任一项所述的加热源的寿命估计系统，其中，
所述加热源是LED。


5.根据权利要求1至4中的任一项所述的加热源的寿命估计系统，其中，
所述温度控制器将包括所述加热源的加热系统作为加热设备，并搭载将该加热设备进行了模型化的观测器，对所述观测器与所述加热设备之间的差分偏差进行反馈。


6.根据权利要求5所述的加热源的寿命估计系统，其中，
所述温度控制器还具有控制单元，该控制单元进行包括滑动模式控制的控制，该滑动模式控制是基于所述对象物的温度测定值来向所述加热设备和所述观测器输出包括电力信号的控制信号的控制。


7.一种加热源的寿命估计方法，用于估计装置中的加热源的寿命，所述装置利用加热源将对象物进行加热，并基于温度测定器测定出的该对象物的测定温度，利用温度控制器对该对象物的温度进行反馈控制，其中，
所述温度控制器控制向所述加热源投入的功率，并且实施使用了状态空间模型的温度控制来对所述对象物的温度进行反馈控制，
所述寿命估计方法包括以下步骤：
对所述温度测定器测定出的所述对象物的测定温度进行监视；
对监视到的所述对象物的温度在稳定区域中的波动量进行探测；以及
根据探测到的所述波动量来估计所述加热源的寿命。


8.根据权利要求7所述的加热源的寿命估计方法，其中，
求出所述波动量与所述加热源的输出之间的关系，根据该关系来估计所述寿命。


9.根据权利要求7所述的加热源的寿命估计方法，其中，
预先设定所述加热源的所述波动量的阈值，将所述阈值作为进行所述寿命的估计的基准。


10.根据权利要求7至9中的任一项所述的加热源的寿命估计方法，其中，
所述加热源是LED。


11.根据权利要求7至10中的任一项所述的加热源的寿命估计方法，其中，
所述温度控...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林将人，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP