一种真空镀膜多段式可调节布气系统技术方案

本实用新型专利技术涉及太阳能真空管加工设备，特别是一种真空镀膜多段式可调节布气系统。解决布气管道长距离供应不稳定问题。包括布气管道和供气装置，布气管道上设有若干出气孔，布气管道中间多个位置被截断以后，通过连接套固定在一起，布气管道被分成若干段相对封闭的区域；供气装置并联设有多根分气管，中间一根分气管接入到最接近的布气管道，其他分气管向前延长接入到每段布气管道上的中间位置且互相连通；每根分气管上设有精密针阀。分段供气，同时供气气压更为稳定，满足不同工艺要求，延展性更强，旧设备改造成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜多段式可调节布气系统
本技术涉及太阳能真空管加工设备，特别是一种真空镀膜多段式可调节布气系统。
技术介绍
我国制作真空集热管普遍采用的仍然是多层铝-氮/铝太阳选择性吸收涂层制造技术。这一技术的基本原理是在镀膜机内，设置单圆柱铝靶的磁控溅射系统。镀膜机内一次装载数十只作为集热管内管的玻璃管，在“行星”机构传动下，玻璃管做公转与自转。立式圆柱铝靶在中心位置，在氩气中非反应溅射沉积铝底层，再注入流量可控的氮气，制备多层铝—氮复合薄膜材料作为吸收层。目前布气系统采用单一进气管的方式，气体从进气管的一端进入，由于从进气端到末端气体流出形成压强渐小，小孔流出的气体也逐渐减少，形成不均匀送气，导致溅射镀膜的不均匀性。进而表现为产品外观有色差，特别是圆头、管口色差较为明显。现有设备工艺流程：检修——第一次空恢——清靶——调色——颜色不一致——开门调节布气系统——第二次空恢——（重复上述相同步骤，无生产状态），开门就浪费两次空恢时间，调节之后每次需要浪费10小时空恢时间，平均每月2次，每条线每年浪费240小时。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺点，本技术提供一种对老旧真空镀膜工艺管道进行改造，这样保证管道上的每个出气孔气压更为均匀更加稳定，而且可以根据实际生产需求实现分段供气的真空镀膜多段式可调节布气系统。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空镀膜多段式可调节布气系统，包括布气管道和供气装置，布气管道上设有若干出气孔，布气管道中间多个位置被截断以后，通过连接套固定在一起，布气管道被分成若干段相对封闭的区域；供气装置并联设有多根分气管，中间一根分气管接入到最接近的布气管道，其他分气管向前延长接入到每段布气管道上的中间位置且互相连通；每根分气管上设有精密针阀。所述分气管位于精密针阀后面设有锁母组件，锁母组件从左往右依次由转接套、硅胶密封圈、密封圈压紧环和螺母构成。这样通过锁母组件可以实现分气管的重新分配组合，根据实际生产需要，可以拆解掉部分分气管，也方便维护。所述布气管道的出气孔通过布气钉封堵，布气管道均匀分成多段。出气孔通过布气钉来实现封堵，可根据生产需要进行封堵。本技术具有以下有益效果：布气管道分成多段以后，保证每个出气孔上的气压更为稳定，避免了远离供气装置的一端，发生气压衰减的情况，这样真空管镀膜工艺水平更好。每段分开供气还能针对不同的工艺要求，满足不同镀膜工艺要求，适应性更宽，提供不同的气压工艺。同时整个设备改造，也实现旧设备满足新的工艺生产，降低改造成本和使用成本。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术锁母组件的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向，且附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。实施例如图1所示，一种真空镀膜多段式可调节布气系统，包括布气管道1和供气装置2，布气管道1上设有若干出气孔3，布气管道1中间多个位置被截断以后，通过连接套4固定在一起，布气管道1被分成若干段相对封闭的区域；供气装置2并联设有多根分气管5，中间一根分气管5接入到最接近的布气管道1，其他分气管5向前延长接入到每段布气管道1上的中间位置且互相连通；每根分气管5上设有精密针阀6。如图2所示，所述分气管5位于精密针阀6后面设有锁母组件7，锁母组件从7左往右依次由转接套71、硅胶密封圈72、密封圈压紧环73和螺母74构成。布气管道1均匀分成多段。这样通过锁母件从7可以实现分气管的重新分配组合，根据实际生产需要，可以拆解掉部分分气管，也方便维护。所述布气管道1的出气孔3通过布气钉8封堵。出气孔通过布气钉来实现封堵，可根据生产需要进行封堵。布气管道截断为若干段相对封闭的区域，然后通过供气装置通过分气管供应每一段布气管道的气体，这样直接供应每一段布气管道，避免了长距离传送气体导致气压衰减，通过调节分气管上的精密针阀调节每段分气管上的气压，进入每段布气管道的气压更为稳定，从而保证布气管道上出气孔的气压趋于稳定和均匀，这样镀膜品质更好。通过增加该布气调节系统，可实现对膜层不同区域的独立控制，达到提高镀膜均匀性，提高产品质量。同时根据实际生产需求，每段布气管道上的出气孔的气压可以不同，从而可以实现同时生产不同镀膜工艺需求的要求，提高生产效率，生产线适应性也更广。改进后设备工艺流程：检修——第一次空恢（空恢：机台空跑恢复，不放产品空跑运行，等待真空度、温度、湿度等参数到达可以放产品的时候再放产品）——清靶——调色——颜色不一致——关门调节布气系统——无第二次空恢——（正常生产），可避免再次开室调节，室外即可单独调节各段进气流量，达到降低空恢时间、提高产量的目的：每月减少2次空恢时间，每年节约240小时空恢时间，每条线每年增加产量10万只；每条线每年节省耗电量48000度。（后段圆排燃气费、电费未计算在内）为了清楚，不描述实际实施例的全部特征，在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱，应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例，另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜多段式可调节布气系统，包括布气管道和供气装置，布气管道上设有若干出气孔，其特征在于：布气管道多个位置被截断分成若干段，通过连接套固定在一起，布气管道被分成若干段相对封闭的区域；供气装置并联设有多根分气管，中间一根分气管接入到最接近的布气管道，其他分气管向前延长接入到每段布气管道上的中间位置且互相连通；每根分气管上设有精密针阀。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜多段式可调节布气系统，包括布气管道和供气装置，布气管道上设有若干出气孔，其特征在于：布气管道多个位置被截断分成若干段，通过连接套固定在一起，布气管道被分成若干段相对封闭的区域；供气装置并联设有多根分气管，中间一根分气管接入到最接近的布气管道，其他分气管向前延长接入到每段布气管道上的中间位置且互相连通；每根分气管上设有精密针阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，杨海涛，张好勇，周井飞，白云珠，周家春，袁俊，张永林，
申请(专利权)人：云南省玉溪市太标太阳能设备有限公司，
类型：新型
国别省市：云南;53