功率循环试验装置以及功率循环试验方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供功率循环试验装置以及方法。功率循环试验装置包括：对试验体施加电流的电流施加部；对冷却介质进行调温的冷却介质调温部；利用被调温的冷却介质冷却试验体的冷却部；使冷却介质在冷却介质调温部与冷却部之间循环的循环回路；以迂回冷却部的方式连接于循环回路的旁通路径；用于切换冷却介质向旁通路径的流入状态的切换部；以执行反复向试验体施加电流以及停止施加电流的功率循环试验的方式控制电流施加部的电流施加控制部；以及对应于功率循环试验中的规定的时机控制切换部的切换控制部。据此，能够高效率地进行功率循环试验。

【技术实现步骤摘要】
功率循环试验装置以及功率循环试验方法
本专利技术涉及一种功率循环试验装置以及功率循环试验方法。
技术介绍
以往，如日本专利技术专利公报第5731448号(专利文献1)记载，已知通过对功率半导体等试验体反复施加电流以及停止施加电流从而对该试验体施加热冲击，进行各种器件的可靠性试验的功率循环试验(powercycletest)。在该功率循环试验中，通过施加电流以及停止施加电流的循环反复试验体的内部发热和冷却，利用因线膨胀系数之差引起的应力使试验体内的接合部劣化，从而评价试验体的耐热冲击性。在专利文献1记载了水冷散热器式的功率循环试验装置。该功率循环试验装置具备：用于搭载试验用功率器件的冷却板；冷却器；使由冷却器调温的水在冷却板之间循环的循环水管；对试验用功率器件施加电流的电流源；以及控制对试验用功率器件施加电流以及遮断的控制用功率器件。在专利文献1中，通过对试验用功率器件反复施加电流/停止施加电流从而反复器件接合部温度的上升和下降，但有可能发生如下情况。例如，因在不需要利用冷却水进行冷却的施加电流时也向冷却板供给冷却水，从而接合部温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种功率循环试验装置，其特征在于包括：/n电流施加部，对试验体施加电流；/n冷却介质调温部，对用于冷却所述试验体的冷却介质进行调温；/n冷却部，利用在所述冷却介质调温部被调温的所述冷却介质冷却所述试验体；/n循环回路，使所述冷却介质在所述冷却介质调温部与所述冷却部之间循环；/n旁通路径，以迂回所述冷却部的方式连接于所述循环回路；/n切换部，用于切换所述冷却介质向所述旁通路径的流入状态；/n电流施加控制部，以执行反复向所述试验体施加电流以及停止施加电流的功率循环试验的方式控制所述电流施加部；以及，/n切换控制部，对应于所述功率循环试验中的规定的时机控制所述切换部。/n

【技术特征摘要】
20200207 JP 2020-0197681.一种功率循环试验装置，其特征在于包括：
电流施加部，对试验体施加电流；
冷却介质调温部，对用于冷却所述试验体的冷却介质进行调温；
冷却部，利用在所述冷却介质调温部被调温的所述冷却介质冷却所述试验体；
循环回路，使所述冷却介质在所述冷却介质调温部与所述冷却部之间循环；
旁通路径，以迂回所述冷却部的方式连接于所述循环回路；
切换部，用于切换所述冷却介质向所述旁通路径的流入状态；
电流施加控制部，以执行反复向所述试验体施加电流以及停止施加电流的功率循环试验的方式控制所述电流施加部；以及，
切换控制部，对应于所述功率循环试验中的规定的时机控制所述切换部。


2.根据权利要求1所述的功率循环试验装置，其特征在于，
所述切换控制部在所述功率循环试验中，以如下方式控制所述切换部：当从所述电流施加部向所述试验体施加电流时，使所述冷却介质流入所述旁通路径，并且，当停止从所述电流施加部向所述试验体施加电流时，不让所述冷却介质流入所述旁通路径。


3.根据权利要求1或2所述的功率循环试验装置，其特征在于，
所述切换控制部基于所述试验体的接合部温度的测量值控制所述切换部。


4.根据权利要求3所述的功率循环试验装置，其特征在于，
所述切换控制部基于所述接合部温度的测量值与所述接合部温度的目标值的比较，以使所述接合部温度的测量值接近所述接合部温度的目标值的方式控制所述切换部。


5.根据权利要求1或2所述的功率循环试验装置，其特征在于，
所述切换控制部以在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本学，大浦修一，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP