【技术实现步骤摘要】
反射镜夹具
本技术涉及激光器反射镜
,特别涉及一种反射镜夹具。
技术介绍
反射镜是运用于阵列半导体激光器的重要光学零件,其负责将每个半导体激光器的光反射至同一方向,反射镜的耦合精度直接影响到阵列半导体激光器的质量;现有的反射镜夹具通常采用夹取或者气吸等单一夹持方式,其夹持效率低下、夹持精度不高,为适应单一夹持方式通常还需要将反射镜由原装料盒移送至夹持专用料盒,这一步骤极大的增加了耦合时间,降低了耦合效率。
技术实现思路
本技术提供了一种反射镜夹具,其目的是为了解决单一夹持方式夹持效率低、反射镜耦合耗时长的问题。为了达到上述目的,本技术的实施例提供了一种反射镜夹具,包括:夹具运动机构,所述夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台;所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的滑动板上,所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的滑动板上,所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的滑动板上,所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ ...
【技术保护点】
1.一种反射镜夹具,其特征在于,包括:/n夹具运动机构,所述夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台;所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的滑动板上,所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的滑动板上,所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的滑动板上,所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ轴旋转运动平台上;/n夹具机构,所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述TY轴旋转运动平台的滑动板上,所述夹具机构设置有夹持夹具和吸附夹具,所述夹持夹具用于夹持反射镜,所述吸附夹具用于吸附反射镜。/n
【技术特征摘要】
1.一种反射镜夹具,其特征在于,包括:
夹具运动机构,所述夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台;所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的滑动板上,所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的滑动板上,所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的滑动板上,所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ轴旋转运动平台上;
夹具机构,所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述TY轴旋转运动平台的滑动板上,所述夹具机构设置有夹持夹具和吸附夹具,所述夹持夹具用于夹持反射镜,所述吸附夹具用于吸附反射镜。
2.根据...
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