扫描电镜大面积EBSD试样用样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，属于扫描电镜技术领域。扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，包括圆柱底座、带凹槽的夹具和若干螺钉，带凹槽的夹具由底板和两个挡板组成，其中一个挡板上设置螺纹孔；螺钉穿过螺纹孔将放置在夹具中的样品固定在螺钉与不带螺纹孔的挡板之间。本实用新型专利技术样品台的结构简单，操作方便，机械固定牢固，不易漂移，可以测量大面积EBSD样品，或同时测量多个镶嵌样品，极大的提高了检测质量及效率。

【技术实现步骤摘要】
扫描电镜大面积EBSD试样用样品台
本技术属于扫描电镜
，尤其涉及一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台。
技术介绍
EBSD(ElectronBackscatteredDiffraction电子背散射衍射)技术是目前越来越被广泛使用的微观组织分析方法。利用装备在的扫描电子显微镜的EBSD探头，接收电子束逐点扫描激发的衍射花样，可以获取样品微区的晶粒取向、相结构、取向差、晶界特征等丰富的微观组织信息。EBSD测试要求样品倾斜70度，以便探头接收衍射花样。通常可以将样品测试面保持水平放入样品座，在电镜中将样品座旋转70度的方式满足倾斜要求；另一个方法就是使用预置70度倾斜角的样品台固定样品。目前常用的EBSD样品台主要存在三个问题：1)为减小样品座与极靴、EBSD探头碰撞的风险，样品台尺寸设计较小，大部分在直径20mm以内，无法测试大块样品以及镶嵌样品，特别是尺寸在30mm以上的大面积EBSD试样。2)部分型号的扫描电镜内部样品座体积较大，样品座未倾斜的情况下伸入EBSD探头，会发生碰撞，无法使用预置倾斜角的样品台；3)部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，其特征在于：包括圆柱底座、带凹槽的夹具和若干螺钉，所述带凹槽的夹具由底板和两个挡板组成，其中一个挡板上设置螺纹孔；所述的螺钉穿过螺纹孔将放置在夹具中的样品固定在螺钉与不带螺纹孔的挡板之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，其特征在于：包括圆柱底座、带凹槽的夹具和若干螺钉，所述带凹槽的夹具由底板和两个挡板组成，其中一个挡板上设置螺纹孔；所述的螺钉穿过螺纹孔将放置在夹具中的样品固定在螺钉与不带螺纹孔的挡板之间。


2.根据权利要求1所述的扫描电镜大面积EBSD试样用样品台，其特征在于：所述的圆柱底座的尺寸与扫描电镜样品座的尺寸相匹配，所述的圆柱底座可放入扫描电镜样品座内机械固定。


3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：左玉婷，张丽民，马会娜，张智慧，黄玉生，李聪，
申请(专利权)人：国合通用测试评价认证股份公司，国标北京检验认证有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11