金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法技术

一种金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法，包括以下步骤：选择最小线宽加工能力为10um的曝光设备作为加工设备；先在金属网格结构触摸屏的玻璃基材或PET膜材上镀上一层金属膜层，对已镀金属膜层的产品利用黄光工艺在整面涂覆一层光刻胶，再经过紫外曝光工艺和显影工艺加工出11um的光刻胶保护线路，对显影后的产品进行烘烤坚膜；对烘烤后产品进行酸液蚀刻和光刻胶脱膜；通过涂布设备，在产品整面涂布一层有机材料保护层，再经过曝光显影和烘烤工序，在产品的表面形成一层有机材料保护层。本发明专利技术利用在10um曝光能力的设备条件下，制备出5um线宽的金属线路，达到金属网格结构触摸屏对金属线路的基本要求。

【技术实现步骤摘要】
金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法
本专利技术属于金属网格结构触摸屏加工
，特别涉及一种金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法。
技术介绍
传统的TP产品线，大多配套的是10um精度的曝光设备，正常工艺只能加工10um及以上宽度的线路，要加工更精细一点的线路，就超过了曝光设备的能力，无法达到有效控制。按照传统光刻及蚀刻工艺，产品线路最小只能做到10um，属于设备的极限能力，在这种条件下，产品的良率也会受到一定的影响。相对于金属网格结构触摸屏（英文名metalmesh）产品，网格线路最小宽度一般在5um及以下，需要用到5um甚至更高精细的曝光设备才能满足产品要求。传统TP产线一般配套的是10um的曝光设备，因精细度要求达不到金属网格结构触摸屏产品要求，所以不具备制备金属网格结构触摸屏产品这个能力。
技术实现思路
鉴于
技术介绍
所存在的技术问题，本专利技术所提供的金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法，本专利技术是利用传统TP产线，在10um曝光能力的设备条件下，制备出5um线宽的金属线路，达到金属网格结构触摸屏对金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法，其特征在于包括以下步骤：/n准备工作：选择最小线宽加工能力为10um的曝光设备作为加工设备；/nS1：先在金属网格结构触摸屏的玻璃基材或PET膜材上镀上一层金属膜层，所述的金属膜层为铜镍系金属膜层；/nS2：对已镀金属膜层的产品利用黄光工艺在整面涂覆一层光刻胶，再经过紫外曝光工艺和显影工艺加工出11um±0.5um的光刻胶保护线路，对显影后的产品进行烘烤坚膜；/nS3：对烘烤后产品进行酸液蚀刻和光刻胶脱膜；/n在S3步骤中，通过调整好蚀刻液，在对产品进行蚀刻时，利用酸液和金属发生化学反应时，同时存在纵向和横向反应，控制蚀刻时间，从而控制金属线路的横...

【技术特征摘要】
1.一种金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法，其特征在于包括以下步骤：
准备工作：选择最小线宽加工能力为10um的曝光设备作为加工设备；
S1：先在金属网格结构触摸屏的玻璃基材或PET膜材上镀上一层金属膜层，所述的金属膜层为铜镍系金属膜层；
S2：对已镀金属膜层的产品利用黄光工艺在整面涂覆一层光刻胶，再经过紫外曝光工艺和显影工艺加工出11um±0.5um的光刻胶保护线路，对显影后的产品进行烘烤坚膜；
S3：对烘烤后产品进行酸液蚀刻和光刻胶脱膜；
在S3步骤中，通过调整好蚀刻液，在对产品进行蚀刻时，利用酸液和金属发生化学反应时，同时存在纵向和横向反应，控制蚀刻时间，从而控制金属线路的横向侧蚀，使金属线路双边侧蚀量在6um±0.5um，达到最终蚀刻后线路宽度在5um±1um规格范围内；
S4：通过涂布设备，在产品整面涂布一层有机材料保护层，再经过曝光显影和烘烤工序，在产品的表面形成一层有机材料保护层；或通过磁控溅射方式掩膜镀上一层无机绝缘层。


2.根据权利要求1所述的金属网格结构触摸屏精细线路的加工方法，其特征在于：铜镍系金属膜层为CuNi层、Cu层和CuNiT...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅志敏，郑建万，秦重虎，张莉，黄勇祥，刘永生，
申请(专利权)人：宜昌南玻显示器件有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42