一种芯片及其形成的光学生物识别模组、显示屏和电子设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片及其形成的光学生物识别模组、显示屏和电子设备，包括：芯片基体；以及光阑层，设置在芯片基体上，由若干光阑组成，每一光阑能同时截止可见光和红外光。本实用新型专利技术制作出的光阑层形成的光学模组光信噪比提升，出图更加清晰，采图效果更好，提升指纹模组识别正确率。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片及其形成的光学生物识别模组、显示屏和电子设备
本技术电子领域，具体涉及一种芯片、光学生物识别模组和电子设备。
技术介绍
传统的晶圆制造工艺制作光阑时，通过掩膜蚀刻的方式在芯片基底1上制成光阑层(制作后的结构如图1)。光阑层中的光阑2阻挡可见光，但允许红外光透过。制作时，为了光阑层的制作对位准确，在制作光阑层前，在芯片基底1上刻蚀对位标记光栅凹槽3。传统光阑层形成的光学模组的光信噪比较低，出图较为模糊，采图效果较差，指纹模组识别正确率较低。
技术实现思路
为了解决上述缺陷，一方面，本专利技术提供一种晶圆制造工艺制作方法，该晶圆制造工艺制作方法制作出的光阑层形成的光学模组光信噪比提升，出图更加清晰，采图效果更好，提升指纹模组识别正确率。一种晶圆制造方法，该方法包括光阑的制造方法，该光阑的制造方法包括以下步骤：S1：取芯片基体；S2：在芯片基体上形成对准标记；S3：在芯片基体和对准标记上覆盖一层黑色光刻胶薄膜层，该黑色光刻胶薄膜层可同时截止可见光和红外光；S4：基于对准标记进行光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片，其特征在于，包括：/n芯片基体；/n光阑层，设置在芯片基体上，由若干光阑组成，每一光阑能同时截止可见光和红外光；以及/n对准标记，对准标记位于光阑层外。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片，其特征在于，包括：
芯片基体；
光阑层，设置在芯片基体上，由若干光阑组成，每一光阑能同时截止可见光和红外光；以及
对准标记，对准标记位于光阑层外。


2.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于：所述对准标记为高于芯片基体顶面的光刻胶光栅凸块。

【专利技术属性】
技术研发人员：姜桐，黄昊，姜洪霖，杨成龙，
申请(专利权)人：上海菲戈恩微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31