一种用于光学镜片的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于光学镜片的真空镀膜机，属于镀膜机技术领域。该用于光学镜片的真空镀膜机包括基础组件和填料组件。所述填料组件包括第一电机、第一横板、第一气缸、第一滑杆、第二横板、空心箱、第二电机、双螺纹杆、第二滑杆、连接块、夹臂、第二气缸、料斗、第三电机、第三横板、挡板和进料管，所述第一电机固定在所述真空镀膜机本体的上表面，使用时，使挡板从料斗的下端移开，即使靶材从料斗内跑出再通过进料管进入到坩埚内，控制第三电机输出轴的反转，使挡板再次把料斗的下端堵住，该真空镀膜机只需一段时间对坩埚进行清洗更换即可，且不需要人工进行靶材的填加，大大的降低了人工的劳动量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光学镜片的真空镀膜机
本技术涉及镀膜机领域，具体而言，涉及一种用于光学镜片的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。目前，现有的用于光学镜片的真空镀膜机，当真空镀膜机内的靶材用完时，需要人工把坩埚从真空镀膜机内取下，再把靶材重新注入到新的坩埚内后，再次插回到真空镀膜机内，大大的提高了人工的劳动量。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种用于光学镜片的真空镀膜机，旨在改善当真空镀膜机内的靶材用完时，需要人工把坩埚从真空镀膜机内取下，再把靶材重新注入到新的坩埚内后，再次插回到真空镀膜机内的问题。本技术是这样实现的：本技术提供一种用于光学镜片的真空镀膜机，包括基础组件和填料组件。所述基础组件包括真空镀膜机本体、坩埚、第一密封门和第二密封门，所述坩埚插设在所述真空镀膜机本体内，所述第一密封门和所述第二密封门均通过铰页固定在所述真空镀膜机本体上。所述填料组件包括第一电机、第一横板、第一气缸、第一滑杆、第二横板、空心箱、第二电机、双螺纹杆、第二滑杆、连接块、夹臂、第二气缸、料斗、第三电机、第三横板、挡板和进料管，所述第一电机固定在所述真空镀膜机本体的上表面，所述第一横板固定在所述第一电机的输出轴端部，所述第一气缸和所述第一滑杆均固定在所述第一横板的下表面。所述第二横板固定在所述第一气缸的活塞杆下端，所述第一滑杆滑动贯穿所述第二横板，所述空心箱固定在所述第二横板的下表面，所述双螺纹杆的一端转动设置在所述空心箱的内壁上，所述第二电机固定在所述空心箱的外壁上，所述第二电机的输出轴与所述双螺纹杆的另一端固定在一起，所述第二滑杆固定在所述空心箱的内壁上，所述连接块螺纹套设在所述双螺纹杆上。所述连接块同样滑动套设在所述第二滑杆上，所述夹臂固定在所述连接块的侧表面，所述第二气缸固定在所述真空镀膜机本体的内壁上，所述进料管的侧表面固定在所述第二气缸的活塞杆端部，所述料斗固定在所述真空镀膜机本体上，所述第三横板固定在所述料斗的外壁上，所述第三电机固定在所述第三横板的上表面，所述挡板固定在所述第三电机的输出轴端部，所述挡板和所述料斗贴合在一起。在本技术的一种实施例中，所述基础组件还包括底座，所述底座固定在所述真空镀膜机本体的下表面。在本技术的一种实施例中，所述第一密封门包括第一密封门本体和手持部，所述第一密封门本体通过铰页固定在所述真空镀膜机本体上，所述手持部固定在所述第一密封门本体的外壁上。在本技术的一种实施例中，所述第一电机包括第一电机本体和防护外壳，所述第一电机本体和所述防护外壳均固定在所述真空镀膜机本体的上表面，所述第一电机本体设在所述防护外壳内。在本技术的一种实施例中，所述填料组件还包括限位块，所述限位块固定在所述第一滑杆的外壁上。在本技术的一种实施例中，所述填料组件还包括转动件，所述转动件固定在所述空心箱的内壁上，所述双螺纹杆的一端固定在所述转动件内。在本技术的一种实施例中，所述第三横板包括第三横板本体和斜杆，所述第三横板本体固定在所述料斗的外壁上，所述斜杆固定在所述第三横板本体的上表面和所述料斗的外壁之间。在本技术的一种实施例中，所述填料组件还包括观察窗，所述观察窗设在所述料斗上。在本技术的一种实施例中，所述空心箱至少设置六个，所述空心箱轴向等距的设在所述第二横板的下表面。在本技术的一种实施例中，所述填料组件还包括上盖，所述上盖通过铰页固定在所述料斗上。本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种用于光学镜片的真空镀膜机，使用时，当坩埚内的靶材用完后，第一电机输出轴的转动带动第二横板转动，使空着的夹臂移动到坩埚的上方，第一气缸活塞杆的伸缩控制夹臂的向下或向上移动，第二电机输出轴的转动带动双螺纹杆转动，连接块在双螺纹杆和第二滑杆的共同作用下实现相向或相反移动，在第一电机、第一气缸和第二电机的共同作用下，夹臂把空的坩埚抓起，再把新的坩埚重新安装到真空镀膜机本体上，启动第二气缸和第三电机，第二气缸活塞杆的伸缩实现进料管的横向移动，使进料管的下端移动到坩埚的正上方，进料管的上端移动到料斗的正下方，第三电机输出轴的转动带动挡板转动，使挡板从料斗的下端移开，即使靶材从料斗内跑出再通过进料管进入到坩埚内，控制第三电机输出轴的反转，使挡板再次把料斗的下端堵住，即把靶材堵在料斗内了，该真空镀膜机只需一段时间对坩埚进行清洗更换即可，且不需要人工进行靶材的填加，大大的降低了人工的劳动量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施方式提供的一种用于光学镜片的真空镀膜机的结构示意图；图2为本技术实施方式提供的一种用于光学镜片的真空镀膜机的剖面结构示意图；图3为本技术实施方式提供的基础组件的剖面结构示意图；图4为本技术实施方式提供的填料组件的剖面结构示意图；图5为本技术实施方式提供的图4中A区域的放大图。图中：100-基础组件；110-真空镀膜机本体；120-底座；130-坩埚；140-第一密封门；141-第一密封门本体；142-手持部；150-第二密封门；200-填料组件；210-第一电机；211-第一电机本体；212-防护外壳；220-第一横板；230-第一气缸；240-第一滑杆；250-限位块；260-第二横板；270-空心箱；280-转动件；290-第二电机；291-双螺纹杆；292-第二滑杆；293-连接块；294-夹臂；295-第二气缸；296-料斗；297-上盖；298-第三电机；299-第三横板；2991-第三横板本体；2992-斜杆；2993-挡板；2994-进料管；2995-观察窗。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光学镜片的真空镀膜机，其特征在于，包括/n基础组件(100)，所述基础组件(100)包括真空镀膜机本体(110)、坩埚(130)、第一密封门(140)和第二密封门(150)，所述坩埚(130)插设在所述真空镀膜机本体(110)内，所述第一密封门(140)和所述第二密封门(150)均通过铰页固定在所述真空镀膜机本体(110)上；/n填料组件(200)，所述填料组件(200)包括第一电机(210)、第一横板(220)、第一气缸(230)、第一滑杆(240)、第二横板(260)、空心箱(270)、第二电机(290)、双螺纹杆(291)、第二滑杆(292)、连接块(293)、夹臂(294)、第二气缸(295)、料斗(296)、第三电机(298)、第三横板(299)、挡板(2993)和进料管(2994)，所述第一电机(210)固定在所述真空镀膜机本体(110)的上表面，所述第一横板(220)固定在所述第一电机(210)的输出轴端部，所述第一气缸(230)和所述第一滑杆(240)均固定在所述第一横板(220)的下表面；/n所述第二横板(260)固定在所述第一气缸(230)的活塞杆下端，所述第一滑杆(240)滑动贯穿所述第二横板(260)，所述空心箱(270)固定在所述第二横板(260)的下表面，所述双螺纹杆(291)的一端转动设置在所述空心箱(270)的内壁上，所述第二电机(290)固定在所述空心箱(270)的外壁上，所述第二电机(290)的输出轴与所述双螺纹杆(291)的另一端固定在一起，所述第二滑杆(292)固定在所述空心箱(270)的内壁上，所述连接块(293)螺纹套设在所述双螺纹杆(291)上；/n所述连接块(293)同样滑动套设在所述第二滑杆(292)上，所述夹臂(294)固定在所述连接块(293)的侧表面，所述第二气缸(295)固定在所述真空镀膜机本体(110)的内壁上，所述进料管(2994)的侧表面固定在所述第二气缸(295)的活塞杆端部，所述料斗(296)固定在所述真空镀膜机本体(110)上，所述第三横板(299)固定在所述料斗(296)的外壁上，所述第三电机(298)固定在所述第三横板(299)的上表面，所述挡板(2993)固定在所述第三电机(298)的输出轴端部，所述挡板(2993)和所述料斗(296)贴合在一起。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于光学镜片的真空镀膜机，其特征在于，包括
基础组件(100)，所述基础组件(100)包括真空镀膜机本体(110)、坩埚(130)、第一密封门(140)和第二密封门(150)，所述坩埚(130)插设在所述真空镀膜机本体(110)内，所述第一密封门(140)和所述第二密封门(150)均通过铰页固定在所述真空镀膜机本体(110)上；
填料组件(200)，所述填料组件(200)包括第一电机(210)、第一横板(220)、第一气缸(230)、第一滑杆(240)、第二横板(260)、空心箱(270)、第二电机(290)、双螺纹杆(291)、第二滑杆(292)、连接块(293)、夹臂(294)、第二气缸(295)、料斗(296)、第三电机(298)、第三横板(299)、挡板(2993)和进料管(2994)，所述第一电机(210)固定在所述真空镀膜机本体(110)的上表面，所述第一横板(220)固定在所述第一电机(210)的输出轴端部，所述第一气缸(230)和所述第一滑杆(240)均固定在所述第一横板(220)的下表面；
所述第二横板(260)固定在所述第一气缸(230)的活塞杆下端，所述第一滑杆(240)滑动贯穿所述第二横板(260)，所述空心箱(270)固定在所述第二横板(260)的下表面，所述双螺纹杆(291)的一端转动设置在所述空心箱(270)的内壁上，所述第二电机(290)固定在所述空心箱(270)的外壁上，所述第二电机(290)的输出轴与所述双螺纹杆(291)的另一端固定在一起，所述第二滑杆(292)固定在所述空心箱(270)的内壁上，所述连接块(293)螺纹套设在所述双螺纹杆(291)上；
所述连接块(293)同样滑动套设在所述第二滑杆(292)上，所述夹臂(294)固定在所述连接块(293)的侧表面，所述第二气缸(295)固定在所述真空镀膜机本体(110)的内壁上，所述进料管(2994)的侧表面固定在所述第二气缸(295)的活塞杆端部，所述料斗(296)固定在所述真空镀膜机本体(110)上，所述第三横板(299)固定在所述料斗(296)的外壁上，所述第三电机(298)固定在所述第三横板(299)的上表面，所述挡板(2993)固定在所述第三电机(298)的输出轴端部，所述挡板(2993)和所述料斗(296)贴合在一起。


2.根据权利要求1所述的一种用于光学镜片的真空镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：张贵生，王桂利，张峪，
申请(专利权)人：天津广普光学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12