一种防止单晶硅外延片碰撞的推片机制造技术

本实用新型专利技术提供一种防止单晶硅外延片碰撞的推片机。所述防止单晶硅外延片碰撞的推片机，包括：推片机，所述推片机顶部的一侧转动连接有四个转动轴，四个所述转动轴的表面传动连接有移动带，所述移动带的外表面固定连接有若干缓冲垫片，所述推片机的一侧固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的外部固定连接有第一锥形齿轮。本实用新型专利技术提供的防止单晶硅外延片碰撞的推片机通过传输带进行缓速的传输单晶硅外延片，在单晶硅外延片的移动过程中，通过两侧的防护垫防止移动时与装置发生碰撞，缓冲垫片的设置，使得移动的单晶硅外延片不会直接进入装载晶舟盒的内壁底部，从而杜绝碰撞的发生，有效的提高了产品的质量以及成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种防止单晶硅外延片碰撞的推片机
本技术涉及电子器件领域，尤其涉及一种防止单晶硅外延片碰撞的推片机。
技术介绍
晶舟盒(Cassette)是制造硅片的过程中常用的一种放置硅片的容器。在硅片的制造流程中，需要根据不同制造工艺的要求多次转移晶舟盒，例如通过化学考洗工艺对硅片进行加工时，需将装硅片的蓝色塑料晶舟盒换成耐酸碱的白色铁弗龙(Tefion)晶舟盒，然后才能浸入化学溶液对硅片进行清洗；清洗完毕后再将硅片转移回原来放置硅片的蓝色塑料晶舟盒；又例如通过金属溅射工艺对硅片进行加工时，需将硅片转移到耐髙温的不锈钢晶舟盒。现有技术中的晶舟盒通常呈框形，包括两个端口，在不同的晶舟盒之间转移硅片的作业方式是将装有硅片的晶舟盒的一个端口与要接收硅片的空晶舟盒的一个端口套好、对齐，然后将硅片从装有硅片的晶舟盒内倒入空晶舟盒内，通过硅片自身重力的作用来实现硅片的转移。现有技术的转移方法虽然一定程度能够实现在不同的晶舟盒之间转移硅片，但将完整硅片倒入空晶舟盒的过程中，硅片在自身重力的作用下，难免发生冲撞，易造成硅片发生缺角、龟裂或破片现象，影响了产品的质量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止单晶硅外延片碰撞的推片机，包括推片机(3)，其特征在于：所述推片机(3)顶部的一侧转动连接有四个转动轴(8)，四个所述转动轴(8)的表面传动连接有移动带(10)，所述移动带(10)的外表面固定连接有若干缓冲垫片(9)，所述推片机(3)的一侧固定连接有第一电机(4)，所述第一电机(4)输出轴的外部固定连接有第一锥形齿轮(24)，位于所述第一电机(4)较近处的转动轴(8)的底部固定连接有第二锥形齿轮(25)。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止单晶硅外延片碰撞的推片机，包括推片机(3)，其特征在于：所述推片机(3)顶部的一侧转动连接有四个转动轴(8)，四个所述转动轴(8)的表面传动连接有移动带(10)，所述移动带(10)的外表面固定连接有若干缓冲垫片(9)，所述推片机(3)的一侧固定连接有第一电机(4)，所述第一电机(4)输出轴的外部固定连接有第一锥形齿轮(24)，位于所述第一电机(4)较近处的转动轴(8)的底部固定连接有第二锥形齿轮(25)。


2.根据权利要求1所述的防止单晶硅外延片碰撞的推片机，其特征在于，所述推片机(3)内壁的两侧均转动连接有连接杆(17)，所述连接杆(17)的一端固定连接有转动板(16)，所述转动板(16)的底部固定连接有两根第二电动伸缩杆(15)，两根所述第二电动伸缩杆(15)的一端固定连接有夹紧板(14)，所述推片机(3)的另一侧固定连接有第二电机(18)。


3.根据权利要求1所述的防止单晶硅外延片碰撞的推片机，其特征在于，所述推片机(3)内壁的另两侧均固定连接有两个固定块(7)，两个所述固定块(7)相对的一侧均固定连接有第一电动伸缩杆(6)，所述第一电动伸缩杆(6)的一侧放置有装载晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：李治宇，李亦宁，
申请(专利权)人：四川雅吉芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51