用于纯化氟化烯烃的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于使用具有大平均孔径的吸附剂来纯化氟化烯烃的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于纯化氟化烯烃的方法本专利技术涉及一种用于使用具有大平均孔径的吸附剂来纯化氟化烯烃如尤其是六氟-1,3-丁二烯的方法。六氟-1,3-丁二烯是具有交替双键的无色气态不饱和氟碳化合物(fluorocarbon)。其是在半导体装置制造中对于等离子体、离子束或溅射蚀刻显示出非常高的性能的蚀刻剂。由于其短的大气寿命(<1天)、其可忽略的全球变暖潜能值，以及其对平流层臭氧层的惰性，六氟-1,3-丁二烯是环境友好的气体。六氟-1,3-丁二烯由索尔维公司(Solvay)以商标名46销售。在半导体工业中采用的六氟-1,3-丁二烯必须具有极高的纯度。为此，EP1329442A1描述了用于使用某些具有低平均孔径的吸附剂、特别是分子筛来纯化六氟-1,3-丁二烯的方法，因为六氟-1,3-丁二烯在杂质被吸附的同时明显被排除在吸附剂之外，并且因此避免了有害分解反应的发生。然而，仍然需要用于纯化六氟-1,3-丁二烯的改进的方法。因此，本专利技术的一个目的是提出一种用于纯化六氟-1,3-丁二烯的改进的方法。本专利技术的方法有利地导致更经济的清洁过程、改进的纯度、整个纯化过程的减少本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于纯化六氟-1,3-丁二烯的方法，该方法包括其中使包含六氟-1,3-丁二烯的气态混合物与至少两种不同的吸附剂接触以纯化所述气体混合物的步骤，其中该至少两种不同的吸附剂各自具有大于

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190211 EP 19156412.91.一种用于纯化六氟-1,3-丁二烯的方法，该方法包括其中使包含六氟-1,3-丁二烯的气态混合物与至少两种不同的吸附剂接触以纯化所述气体混合物的步骤，其中该至少两种不同的吸附剂各自具有大于的平均孔径。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，该至少两种不同的吸附剂各自具有大于并且等于或小于的平均孔径。


3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，该至少两种不同的吸附剂中的至少一种是硅胶、优选具有10至的平均孔径的硅胶。


4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该至少两种不同的吸附剂中的至少一种是沸石、优选分子筛13X沸石。


5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该至少两种不同的吸附剂包括一种沸石和一种硅胶。


6.根据权利要求5所述的方法，其中，该气态混合物首先用该硅胶纯化并且随后用该沸石纯化。


7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在等于或高于100毫巴(绝对值)并且等于或低于2000毫巴(绝对值)的初始压力下，使该气态混合物与该至少两种不同的吸附剂接触。


8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在等于或高于5℃并且等于或低于40℃...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·皮特罗夫，D·勒弗朗，T·祖格摩尔，
申请(专利权)人：索尔维公司，
类型：发明
国别省市：比利时;BE