一种高性能MEMS剧毒气体传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种高性能MEMS剧毒气体传感器，属于气体传感器技术领域，该高性能MEMS剧毒气体传感器包括传感器下壳体，传感器下壳体的上端螺纹连接有传感器上壳体，传感器下壳体和传感器上壳体的圆周表面设置有防护机构，传感器下壳体内设置有检测机构，检测机构电性连接有展现机构，检测机构包括气孔、内壳体、延伸管、储液装置、导液装置、参比电极、对电极和工作电极，气孔设置有多个，延伸管设置有两个，多个气孔分别开设于传感器下壳体和传感器上壳体的圆周表面，内壳体固定于传感器下壳体内，两个延伸管均连通于内壳体的圆周内壁上部，整个装置不仅结构设置巧妙，使用灵活，同时实用性也非常高。

【技术实现步骤摘要】
一种高性能MEMS剧毒气体传感器
本技术属于气体传感器
，具体涉及一种高性能MEMS剧毒气体传感器。
技术介绍
随着人们生活水平的不断提高和对环保的日益重视，对各种有毒、有害气体的探测，对大气污染、工业废气的监测以及对食品和居住环境质量的检测都对气体传感器提出了更高的要求。纳米、薄膜技术等新材料研制技术的成功应用为气体传感器集成化和智能化提供了很好的前提条件。气体传感器将在充分利用微机械与微电子技术、计算机技术、信号处理技术、传感技术、故障诊断技术、智能技术等多学科综合技术的基础上得到发展。研制能够同时监测多种气体的全自动数字式的智能气体传感器将是该领域的重要研究方向。在针对剧毒气体的检测及传感器应用上，大多数采用电化学气体传感器，但现有技术中在针对剧毒气体的电化学气体传感器上大多结构比较简单，外观固定，在一些剧毒气体聚集处，人类不宜接触，在安装或放置气体传感器较为不便，且在检测后的传感器无法较为直观的展现出来，需进一步进行验证，检测步骤较为繁琐。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高性能MEMS剧毒气体传感器，旨在解决现有技术中在针对剧毒气体的电化学气体传感器上大多结构比较简单，外观固定，在一些剧毒气体聚集处，人类不宜接触，在安装或放置气体传感器较为不便，且在检测后的传感器无法较为直观的展现出来，需进一步进行验证，检测步骤较为繁琐等问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高性能MEMS剧毒气体传感器包括传感器下壳体，所述传感器下壳体的上端螺纹连接有传感器上壳体，所述传感器下壳体和传感器上壳体的圆周表面设置有防护机构，所述传感器下壳体内设置有检测机构，所述检测机构电性连接有展现机构，所述检测机构包括气孔、内壳体、延伸管、储液装置、导液装置、参比电极、对电极和工作电极，所述气孔设置有多个，所述延伸管设置有两个，多个所述气孔分别开设于传感器下壳体和传感器上壳体的圆周表面，所述内壳体固定于传感器下壳体内，两个所述延伸管均连通于内壳体的圆周内壁上部，且两个延伸管均通过内壳体与多个气孔连通，所述储液装置设置于内壳体的圆周内壁下部，所述导液装置固定于储液装置的上端，所述参比电极和对电极均设置于导液装置上，所述工作电极通过连接板设置于参比电极和对电极的上端。作为本技术一种优选的，所述展现机构包括提示灯和电源，所述提示灯设置有多个，多个所述提示灯均匀嵌设于传感器下壳体和传感器上壳体内，所述电源固定于内壳体的圆周内壁上部，且多个提示灯均与电源电性连接，所述电源与检测机构电性连接。作为本技术一种优选的，所述防护机构包括凸体和橡胶层，所述凸体设置有多个，多个所述凸体均匀固定于传感器下壳体和传感器上壳体的圆周表面，所述橡胶层设置于传感器下壳体和传感器上壳体的表面。作为本技术一种优选的，所述储液装置和导液装置内均设置有电解液。作为本技术一种优选的，所述内壳体内设置有内腔，且内腔分别连通两个延伸管与多个气孔。作为本技术一种优选的，所述传感器下壳体和传感器上壳体连接的螺纹内设置有摩擦橡胶。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本方案中，整个传感器设为一个球形体，利于整个气体传感器移动至人们不能接触的剧毒气体聚集处进行检测，同时将传感器下壳体和传感器上壳体设置为螺纹连接的方式便于加工生产也提高了检修或换件的便捷度，整个气体传感器通过电化学气体传感器可以达到响应速度快，体积小、检测准确、携带便捷、可现场直接检测等一系列优点，同时，装置还设置有展现机构，可以在很远处就可直观的看到检测结果，整个装置不仅结构设置巧妙，使用灵活，同时实用性也非常高。2、本方案中，装置内的展现机构中的多个提示灯可以在检测机构检测出剧毒气体时通过电源传出电量散出亮光，并让人们清楚的看清检测结果展现出检测部位是否含有剧毒气体，同时装置中的防护机构的设置也能有效防护整个传感器内部零器件，进而提高装置的实用寿命，多个凸体和橡胶层的设置不仅减震也能让装置在移动时可以适应不同地形来进行滚动，提高了装置的功能多样性。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中的右视图；图3为本技术图2中A-A处的剖视图。图中：1-传感器下壳体；2-传感器上壳体；3-气孔；4-凸体；5-提示灯；6-电源；7-内壳体；8-延伸管；9-储液装置；10-导液装置；11-参比电极；12-对电极；13-工作电极。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1请参阅图1和图3，本技术提供以下技术方案：一种高性能MEMS剧毒气体传感器包括传感器下壳体1，传感器下壳体1的上端螺纹连接有传感器上壳体2，传感器下壳体1和传感器上壳体2的圆周表面设置有防护机构，传感器下壳体1内设置有检测机构，检测机构电性连接有展现机构，检测机构包括气孔3、内壳体7、延伸管8、储液装置9、导液装置10、参比电极11、对电极12和工作电极13，气孔3设置有多个，延伸管8设置有两个，多个气孔3分别开设于传感器下壳体1和传感器上壳体2的圆周表面，内壳体7固定于传感器下壳体1内，两个延伸管8均连通于内壳体7的圆周内壁上部，且两个延伸管8均通过内壳体7与多个气孔3连通，储液装置9设置于内壳体7的圆周内壁下部，导液装置10固定于储液装置9的上端，参比电极11和对电极12均设置于导液装置10上，工作电极13通过连接板设置于参比电极11和对电极12的上端。在本技术的具体实施例中，整个传感器设为一个球形体，利于整个气体传感器移动至人们不能接触的剧毒气体聚集处进行检测，同时将传感器下壳体1和传感器上壳体2设置为螺纹连接的方式便于加工生产也提高了检修或换件的便捷度，整个气体传感器通过电化学气体传感器可以达到响应速度快，体积小、检测准确、携带便捷、可现场直接检测等一系列优点，同时，装置还设置有展现机构，可以在很远处就可直观的看到检测结果，整个装置不仅结构设置巧妙，使用灵活，同时实用性也非常高，装置中的检测机构为现有技术，在此不做过多赘述，主要针对整个装置的功能多样性以及展示机构做详细描述。具体的请结合图1、图2和图3所示，展现机构包括提示灯5和电源6，提示灯5设置有多个，多个提示灯5均匀嵌设于传感器下壳体1和传感器上壳体2内，电源6固定于内壳体7的圆周内壁上部，且多个提示灯5均与电源6电性连接，电源6与检测机构电性连接。本实施例中：装置内的展现机构中的多个提示灯5可以在检测机构检测出剧毒气体时通过电源6本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高性能MEMS剧毒气体传感器，其特征在于：包括传感器下壳体(1)，所述传感器下壳体(1)的上端螺纹连接有传感器上壳体(2)，所述传感器下壳体(1)和传感器上壳体(2)的圆周表面设置有防护机构，所述传感器下壳体(1)内设置有检测机构，所述检测机构电性连接有展现机构，所述检测机构包括气孔(3)、内壳体(7)、延伸管(8)、储液装置(9)、导液装置(10)、参比电极(11)、对电极(12)和工作电极(13)，所述气孔(3)设置有多个，所述延伸管(8)设置有两个，多个所述气孔(3)分别开设于传感器下壳体(1)和传感器上壳体(2)的圆周表面，所述内壳体(7)固定于传感器下壳体(1)内，两个所述延伸管(8)均连通于内壳体(7)的圆周内壁上部，且两个延伸管(8)均通过内壳体(7)与多个气孔(3)连通，所述储液装置(9)设置于内壳体(7)的圆周内壁下部，所述导液装置(10)固定于储液装置(9)的上端，所述参比电极(11)和对电极(12)均设置于导液装置(10)上，所述工作电极(13)通过连接板设置于参比电极(11)和对电极(12)的上端。/n

【技术特征摘要】
1.一种高性能MEMS剧毒气体传感器，其特征在于：包括传感器下壳体(1)，所述传感器下壳体(1)的上端螺纹连接有传感器上壳体(2)，所述传感器下壳体(1)和传感器上壳体(2)的圆周表面设置有防护机构，所述传感器下壳体(1)内设置有检测机构，所述检测机构电性连接有展现机构，所述检测机构包括气孔(3)、内壳体(7)、延伸管(8)、储液装置(9)、导液装置(10)、参比电极(11)、对电极(12)和工作电极(13)，所述气孔(3)设置有多个，所述延伸管(8)设置有两个，多个所述气孔(3)分别开设于传感器下壳体(1)和传感器上壳体(2)的圆周表面，所述内壳体(7)固定于传感器下壳体(1)内，两个所述延伸管(8)均连通于内壳体(7)的圆周内壁上部，且两个延伸管(8)均通过内壳体(7)与多个气孔(3)连通，所述储液装置(9)设置于内壳体(7)的圆周内壁下部，所述导液装置(10)固定于储液装置(9)的上端，所述参比电极(11)和对电极(12)均设置于导液装置(10)上，所述工作电极(13)通过连接板设置于参比电极(11)和对电极(12)的上端。


2.根据权利要求1所述的高性能MEMS剧毒气体传感器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙京飞，
申请(专利权)人：无锡灵芯智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32