一种X荧光光谱仪的真空系统技术方案

技术编号:29596576 阅读:30 留言:0更新日期:2021-08-06 19:59
本实用新型专利技术公开了X荧光光谱仪技术领域,具体为一种X荧光光谱仪的真空系统,包括样品室,所述样品室连接有导气管,所述导气管上远离所述样品室的一端并列连接有抽气管和压强平衡管,所述抽气管远离所述导气管的一端连接有真空泵,且所述抽气管的管路上固设有抽气管电磁阀,所述压强平衡管远离所述导气管的一端固设有防尘阻尼块,且压强平衡管通过防尘阻尼块与大气连通,所述压强平衡管的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀。本实用新型专利技术实现了探测器窗口不受到气压挤压且阻挡粉尘进入样品室的功能,解决了探测器窗口容易因瞬时压力破裂且粉尘容易进入样品室的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种X荧光光谱仪的真空系统
本技术涉及X荧光光谱仪
,具体为一种X荧光光谱仪的真空系统。
技术介绍
X荧光光谱仪的样品室的检测元素周期表序号小于20号的轻元素是无法在大气条件下检测的,需要对样品室进行抽真空操作,在真空状态下对轻元素进行检测。现有技术中,抽真空和放气操作都是由真空泵完成,真空泵在放气时易产生音爆,所产生的瞬时气压容易将探测器窗口破坏,且真空泵没有设置防尘功能,会有粉尘进入并污染样品室。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种X荧光光谱仪的真空系统,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种X荧光光谱仪的真空系统,包括样品室,所述样品室连接有导气管,所述导气管上远离所述样品室的一端并列连接有抽气管和压强平衡管,所述抽气管远离所述导气管的一端连接有真空泵,且所述抽气管的管路上固设有抽气管电磁阀,所述压强平衡管远离所述导气管的一端固设有防尘阻尼块,且压强平衡管通过防尘阻尼块与大气连通,所述压强平衡管的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀。可选的,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X荧光光谱仪的真空系统,其特征在于:包括样品室(1),所述样品室(1)连接有导气管(4),所述导气管(4)上远离所述样品室(1)的一端并列连接有抽气管(5)和压强平衡管(6),所述抽气管(5)远离所述导气管(4)的一端连接有真空泵(9),且所述抽气管(5)的管路上固设有抽气管电磁阀(7),所述压强平衡管(6)远离所述导气管(4)的一端固设有防尘阻尼块,且压强平衡管(6)通过防尘阻尼块与大气连通,所述压强平衡管(6)的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种X荧光光谱仪的真空系统,其特征在于:包括样品室(1),所述样品室(1)连接有导气管(4),所述导气管(4)上远离所述样品室(1)的一端并列连接有抽气管(5)和压强平衡管(6),所述抽气管(5)远离所述导气管(4)的一端连接有真空泵(9),且所述抽气管(5)的管路上固设有抽气管电磁阀(7),所述压强平衡管(6)远离所述导气管(4)的一端固设有防尘阻尼块,且压强平衡管(6)通过防尘阻尼块与大气连通,所述压强平衡管(6)的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀(8)。


2.根据权利要求1所述的一种X荧光光谱仪的真空系统,其特征在于:所述样品室(1)呈倒置的三棱柱结构,所述样品室(1)的左右两个矩形侧面上分别固设有X光管(2)与探测器(3),所述X光管(2...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘鑫
申请(专利权)人:天津市博智伟业科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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