光学检测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种光学检测系统，包括检测载台、调光模块、收光模块以及检测装置。检测载台承载载体，载体上设有多个LED。调光模块设置于收光模块与检测载台之间，调光模块接收各LED发出的光束，各光束分别通过调光模块而形成相对应的第一局部光束，且各第一局部光束彼此独立而不相互重叠。收光模块包括多个光纤，各光纤用以收取各第一局部光束而形成相对应的第二局部光束。检测装置接收并检测各光纤收取对应的第二局部光束。

【技术实现步骤摘要】
光学检测系统
本专利技术是有关于一种光学检测系统，特别是应用于检测LED的光学检测系统。
技术介绍
发光二极管(LightEmittingDiode，LED)以其固有的特点，如省电、寿命长、响应速度快等特点，且随着科技的进步，LED的制程也不断精进，LED晶粒体积(尺寸)减小，使得晶圆上所能承载的LED晶粒越多，且在晶圆制造的过程中，任何一道制程都会影响其最终产品的合格率，例如晶圆在切割前/后，其切割作业也会影响晶圆上LED的合格率。为了有效掌握晶圆产品的合格率，现有技术会通过两根探针，对晶圆上的每一颗LED一一去检测其特性，以此判断出晶圆上的每一颗LED的优劣程度。然而，此举单颗检测LED的方式时间上过于冗长，若LED的数量越多，则要完成检测一片晶圆就越久，如此对于要大量生产晶圆的工厂来说，除了不利于整体生产周期时间，也影响后续制程管制评估的时间；另外晶圆在切割后，改变了原本排列整齐的LED的位置，这也增加了检测上的对位时间。因此，如何改良并能提供一种“光学检测系统”来避免上述所遭遇到的问题，是业界所待解决的课题。
技术实现思路
本专利技术提供一种光学检测系统，通过设计一收光方式来达到同时检测多个LED的目的。本专利技术的一实施例提供一种光学检测系统，用以检测呈阵列式排列的多个LED。光学检测系统包括一检测载台、一调光模块、一收光模块以及一检测装置。检测载台承载一载体，载体上设有多个LED。调光模块接收各LED发出的一光束，各光束分别通过调光模块而形成相对应的一第一局部光束，且各第一局部光束彼此独立而不相互重叠。调光模块设置于收光模块与检测载台之间。收光模块包括多个光纤，各光纤用以收取各第一局部光束而形成相对应的一第二局部光束。检测装置接收并检测各光纤收取对应的第二局部光束。在一实施例中，上述光学检测系统还包括：一放大镜组，用以使各LED对应的第一局部光束的位置对应至各光纤的位置。在一实施例中，上述放大镜组设置于检测载台与调光模块之间。在一实施例中，上述放大镜组设置于调光模块与收光模块之间。在一实施例中，上述调光模块为一数字微镜装置，数字微镜装置包括多个微镜与一控制元件，控制元件用以控制各光束是否能通过相对应的微镜。在一实施例中，上述调光模块为一针孔过滤装置，针孔过滤装置包括多个针孔与至少一本体，各针孔穿设于对应的本体，且各针孔的位置对应各光束。在一实施例中，上述检测装置包括一多通道光谱仪与一检测元件，检测元件连接多通道光谱仪，多个光纤包括一收取端与一检测端，收取端中的多个光纤的排列方式为二维阵列，检测端中的多个光纤的排列方式为一维阵列，多通道光谱仪用以分解各光纤对应的第二局部光束，以得到相对应的一光谱信号，检测元件依据各光谱信号以分析各光谱信号对应的LED。在一实施例中，上述检测元件为一感光耦合元件。在一实施例中，上述收光模块包括多个接收镜，各接收镜连接于对应的光纤。在一实施例中，上述放大镜组包含有一远心镜组。基于上述，在本专利技术的光学检测系统中，同时对每个LED发出的光束进行两个阶段的局部发光范围的收取，以供检测装置接收并检测各光纤收取对应的第二局部光束，达到同时检测LED的目的以外，且由于每个第二局部光束彼此独立而不相互重叠，故可确保检测每个LED的精确度而不受其他LED的干扰(crosstalk)，达到分光检测的目的。为让本专利技术能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。附图说明图1为本专利技术的光学检测系统一实施例的示意图。图2为本专利技术的调光模块一实施例的示意图。图3为本专利技术的调光模块另一实施例的示意图。图4A为本专利技术的光学检测系统另一实施例的示意图。图4B为本专利技术的LED与收光模块中的光纤一应用例的示意图。图5为本专利技术的光学检测系统又一实施例的示意图。图6A为本专利技术的检测装置与收光模块一具体实施例的示意图。图6B为本专利技术光纤中的收取端的示意图。图6C为本专利技术光纤中的检测端的示意图。图6D为本专利技术光纤的光信号与感光单元的示意图。图6E为本专利技术每一光纤检测后的光谱示意图。图7为本专利技术的光学检测系统再一实施例的示意图。附图标记说明：100,200,300,400-光学检测系统；110-检测载台；120-载体；130-调光模块；140-收光模块；142-光纤；142A-收取端；142B-检测端；144-接收镜；150-检测装置；152-检测元件；154-多通道光谱仪；260,360-放大镜组；50,50A,50B-LED；60-数字微镜装置；62-微镜；64-控制元件；70-针孔过滤装置；71-本体；71A-第一本体区段；71B-第二本体区段；71C-第三本体区段；72A,72B-针孔；d1-间距；F1-第一号光纤；F2-第二号光纤；F3-第三号光纤；G1-发光范围；G2-局部发光范围；H1,H2-间距；L1,L11,L12-光束；L2,L21,L22-第一局部光束；L3,L31,L32,L33-第二局部光束；LX-第一方向；LY-第二方向；PA-感光单元。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此限制本专利技术的保护范围。为了说明上的便利和明确，图式中各元件的厚度或尺寸，以夸张或省略或概略的方式表示，以供熟悉此技艺的人士的了解与阅读，且各元件的尺寸并未完全为其实际的尺寸，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具有技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均仍应落在本案所揭示的
技术实现思路
涵盖的范围内。图1为本专利技术的光学检测系统一实施例的示意图。请参阅图1。本实施例的光学检测系统100用以检测呈阵列式排列的多个LED50。光学检测系统100包括一检测载台110、一调光模块130、一收光模块140以及一检测装置150。检测载台110承载一载体120，载体120上设有多个LED50，其中载体120可为一晶圆、一基板或一蓝膜(BlueTape)，视产品而可调整，LED50经切割后在形式大致呈现阵列式排列，例如当载体120为蓝膜时，各个切割后的LED50的排列间距的规则性已不如切割前的排列态样，但整体而言仍称之为阵列式排列。在本实施例中，调光模块130设置于收光模块140与检测载台110之间，调光模块130接收各LED发出的一光束L1，各光束L1分别通过调光模块130而形成相对应的第一局部光束L2，其中第一局部光束L2是对应光束L1的局部发光范围的光束，换言之，调光模块130用以使每个光束L1中的第一局部光束L2通过，使得本实施例是收取每个LED50的局部发光范围的第一局部光束L2，不是每个LED50的光束L1的全部发光范围，除了让每个第一局部光束L2彼此独立而不相互重叠以外，由于LED50的形状通常为方形或矩形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学检测系统，用以检测呈阵列式排列的多个LED，其特征在于，该光学检测系统包括：/n一检测载台，承载一载体，该载体上设有该多个LED；/n一调光模块，接收各LED发出的一光束，各光束分别通过该调光模块而形成相对应的一第一局部光束，且各第一局部光束彼此独立而不相互重叠；/n一收光模块，其中该调光模块设置于该收光模块与该检测载台之间，该收光模块包括多个光纤，各光纤用以收取各第一局部光束而形成相对应的一第二局部光束；以及/n一检测装置，接收并检测各光纤收取对应的第二局部光束。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统，用以检测呈阵列式排列的多个LED，其特征在于，该光学检测系统包括：
一检测载台，承载一载体，该载体上设有该多个LED；
一调光模块，接收各LED发出的一光束，各光束分别通过该调光模块而形成相对应的一第一局部光束，且各第一局部光束彼此独立而不相互重叠；
一收光模块，其中该调光模块设置于该收光模块与该检测载台之间，该收光模块包括多个光纤，各光纤用以收取各第一局部光束而形成相对应的一第二局部光束；以及
一检测装置，接收并检测各光纤收取对应的第二局部光束。


2.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，还包括：
一放大镜组，用以使各LED对应的第一局部光束的位置对应至各光纤的位置。


3.如权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，该放大镜组设置于该检测载台与该调光模块之间。


4.如权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，该放大镜组设置于该调光模块与该收光模块之间。


5.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，该调光模块为一数字微镜装置，该数字...

【专利技术属性】
技术研发人员：李茂杉，陈建有，陈岱君，
申请(专利权)人：均豪精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71