热泡式喷墨头及喷墨头加热芯片制造技术

本发明专利技术提供一种喷墨头加热芯片，其包括基板、多个控制元件、绝缘层、多个第一导电图案、多个第二导电图案以及多个加热器。多个控制元件设置在基板上。绝缘层设置在多个控制元件上，且具有多个开口。每一个开口在第一方向上具有第一长度。多个第一导电图案和多个第二导电图案彼此分离设置。每一个第一导电图案具有第一侧壁。每一个第二导电图案具有第二侧壁。重叠于多个开口的其中一个的第一侧壁和第二侧壁彼此相对，且在第一方向上的距离小于第一长度。多个加热器电性连接多个第一导电图案和多个第二导电图案。每一个第一导电图案电性连接于多个控制元件的一个与多个加热器的一个之间。本发明专利技术还提供一种包含上述喷墨头加热芯片的热泡式喷墨头。

【技术实现步骤摘要】
热泡式喷墨头及喷墨头加热芯片
本专利技术涉及一种热泡式喷墨技术，尤其涉及一种热泡式喷墨头及喷墨头加热芯片。
技术介绍
喷墨打印技术已广泛地应用于打印设备。根据喷墨打印技术，将墨滴喷射到打印介质上以在打印介质上形成墨点，从而通过这些墨点在打印介质上形成图像或文本。最受欢迎的喷墨打印技术包括压电喷墨打印和热气泡喷墨打印。根据热气泡喷墨打印，墨水被喷墨头中的加热器瞬时汽化以产生高压气泡，然后通过喷嘴将墨水喷射以形成墨滴。为了使墨水汽化，喷墨头的瞬时温度极高(例如，主要由水性液体组成的墨水可被加热至接近300℃)。重复的加热和冷却过程将产生不利于喷墨芯片结构的热效应，并导致喷墨头的可靠性下降。一般来说，加热器例如是经由绝缘层的接触孔电连接至控制元件。由于传递至加热器的驱动电流在通过接触孔时会产生多余的废热，导致加热器和控制元件之间的连接不稳定。因此，仍然需要一种合适的喷墨头加热芯片结构，以抑制多余热量(或无效热量)的产生并提高热泡式喷墨头的可靠性。
技术实现思路
本公开提供一种喷墨头加热芯片，其具有较佳的电流传导效率。...

【技术保护点】
1.一种热泡式喷墨头，其特征在于，包括：/n基板；/n多个控制元件，设置在所述基板上；/n绝缘层，设置在所述多个控制元件上，所述绝缘层具有多个开口，且每一个所述多个开口在第一方向上具有第一长度；/n多个第一导电图案和多个第二导电图案，彼此分离设置，每一个所述多个第一导电图案具有第一侧壁，每一个所述多个第二导电图案具有第二侧壁，重叠于所述多个开口的其中一个的所述第一侧壁和所述第二侧壁彼此相对，且在所述第一方向上具有距离，所述距离小于所述第一长度；/n多个加热器，电性连接所述多个第一导电图案和所述多个第二导电图案，其中每一个所述多个第一导电图案电性连接于所述多个控制元件的一个与所述多个加热器的一个...

【技术特征摘要】
20200121 US 62/963,5551.一种热泡式喷墨头，其特征在于，包括：
基板；
多个控制元件，设置在所述基板上；
绝缘层，设置在所述多个控制元件上，所述绝缘层具有多个开口，且每一个所述多个开口在第一方向上具有第一长度；
多个第一导电图案和多个第二导电图案，彼此分离设置，每一个所述多个第一导电图案具有第一侧壁，每一个所述多个第二导电图案具有第二侧壁，重叠于所述多个开口的其中一个的所述第一侧壁和所述第二侧壁彼此相对，且在所述第一方向上具有距离，所述距离小于所述第一长度；
多个加热器，电性连接所述多个第一导电图案和所述多个第二导电图案，其中每一个所述多个第一导电图案电性连接于所述多个控制元件的一个与所述多个加热器的一个之间；
墨水阻障层，设置在所述多个加热器上，所述墨水阻障层具有多个墨水腔室，每一个所述多个墨水腔室重叠于所述多个加热器的其中一个；以及
喷孔片，设置在所述墨水阻障层上，且具有多个喷孔，每一个所述多个喷孔重叠于所述多个墨水腔室的其中一个。


2.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，每一个所述多个第一导电图案还包括连接所述第一侧壁的第一表面，每一个所述多个第二导电图案还包括连接所述第二侧壁的第二表面，且所述多个加热器直接覆盖所述多个第一导电图案的所述多个第一侧壁和所述多个第一表面以及所述多个第二导电图案的所述多个第二侧壁和所述多个第二表面。


3.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，所述绝缘层的每一个所述多个开口在第二方向上具有第二长度，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述多个第一导电图案和所述多个第二导电图案的每一个在所述第二方向上的宽度大于每一个所述多个开口的所述第二长度。


4.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，所述多个控制元件为薄膜晶体管。


5.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，所述多个加热器的材料包括透明导电材料。


6.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，还包括：
钝化层，覆盖所述多个加热器，其中所述墨水阻障层的所述多个墨水腔室暴露出所述钝化层的部分表面，所述钝化层的材质包括氮化硅、碳化硅、钽金属、或上述的组合。


7.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，所述绝缘层的每一个所述多个开口在第二方向上具有第二长度，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述多个第一导电图案和所述多个第二导电图案的每一个在所述第二方向上的宽度小于每一个所述多个开口的所述第二长度。


8.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，每一个所述多个加热器包括：
加热部，完全覆盖所述绝缘层的所述多个开口的一个；以及
第一端部和第二端部，分别设置在所述加热部的相对两侧，且连接所述加热部，所述第一端部和所述第二端部各自与所述绝缘层的所述多个开口的所述一个部分重叠，其中所述加热部在第二方向上具有第一宽度，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述第一端部和所述第二端部各自在所述第二方向上具有第二宽度，且所述第二宽度大于所述第一宽度。


9.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，每一个所述多个加热器包括：
第三侧壁和第四侧壁，彼此相对设置；以及
第一表面和第二表面，所述第一表面连接所述第三侧壁，所述第二表面连接所述第四侧壁，其中所述多个第一导电图案的一个覆盖所述第一表面和所述第三侧壁，且所述多个第二导电图案的一个覆盖所述第二表面和所述第四侧壁。


10.根据权利要求1所述的热泡式喷墨头，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝元亮，庄至顺，蓝朝诚，
申请(专利权)人：国际联合科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71