【技术实现步骤摘要】
一种狭缝挤出式高精密平板涂布机及涂布方法
本专利技术属于涂布机的
，具体而言，涉及一种狭缝挤出式高精密平板涂布机及涂布方法。
技术介绍
通常在半导体行装置及平板显示器(FPD：flatpaneldisplay)的制造工艺中，为了使被处理基板(玻璃基本)上的执行特定功能的薄膜，例如氧化薄膜、金属薄膜、半导体薄膜等以所需的形状形成的图案(patterning)而执行在所述薄膜上涂布与光源产生反应的感光液(sensitivematerial)的工序。狭缝式涂布是一种在一定压力下，将涂液沿着模具缝隙压出并转移到移动基材上的一种涂布技术，它以其涂布速度快、涂膜均匀性好、涂布窗口宽等特点，代表了湿法涂布未来发展方向。狭缝式涂布(SlotDieCoating)是一种高精密的涂布方式，不仅用于光学膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等)、OLED涂布等，还可以用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布，也应用于非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布。狭缝涂布技术适用于各种涂布液，可广泛应用于不...
【技术保护点】
1.一种狭缝挤出式高精密平板涂布机，包括工作台机架，其特征在于，该涂布机还包括：/n设于工作台机架上的吸附平台定位装置；/n设于工作台机架上的涂布头Z轴运动机构，所述涂布头Z轴运动机构装有涂布模头机构并驱动涂布模头机构在Z轴方向上作升降运动，且通过涂布模头机构配合吸附平台定位装置的Y轴方向运动对工件涂布；/n设于工作台机架上且与涂布模头机构相适配的涂布头清洁装置，通过涂布头清洁装置的X轴方向运动对涂布模头机构作清洁；/n其中，所述涂布模头机构通过管路控制系统连接有涂布液供液装置，涂布头清洁装置连接有清洁液供液装置。/n
【技术特征摘要】
1.一种狭缝挤出式高精密平板涂布机，包括工作台机架，其特征在于，该涂布机还包括：
设于工作台机架上的吸附平台定位装置；
设于工作台机架上的涂布头Z轴运动机构，所述涂布头Z轴运动机构装有涂布模头机构并驱动涂布模头机构在Z轴方向上作升降运动，且通过涂布模头机构配合吸附平台定位装置的Y轴方向运动对工件涂布；
设于工作台机架上且与涂布模头机构相适配的涂布头清洁装置，通过涂布头清洁装置的X轴方向运动对涂布模头机构作清洁；
其中，所述涂布模头机构通过管路控制系统连接有涂布液供液装置，涂布头清洁装置连接有清洁液供液装置。
2.根据权利要求1所述的狭缝挤出式高精密平板涂布机，其特征在于，所述吸附平台定位装置包括：
沿Y轴方向运动的直线电机；
用于放置工件的平台组件且平台组件通过电机安装板装于直线电机上，所述平台组件通过直线电机驱动其沿Y轴方向运动。
3.根据权利要求2所述的狭缝挤出式高精密平板涂布机，其特征在于，所述直线电机的运动路径一端设有缓冲器，通过缓冲器对直线电机的运动提供缓冲作用力。
4.根据权利要求2所述的狭缝挤出式高精密平板涂布机，其特征在于，所述平台组件包括：
平台主体，所述平台主体上分布有若干个吸附孔，且平台主体通过至少三个支撑组件连接于电机安装板上；
至少三个滑动设于平台主体内的顶针，各所述顶针装于顶针底架上且顶针底架配设有驱动其升降的顶针升降气缸；
至少三个设于平台主体周围的归正组件，通过各个归正组件的共同作用对工件进行工件定位。
5.根据权利要求4所述的狭缝挤出式高精密平板涂布机，其特征在于，所述支撑组件包括设于平台主体上的连接法兰、与连接法兰连接的调节螺杆以及与调节螺杆连接的法兰板，所述法兰板装于电机安装板上。
6.根据权利要求4所述的狭缝挤出式高精密平板涂布机，其特征在于，所述归正组件包括：
归正块，所述归正块连接有驱动其作升降运动的归正气缸；
装于平台主体上的滑台气缸，所述归正气缸沿垂直于平台主体的侧边方向上滑动设于滑台上，且通过滑台气缸驱动归正气缸运动。
7.根据权利要求1所述的狭缝挤出式高精密平板涂布机，其特征在于，所述涂布模头机构包括：
涂布喷嘴，所述涂布喷嘴设有排液接头和进液接头；
与涂布喷嘴连接的喷嘴安装板，所述喷嘴安装板的两端铰接连接于涂布头Z轴运动机构上。
8.根据权利要求7所述的狭缝挤出式高精密平板涂布机，其特征在于，所述涂布头Z轴运动机构包括：
两个呈对称设置的立座，两所述立座之间连接有连接板；
分别设于各所述立座上且呈对称布置的A伺服模组，所述A伺服模组通过伺服安装板装有连接头并驱动伺服安装板在Z轴方向运动，连接头与喷嘴安装板连接；
分别设于连接板两侧的平衡气缸，各所述平衡气缸分别通过浮动接头与其对应的伺服安装板连接并驱动伺服安装板在Z轴方向运动。
9.根据权利要求8所述的狭缝挤出...
【专利技术属性】
技术研发人员：全炯俊，黄宇，阙磊，李江山，张开东，
申请(专利权)人：成都拓米电子装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51
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