【技术实现步骤摘要】
废气处理设备用加热器
本技术涉及芯片制造以及液晶板制造废气处理设备领域,具体为废气处理设备用加热器。
技术介绍
芯片和液晶面板生产过程中会产生废气,大部分废气需要高温燃烧处理,才能达到无害排放的效果。老式的废气处理设备使用金属式加热器,通常温度达不到850℃以上,或是达到以后由于其没有有力的支撑致使其达到预设温度发生形变,影响发热效果,造成处理效率低下,废气排放不合格。还有的废气处理设备为了达到加热850℃以上的效果,使用碳化硅式加热器,但此类加热器极其脆弱,容易断裂,成本高昂。
技术实现思路
为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:废气处理设备用加热器,包括加热丝,还包括陶瓷主骨,加热丝为弹簧式缠绕于陶瓷主骨的外表面,加热丝缠绕于陶瓷主骨,可在其加热过程中得到支撑,不会发生形变影响其加热效果,弹簧式的加热丝增加其加热效率。进一步的,陶瓷主骨外表面延其长度方向开设有螺旋槽,加热丝嵌设于螺旋槽内,并与设置于陶瓷主骨一端的电源连接线电性连接,加热丝嵌设于螺旋槽,加热丝工作过程中螺旋槽可提供有效的力的支撑和聚能的效果,提高加热效果。进一步的,加热丝为镍铬合金加热丝,利用其合金的特性,高温环境中的强度高,长期高温运行不易发生变形,常温塑性好,变形修复较为简单,配合陶瓷主骨,可有效的降低制造难度,同时达到预设温度,提高废气处理效率。工作原理和有益效果:通过加热丝缠绕于陶瓷主骨,可在其加热过程中得到支撑,不会发生形变影响其加热效果,弹簧式的加热丝增加其加热效率。(1 ...
【技术保护点】
1.废气处理设备用加热器,包括加热丝(1),其特征在于:还包括陶瓷主骨(2),加热丝(1)为弹簧式缠绕于陶瓷主骨(2)的外表面;/n陶瓷主骨(2)外表面延其长度方向开设有螺旋槽(3),加热丝(1)嵌设于螺旋槽(3)内,并与设置于陶瓷主骨(2)一端的电源连接线电性连接。/n
【技术特征摘要】
1.废气处理设备用加热器,包括加热丝(1),其特征在于:还包括陶瓷主骨(2),加热丝(1)为弹簧式缠绕于陶瓷主骨(2)的外表面;
陶瓷主骨(2)外表面延其长度方向开设有螺旋槽(3),加热...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘宁,汪先民,
申请(专利权)人:上海斡铌禾自动化科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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