【技术实现步骤摘要】
振动器件的制造方法
本专利技术涉及振动器件的制造方法。
技术介绍
例如，在专利文献1中，作为调整音叉振子的频率的方法，记载了通过照射激光来去除设置在振动臂的前端部的金属膜的一部分的方法。专利文献1：日本特开2009-232376号公报但是，在专利文献1的频率调整方法中，通过激光的照射而被去除一部分的金属膜具有去除了金属膜的一部分的去除部分以及未去除金属膜的非去除部分，去除部分是被照射激光的区域，非去除部分是未被照射激光的区域，在它们的边界形成具有垂直面的台阶。进而，在非去除部分，通过激光的照射而蒸发的金属材料再次附着，由此形成浮渣(飞沫)。浮渣容易从金属膜脱离，由于浮渣从金属膜脱离，振动臂的质量发生变化，由此，音叉振子的频率可能发生变化。
技术实现思路
本应用例的振动器件的制造方法的特征在于，包含如下工序：准备振动元件，该振动元件具有振动臂和配置在所述振动臂上的施重部；以及对所述施重部照射激光而去除所述施重部的一部分，在所述去除的工序中，通过对所述施重部的一部分照射所述激光，在所述施重部上...
【技术保护点】
1.一种振动器件的制造方法，其特征在于，该振动器件的制造方法包含如下工序：/n准备振动元件，该振动元件具有振动臂和配置在所述振动臂上的施重部；以及/n对所述施重部照射激光而去除所述施重部的一部分，/n在所述去除的工序中，/n通过对所述施重部的一部分照射所述激光，在所述施重部上形成所述施重部的一部分被去除的去除区域和所述施重部未被去除的非去除区域，/n在所述去除区域内的所述非去除区域侧的区域中，使所述激光的照射量从所述非去除区域侧向所述去除区域侧逐渐增加。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
20200130 JP 2020-0141001.一种振动器件的制造方法，其特征在于，该振动器件的制造方法包含如下工序：
准备振动元件，该振动元件具有振动臂和配置在所述振动臂上的施重部；以及
对所述施重部照射激光而去除所述施重部的一部分，
在所述去除的工序中，
通过对所述施重部的一部分照射所述激光，在所述施重部上形成所述施重部的一部分被去除的去除区域和所述施重部未被去除的非去除区域，
在所述去除区域内的所述非去除区域侧的区域中，使所述激光的照射量从所述非去除区域侧向所述去除区域侧逐渐增加。
2.根据权利要求1所述的振动器件的制造方法，其中，
在所述去除的工序中，使所述激光从所述非去除区域侧向所述去除区域侧扫描。
3.根据权利要求1或2所述的振动器件的制造方法，其中，
在所述去除的工序中，连续照射点状的所述激光。
技术研发人员：川内修，志村匡史，佐佐木奖悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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