固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法和电子装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及可以通过使用光电转换膜来形成更好的用于检测焦点的像素的固态摄像元件、该摄像元件的制造方法和电子装置。所述固态摄像元件包括：第一像素，其包括由光电转换膜以及上下夹持所述光电转换膜的第一电极和第二电极形成的光电转换单元，其中，所述第一电极和所述第二电极中的至少一者是针对每个像素分离的分离电极；以及第二像素，其包括所述光电转换单元，其中，所述第二像素的所述分离电极形成为具有比所述第一像素的所述分离电极的平面尺寸更小的平面尺寸，且至少延伸至像素边界的第三电极形成在由于更小的平面尺寸而空出的区域中。本发明专利技术可例如应用于固态摄像元件等。

【技术实现步骤摘要】
固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法和电子装置本申请是申请日为2015年10月22日、专利技术名称为“固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法和电子装置”的申请号为201580057669.7专利申请的分案申请。
本专利技术涉及固态摄像元件、该固态摄像元件的制造方法和电子装置，并特别地涉及能够通过使用光电转换膜形成更好的用于检测焦点的像素的固态摄像元件、该固态摄像元件的制造方法以及电子器件。
技术介绍
在诸如数码相机、摄像机、监控相机、复印机和传真机等许多设备上安装有使用半导体的固态摄像元件。近来，通常将通过互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺与外围电路一起制造的所谓CMOS摄像元件用作固态摄像元件。在目前存在的CMOS摄像元件中，采用使用具有关于光入射角度不对称的灵敏度的用于检测焦点的像素，以作为相机的自动对焦功能。例如，在专利文献1中，对于用于实现用于检测焦点的像素的方法，将像素中的光电二极管划分成两个部分，并且将它们中的具有较小面积的一者用于检测焦点。而且，近来，研发出了将有机半导体和无机化合物半导体用作光电转换膜的摄本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固态摄像元件，其包括：/n第一像素，其包括光电转换单元的第一部分，所述光电转换单元的所述第一部分包括光电转换膜的第一部分以及第一电极的第一部分和第二电极，所述第一电极的所述第一部分和所述第二电极上下夹持所述光电转换膜的所述第一部分，其中，所述第二电极针对每个像素分离；以及/n第二像素，其包括所述光电转换单元的第二部分，所述光电转换单元的所述第二部分包括分离电极和第三电极，其中，所述分离电极针对每个像素分离，并形成为具有比所述第一像素的所述第二电极的平面尺寸更小的平面尺寸，且至少延伸至所述第二像素的边界的所述第三电极形成在由于更小的平面尺寸而空出的区域中。/n

【技术特征摘要】
20141105 JP 2014-2251901.一种固态摄像元件，其包括：
第一像素，其包括光电转换单元的第一部分，所述光电转换单元的所述第一部分包括光电转换膜的第一部分以及第一电极的第一部分和第二电极，所述第一电极的所述第一部分和所述第二电极上下夹持所述光电转换膜的所述第一部分，其中，所述第二电极针对每个像素分离；以及
第二像素，其包括所述光电转换单元的第二部分，所述光电转换单元的所述第二部分包括分离电极和第三电极，其中，所述分离电极针对每个像素分离，并形成为具有比所述第一像素的所述第二电极的平面尺寸更小的平面尺寸，且至少延伸至所述第二像素的边界的所述第三电极形成在由于更小的平面尺寸而空出的区域中。


2.如权利要求1所述的固态摄像元件，其中，所述第三电极连接到用于保持由所述光电转换单元生成的电荷的电荷保持单元。


3.如权利要求1所述的固态摄像元件，其中，所述第三电极是相邻像素的分离电极。


4.如权利要求1所述的固态摄像元件，其中，所述第三电极跨越包括所述第二像素及其相邻像素的三个像素。


5.如权利要求1所述的固态摄像元件，其中，所述第三电极连接到用于提供固定电位的配线。


6.如权利要求1所述的固态摄像元件，其中，所述第三电极是形成在相邻像素的所述分离电极之间的元件分离电极。


7.如权利要求1所述的固态摄像元件，其中，所述第三电极是不与配线连接的隔离图案。


8.如权利要求1-7中任一项所述的固态摄像元件，其中，所述第二像素是用于生成焦点检测用信号的相位差像素。

【专利技术属性】
技术研发人员：兼田有希央，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP