晶片测试系统及其方法技术方案

本公开提供一种晶片测试系统及其方法。该测试系统包括一探针装置、一数据服务器、一自动化子系统以及一探针刮痕估计子系统。该探针装置具有一探针卡、一测试器以及一相机。该探针卡具有多个探针引脚，用以接触在该晶片中的多个测试垫，而该相机获取所述多个测试垫的一影像。该自动化子系统从该探针装置获得一影像规格，并触发在所述多个测试垫的该影像中的一探针刮痕的一自动化估计。该探针刮痕估计子系统执行在所述多个测试垫的该影像中的该探针刮痕的该自动化估计。该探针刮痕估计子系统执行一影像处理操作，以获得一探针刮痕估计结果，且若是该探针刮痕估计结果表示一探针测试故障的话，则该自动化子系统停止该探针装置。

【技术实现步骤摘要】
晶片测试系统及其方法
本公开主张2020年1月31日申请的美国正式申请案第16/778,746号的优先权及益处，该美国正式申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。
技术介绍
部分由于集成密度的改善，因此半导体产业经历持续快速的增长。一般而言，其是需要测试载晶片级的集成电路元件的电性特征(electricalcharacteristic)，以检查该集成电路元件是否满足产品规格。选择具有满足产品规格的电性特征的集成电路元件给接下来的封装工艺，同时丢弃其他元件以避免额外的封装成本。通常，在完成封装工艺以筛选出不合规格的元件，以增加产品良率之后，是在集成电路元件上执行其他电性测试(electricalpropertytest)。通常需要人工检查以检查执行这些测试的探针工具的探针刮痕(probemarks)，探针刮痕是导致错误或容量损失(capacityloss)。因此，至关重要的是，对在探针工具中的探针引脚(probepins)的品质检查必须自动化并立即进行。上文的“现有技术”说明仅是提供
技术介绍
，并未承认上文的“现有技术”说明公开本公开的标的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片的测试系统，包括：/n一探针装置，包括一探针卡、一测试器以及一相机，其中该探针卡包括一或多个探针引脚，用以接触在该晶片中的一待测元件上的一或多个测试垫，该测试器提供一电子信号以测试该待测元件，而在所述多个测试垫已被所述多个探针引脚接触之后，该相机获取所述多个测试垫的一影像；/n一数据服务器，其中该探针装置上传所述多个测试垫的该影像到该数据服务器；/n一自动化子系统，从该探针装置获得一影像规格，并触发在所述多个测试垫的该影像中的一探针刮痕的一自动化估计；以及/n一探针刮痕估计子系统，用以执行在所述多个测试垫的该影像中的该探针刮痕的该自动化估计，其中该探针刮痕估计子系统从该数据服务器下...

【技术特征摘要】
20200131 US 16/778,7461.一种晶片的测试系统，包括：
一探针装置，包括一探针卡、一测试器以及一相机，其中该探针卡包括一或多个探针引脚，用以接触在该晶片中的一待测元件上的一或多个测试垫，该测试器提供一电子信号以测试该待测元件，而在所述多个测试垫已被所述多个探针引脚接触之后，该相机获取所述多个测试垫的一影像；
一数据服务器，其中该探针装置上传所述多个测试垫的该影像到该数据服务器；
一自动化子系统，从该探针装置获得一影像规格，并触发在所述多个测试垫的该影像中的一探针刮痕的一自动化估计；以及
一探针刮痕估计子系统，用以执行在所述多个测试垫的该影像中的该探针刮痕的该自动化估计，其中该探针刮痕估计子系统从该数据服务器下载所述多个测试垫的该影像，并执行一影像处理操作，以获得一探针刮痕估计结果，而若是该探针刮痕估计结果表示一探针测试故障的话，则该自动化子系统停止该探针装置。


2.如权利要求1所述的测试系统，其中由该探针刮痕估计子系统所执行的该自动化估计是决定从该探针刮痕到所述多个测试垫的一边界的一距离是否在一第一临界值内，而当从该探针刮痕到所述多个测试垫的该边界的该距离是在该第一临界值内时，则该探针测试故障是表示在该探针估计结果中。


3.如权利要求1所述的测试系统，其中由该探针刮痕估计子系统所执行的该自动化估计是决定从该探针刮痕到所述多个测试垫的一边界的一距离是否在一第二临界值内，而当从该探针刮痕到所述多个测试垫的该边界的该距离是在该第二临界值内时，则该探针测试故障是表示在该探针估计结果中。


4.如权利要求1所述的测试系统，其中由该探针刮痕估计子系统所执行的该自动化估计是决定该探针刮痕的一面积是否大于一第三临界值，而当该探针刮痕的该面积大于该第三临界值时，则该探针测试故障是表示在该探针估计结果中。


5.如权利要求1所述的测试系统，其中由该探针刮痕估计子系统所执行的该自动化估计是决定该探针刮痕的一数量是否小于一第四临界值，而当该探针刮痕的该数量小于该第四临界值时，则该探针测试故障是表示在该探针估计结果中。


6.如权利要求1所述的测试系统，其中若是该探针刮痕故障在一预定时间限制内的话，则该自动化子系统停止该探针装置。


7.如权利要求1所述的测试系统，其中该探针刮痕估计子系统上传所述多个测试垫的一分析影像到该数据服务器。


8.如权利要求1所述的测试系统，其中该测试系统还包括一测试结果分布子系统，用以传送该探针刮痕估计结果的一报告。


9.如权利要求8所述的测试系统，其中该测试结果分布子系统通过电子邮件传送该探针刮痕估计结果的该报告。


10.如权利要求1所述的测试系统，其中该测试系统还包括一错误监控子系统，用以从该自动化子系统接收一错误码信息以及一批量控制信息，其中该自动化子系统根据从该探针刮痕估计子系统所接收的该探针刮...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡佳霖，古文烨，陈典佑，林佳仪，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71