一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法技术

本发明专利技术提供一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法。通过在微环谐振腔阵列中插入不同数目的待测器件，经过光谱测量、参数提取、线性拟合等步骤得到单个待测器件的损耗。该方法相比传统的光损耗截距测量法可以减小芯片面积，提高测量精度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法
本专利技术涉及光器件损耗测量
，特别涉及一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法。
技术介绍
光器件的损耗是衡量器件性能的重要指标之一。截距法(cut-backmethod)是最经典、方便的光损耗测量方法，其原理是：通过测量由不同数目的待测器件级联而成的测试阵列的光损耗计算出单个待测器件的光损耗。截距法的优点是测量步骤简单、方便，但是当待测器件损耗较小时，需要构造的测试阵列的级联器件数目会很大，导致占据芯片面积过大，否则会影响测量精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法，以克服现有技术中的不足。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：本申请公开了一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法，包括以下步骤：S1、构建测试单元：在光芯片上构建一系列相同参数的微环谐振腔，将拥有n个的待测器件的待测器件组分别插入到不同的微环谐振腔的波导中，构成一系列测试单元；所述每个测试单元包括光入射端和光出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、构建测试单元：在光芯片上构建一系列相同参数的微环谐振腔，将拥有n个的待测器件的待测器件组分别插入到不同的微环谐振腔的波导中，构成一系列测试单元；所述每个测试单元包括光入射端和光出射端；所述n为自然数；/nS2、测量光谱特性：对每个测试单元，从光入射端耦合入射扫谱激光，在光出射端接收出射光，记录下测试单元的光谱特性；/nS3、计算每个待测器件组的损耗：对每个测试单元，用S2中得到的光谱特性提取每个测试单元的透过系数t和幅度损耗系数α；/nS4、计算单个待测器件的损耗：对每个测试单元损耗的分贝值Loss(dB)...

【技术特征摘要】
1.一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、构建测试单元：在光芯片上构建一系列相同参数的微环谐振腔，将拥有n个的待测器件的待测器件组分别插入到不同的微环谐振腔的波导中，构成一系列测试单元；所述每个测试单元包括光入射端和光出射端；所述n为自然数；
S2、测量光谱特性：对每个测试单元，从光入射端耦合入射扫谱激光，在光出射端接收出射光，记录下测试单元的光谱特性；
S3、计算每个待测器件组的损耗：对每个测试单元，用S2中得到的光谱特性提取每个测试单元的透过系数t和幅度损耗系数α；
S4、计算单个待测器件的损耗：对每个测试单元损耗的分贝值Loss(dB)＝-20log10(α)作线性拟合，拟合直线的斜率即为待测单个待测器件的插入损耗。


2.如权利要求1所述的一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法，其特征在于：所述步骤S1中，所述测试单元的数量可根据芯片面积灵活调整。


3.如权利要求1所述的一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法，其特征在于：所述步骤S1中，每个测试单元的n互不相同。


4.如权利要求1所述的一种基于截距法...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮小可，唐伟杰，储涛，
申请(专利权)人：之江实验室，
类型：发明
国别省市：浙江;33