洁净室净化空调系统及洁净厂房技术方案

本申请公开了一种洁净室净化空调系统及洁净厂房。该系统包括新风处理机组，新风处理机组包括壳体、一级加热器和二级加热器，壳体具有进风口和出风口，且沿新风处理机组的进风路径，一级加热器和二级加热器依次设置于壳体内；用于设置于洁净室回风通道中的干式冷却器；用于连通干式冷却器出水口与二级加热器进水口的第一管路组件，第一管路组件用于将干式冷却器出水口的液体输送至二级加热器的进水口；用于连通干式冷却器的进水口与二级加热器的出水口的第二管路组件，第二管路器件用于将二级加热器出水口的液体输送至干式冷却器的进水口；用于设置于洁净室顶部的风机过滤器机组。减轻了洁净室空气处理过程中冷热抵消的现象。

【技术实现步骤摘要】
洁净室净化空调系统及洁净厂房
本申请涉及集成电路厂房和平板显示器厂房
，尤其涉及一种洁净室净化空调系统及洁净厂房。
技术介绍
随着集成电路朝着加工精细化方向发展，迫使为之服务的洁净室也向温湿度控制高精度和高洁净度方向发展。目前，该类洁净室的净化空调系统通常采用新风处理机组、风机过滤器机组和干式冷却器的组合形式，其运行特点是：新风处理机组为保证洁净室内的相对湿度和正压值，需要将大量室外新风经过滤、冷却或加湿和加热后送入洁净室；同时，由于洁净室内满布了全年散发热量的工艺生产设备，为了保持洁净室内的环境温度，需要大量的冷水供给干式冷却器，以抵消工艺生产设备发热，且该类厂房的洁净室几乎无外围护结构，洁净室内的冷负荷与室外气象条件几乎无关，而仅与室内的工艺生产设备发热相关，所以干式冷却器需要全年供给冷水。对于集成电路厂房洁净室的新风处理系统，夏季需要供给冷水，以对室外进入的空气进行冷却和去湿；冬季需要供给热水，以对室外进入的空气进行加热，然后再加湿；至于过渡季则根据室外空气的露点温度进行冷却和去湿，或加热和加湿运行，以保证新风处理机组出口处本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洁净室净化空调系统，其特征在于，包括：/n新风处理机组，新风处理机组包括壳体、一级加热器和二级加热器，所述壳体具有进风口和出风口，且沿所述新风处理机组的进风路径，所述一级加热器和所述二级加热器依次设置于所述壳体内；/n用于设置于洁净室回风通道中的干式冷却器；/n用于连通所述干式冷却器的出水口与所述二级加热器的进水口的第一管路组件，所述第一管路组件用于将所述干式冷却器出水口的液体输送至所述二级加热器的进水口；/n用于连通所述干式冷却器的进水口与所述二级加热器的出水口的第二管路组件，所述第二管路器件用于将所述二级加热器出水口的液体输送至所述干式冷却器的进水口；/n用于设置于所述洁净室顶部的...

【技术特征摘要】
1.一种洁净室净化空调系统，其特征在于，包括：
新风处理机组，新风处理机组包括壳体、一级加热器和二级加热器，所述壳体具有进风口和出风口，且沿所述新风处理机组的进风路径，所述一级加热器和所述二级加热器依次设置于所述壳体内；
用于设置于洁净室回风通道中的干式冷却器；
用于连通所述干式冷却器的出水口与所述二级加热器的进水口的第一管路组件，所述第一管路组件用于将所述干式冷却器出水口的液体输送至所述二级加热器的进水口；
用于连通所述干式冷却器的进水口与所述二级加热器的出水口的第二管路组件，所述第二管路器件用于将所述二级加热器出水口的液体输送至所述干式冷却器的进水口；
用于设置于所述洁净室顶部的风机过滤器机组。


2.根据权利要求1所述的洁净室净化空调系统，其特征在于，所述第一管路组件包括：
热水供水管路；
设置于所述热水供水管路用于泵送热水供水管路内液体的循环水泵。


3.根据权利要求2所述的洁净室净化空调系统，其特征在于，所述热水供水管路包括用于调节所述热水供水管路内液体温度的加热组件。


4.根据权利要求3所述的洁净室净化空调系统，其特征在于，所述加热组件设置于所述循环水泵与所述二级加热器之间的部分，且所述加热组件包括并联设置的第一支管和第二支管，其中：
所述第一支管的一端与循环水泵的出水口连通，另一端与二级加热器的进水口连通，且所述第一支管上设有用于控制第一支管内液体流量的第一阀门；
所述第二支管的一端与循环水泵的出水口连通，另一端与二级加热器的进水口连通，且所述第二支管上设有用于对第二支管...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦学礼，阎冬，张群，肖红梅，王江标，
申请(专利权)人：世源科技工程有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11