一种带材真空等离子体镀膜方法及装置制造方法及图纸

一种带材真空等离子体镀膜方法及装置，包括真空镀膜室、设置在真空镀膜室内的收卷放卷装置，其特征在于收卷放卷装置包括设置在真空镀膜室内的两轴、移动小车、并排转动设置在移动小车上的两卷辊，两轴中的一个以上由动力带动转动，两轴的位于真空镀膜室内的端部设置有阴离合器构件，卷辊的对着阴离合器构件的端部设置有阳离合器构件，卷辊两端的轴上设置有轴承，对应卷辊的轴承的移动小车上设置有轴承支架。本发明专利技术与已有技术相比，具有能防止带板受到污染的、保证放卷时的线速度稳定的、能快速放进卷成卷状的金属带板的、省时省力的、生产效率高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种带材真空等离子体镀膜方法及装置
本专利技术涉及一种镀膜技术，特别是真空等离子体镀膜技术。
技术介绍
如专利CN201720479833.X所公开的，现有的带材真空等离子体镀膜技术是在镀膜室内设置放卷装置和收卷装置，镀膜时，通过叉车、带吊钩的吊车或送料小车将卷成卷状的金属带板放到放卷装置上，然后将卷成卷状的金属带板的牵引引带放到收卷装置上，通过放卷装置上的张紧机构张紧卷状的金属带板，通过收卷装置上的张紧机构张紧牵引引带，关闭镀膜室，抽真空，通入工艺气体，启动阴极靶弧电源，启动收卷装置，在阴极靶电弧的作用下，阴极靶材以带电的细小水滴的汽雾形式喷出，此时，由于金属带板通过收卷装置、放卷装置接地，因此，其电位高于阴极靶，这样，喷出的汽雾细小水滴吸附在展开的金属带板上，随着收卷装置的匀速收卷，持续喷出的汽雾细小水滴的阴极靶材均匀地镀在展开的金属带板上，从而完成带材真空等离子体连续镀膜过程。此种技术，由于需要将卷成卷状的金属带板放到放卷装置上，因此，需要使卷成卷状的金属带板中间穿孔对准放卷装置的带有张紧机构的辊，而卷成卷状的金属带板的重量是很重的，即使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带材真空等离子体镀膜装置，包括真空镀膜室、设置在真空镀膜室内的收卷放卷装置，真空镀膜室带有阴极靶、抽真空系统、加热系统和充工艺气系统，其特征在于收卷放卷装置包括设置在真空镀膜室内的两轴、移动小车、并排转动设置在移动小车上的两卷辊，两轴中的一个以上由动力带动转动，两轴的位于真空镀膜室内的端部设置有阴离合器构件，卷辊的对着阴离合器构件的端部设置有阳离合器构件，卷辊两端的轴上设置有轴承，对应卷辊的轴承的移动小车上设置有轴承支架。/n

【技术特征摘要】
1.一种带材真空等离子体镀膜装置，包括真空镀膜室、设置在真空镀膜室内的收卷放卷装置，真空镀膜室带有阴极靶、抽真空系统、加热系统和充工艺气系统，其特征在于收卷放卷装置包括设置在真空镀膜室内的两轴、移动小车、并排转动设置在移动小车上的两卷辊，两轴中的一个以上由动力带动转动，两轴的位于真空镀膜室内的端部设置有阴离合器构件，卷辊的对着阴离合器构件的端部设置有阳离合器构件，卷辊两端的轴上设置有轴承，对应卷辊的轴承的移动小车上设置有轴承支架。


2.根据权利要求1所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室内设置有将移动小车从镀膜室进口导向镀膜室内的轴的内导轨。


3.根据权利要求2所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在镀膜室的进口外侧设置有小车支架，小车支架上设置有能与内导轨相接的外导轨。


4.根据权利要求3所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于小车支架上靠近镀膜室的进口处设置有由动力带动的齿轮，对应齿轮的移动小车的下面设置有与齿轮啮合的齿条。


5.根据权利要求1或2或3或4所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于镀膜室内的两轴分别由相应动力带动转动。


6.根据权利要求1或2或3或4所述的带材真空等离子体镀膜装置，其特征在于在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜顺锋，
申请(专利权)人：佛山市天定五金制品有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44