【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及那种例如适用于找出缺陷，对在缺陷种类等的图形(pattern)分类中所用的图形词典进行优化处理的图形分类方法及其装置，以及能用计算机读出的存储媒体。
技术介绍
LCD的玻璃基片的检查和半导体晶片的检查，对玻璃基片进行摄像，取得其图像数据，从该图像数据中例如提取缺陷的面积、形状、浓淡值等图形特征量，对该被提取的图形特征量利用以下图形分类方法来进行检查。对根据已知图形特征量及其分类范畴信息而编辑的图形词典预先进行登记。在此，如果图形特征量是适用于上述玻璃基片检查的，那么就是例如面积、形状、浓淡度等。分类范畴信息例如是图形缺陷种类、灰尘、斑痕、焦点模糊、聚焦偏差等。若输入图形分类对象的图形特征量(输入图形)，则对该图形特征量和上述图形词典进行图形匹配处理。作为分类结果，输出分类范畴、相似度或距离的数值信息。对输入图形进行分类，使其属于这样的分类范畴，即其具有作为分类结果的数值信息中最适当的值(若是相似度，则为1，若是距离，则是接近0的值)，并且把作为分类结果的数值信息与某阈值相比较，若为阈值以下(或以上)，则加以确定。作为数值信息使用的相似度和距离，...
【技术保护点】
一种图形分类方法，其特征在于，包括： 从图形分类对象中提取图形特征量，把与上述图形特征量相对应的分类范畴信息登记／设定在图形词典中的步骤； 根据上述图形特征量和上述图形词典中所登记的马哈朗诺比斯词典，进行图形分类的步骤， 根据上述图形词典中所存放的上述图形分类范畴名称和上述图形特征量，进行上述图形词典的优化处理，编制上述马哈朗诺比斯词典。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉原隆史，
申请(专利权)人：奥林巴斯光学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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