板状体的检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种板状体的检查装置,其用于对在上表面侧以及下表面侧分别具有片状的被覆材料的板状体的侧面部进行检查,该板状体的检查装置具有:发光部,其用于向上述侧面部照射光；受光部,其用于接收在上述侧面部反射的上述光；输送机构,其用于使上述发光部和上述板状体的至少一者移动,从而使上述侧面部中的、自上述发光部照射的上述光的位置变化；以及判定部,其用于通过上述输送机构使上述侧面部中的自上述发光部照射的上述光的位置沿上述侧面部的长度方向变化,从而使用自上述发光部照射的上述光对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】板状体的检查装置
本专利技术涉及板状体的检查装置。
技术介绍
以往作为半导体基板、玻璃基板、石膏板等的建筑用面材等,作为具有板状形状的材料的板状体在工业中广泛使用。并且,对于板状体,为了对表面的缺口等导致的缺陷、表面的平坦度等进行评价,以往在研究对表面进行检查的方法、装置。例如,专利文献1中记载有如下平板状基板的表面缺陷检查装置,该平板状基板的表面缺陷检查装置包括:输送机构,其使小径侧端面彼此以所需间隔相对的每一组的锥形辊在输送方向以列状配置且使检查对象基板能够跨过该相对的锥形辊间进行输送,并且在该锥形辊列间的所需位置设定检查空间部；空气浮动机构,其沿着上述各组的锥形辊间的输送中心的需要宽度范围内除去上述检查空间部而配置,且利用来自下部侧的喷出空气使上述输送的检查对象基板的输送方向中心部浮起而排除重力的影响；以及检测机构,其在与输送方向正交的一维方向对通过上述检查空间部的检查对象基板的表面状況连续地进行光学检测。<现有技术文献><专利文献>专利文献1：(日本)特开平11-14890本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种板状体的检查装置,其用于对在上表面侧以及下表面侧分别具有片状的被覆材料的板状体的侧面部进行检查,该板状体的检查装置具有:/n发光部,其用于向上述侧面部照射光；/n受光部,其用于接收在上述侧面部反射的上述光；/n输送机构,其用于使上述发光部和上述板状体的至少一者移动,从而使上述侧面部中的、自上述发光部照射的上述光的位置变化；以及/n判定部,其通过上述输送机构使上述侧面部中的自上述发光部照射的上述光的位置沿上述侧面部的长度方向变化,从而使用自上述发光部照射的上述光对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190228 JP 2019-0366251.一种板状体的检查装置,其用于对在上表面侧以及下表面侧分别具有片状的被覆材料的板状体的侧面部进行检查,该板状体的检查装置具有:
发光部,其用于向上述侧面部照射光；
受光部,其用于接收在上述侧面部反射的上述光；
输送机构,其用于使上述发光部和上述板状体的至少一者移动,从而使上述侧面部中的、自上述发光部照射的上述光的位置变化；以及
判定部,其通过上述输送机构使上述侧面部中的自上述发光部照射的上述光的位置沿上述侧面部的长度方向变化,从而使用自上述发光部照射的上述光对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。


2.根据权利要求1所述的板状体的检查装置,其中,
还具有侧面位置限制机构,其用于对上述侧面部的位置进行限制。


3.根据权利要求1或2所述的板状体的检查装置,其中,
还具有距离计算部,其使用上述发光部照射的上述光,对上述发光部和上述侧面部之间的距离进行计算。


4.根据权利要求3所述的板状体的检查装置,其中,
上述判定部基于上述距离计算部计算的、上述发光部和上述侧面部之间的距离,对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。


5.根据权利要求4所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部具有第一发光部、以及第二发光部,
作为上述受光部具有第一受光部、以及第二受光部,
在上述板状体的第一侧面部侧配置有上述第一发光部、以及上述第一受光部,
在位于与上述第一侧面部相反侧的第二侧面部侧配置有上述第二发光部、以及上述第二受光部,
上述距离计算部使用自上述第一发光部照射的光对作为上述第一发光部和上述第一侧面部之间的距离的第一距离进行计算,并且使用上述第二发光部照射的光对作为上述第二发光部和上述第二侧面部之间的距离的第二距离进行计算,
上述判定部基于上述第一距离对上述第一侧面部是否具有缺陷进行判定,并且基于上述第二距离对上述第二侧面部是否具有缺陷进行判定。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部具有第一端部检测用发光部、以及第二端部检测用发光部,
作为上述受光部具有第一端部检测用受光部、以及第二端部检测用受光部,
将上述第一端部检测用发光部、以及上述第一端部检测用受光部配置在上述板状体的第一侧面部侧，并将上述第二端部检测用发光部、以及上述第二端部检测用受光部配置在位于与上述第一侧面部相反侧的第二侧面部侧，以使连结上述第一侧面部中的自上述第一端部检测用发光部照射的光的位置和上述第二侧面部中的自上述第二端部检测用发光部照射的光的位置的直线与位于上述板状体的上述第一侧面部以及上述第二侧面部之间的第三侧面部平行,
在上述输送机构使上述第一侧面部以及上述第二侧面部中的、自上述第一端部检测用发光部以及上述第二端部检测用发光部照射的光的位置以沿上述第一侧面部、以及上述第二侧面部的长度方向且以包括上述第三侧面部侧的端部的方式移动的情况下,
在上述第一端部检测用受光部开始接收光的时刻与上述第二端部检测用受光部开始接收光的时刻不一致的情况下,或者在上述第一端部检测用受光部结束接收光的时刻与上述第二端部检测用受光部结束接收光的时刻不一致的情况下,上述判定部判定在上述板状体的上述第三侧面部的长度方向的端部存在缺口。


7.根据权利要求6所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部还具有第三端部检测用发光部、以及第四端部检测用发光部,
作为上述受光部...

【专利技术属性】
技术研发人员：广冈雄一，端仓研一，
申请(专利权)人：吉野石膏株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP