一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统技术方案

本发明专利技术提供了一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，由线上仪器设备管理系统整合动态与安全模块以及教学和大数据模块后构成。本发明专利技术提供的动态与安全模块是一种讯息同步模块，能够帮助不同角色的人员快速掌握重点讯息，同时强化安全的运行方法和系统架构。本发明专利技术中的教学和大数据模块是一种能够回收用户数据，提供工艺良率维护、工艺原理教学和工艺经验传承的运行方法及系统架构。本发明专利技术将上述两种模块融入一般线上设备管理系统中，形成的整体运行方法和系统架构能够产生公共微纳加工平台高效运行的逻辑关系，达到消除人员‑实验‑仪器‑业务之间隔阂的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统
本专利技术涉及一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，涉及共享平台管理、大数据统计与分析、教学管理和科研仪器管理

技术介绍
在一所主要方向为物理、化学、材料和生物等重点学科的高水平研究型大学里，为了保障研究和教学的竞争力和永续发展，需要建立一个和微纳加工领域相关的大型设备、资源共享平台。此类共享平台的主体为专门制造电子芯片的电子厂房净化室，配套多种微米或纳米尺寸加工大型贵重仪器，主要涵盖光刻、金属薄膜、介电薄膜、干法刻蚀、湿法刻蚀、薄膜性质分析、器件封装和器件分析等不同功能，多套设备组合形成一套完整的工艺链。在制造电子芯片的行业里，为达到产能的需求，厂房净化室内分工细致，管理业务繁琐又复杂，这样的运行方式主要为了确保生产线产能。而在大学里，公共微纳加工平台是为了科研和教学目的而设置，因此工业界的运行方式并不适用于大学。在高水平研究型大学里，除了微纳加工平台的设备管理团队，人员用户(主要为本科生、研究生、博士后研究员和交换学生等)流动性高，科研实验和教学活动的节奏非常快速。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，由线上仪器设备管理系统整合动态与安全模块以及教学和大数据模块后构成；/n动态与安全模块具备安全动态管理功能、设备动态管理功能以及信息动态管理功能，其中：/n动态与安全模块通过安全动态管理功能为相关人员实时显示净化室内用户信息以及对违规行为做出判断后发出警告；/n动态与安全模块通过设备动态管理功能建立工艺设备和厂务设备之间的通联网，净化室内的工艺设备和厂务设备之间是一对多的关系，同时也是多对一的关系，从而形成工艺设备和厂务设备之间多对多的通联网，进一步利用工艺设备和厂务设备之间多对多的通联网，建立多方信息实时互联互通，便于不同人员抓...

【技术特征摘要】
1.一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，由线上仪器设备管理系统整合动态与安全模块以及教学和大数据模块后构成；
动态与安全模块具备安全动态管理功能、设备动态管理功能以及信息动态管理功能，其中：
动态与安全模块通过安全动态管理功能为相关人员实时显示净化室内用户信息以及对违规行为做出判断后发出警告；
动态与安全模块通过设备动态管理功能建立工艺设备和厂务设备之间的通联网，净化室内的工艺设备和厂务设备之间是一对多的关系，同时也是多对一的关系，从而形成工艺设备和厂务设备之间多对多的通联网，进一步利用工艺设备和厂务设备之间多对多的通联网，建立多方信息实时互联互通，便于不同人员抓取工艺设备和/或厂务设备的实时讯息、查询工艺设备和/或厂务设备的当前故障原因，查询工艺设备和/或厂务设备的历史故障记录；
动态与安全模块通过信息动态管理功能实现动态信息及时发布；
教学和大数据模块具备在线设备培训与考核功能、自主设计器件工艺流程功能、建立工艺大数据库功能以及使用工艺大数据库功能，其中：
教学和大数据模块通过在线设备培训与考核功能实现用户在线上完成安全培训、设备培训及考核；
用户通过教学和大数据模块的自主设计器件工艺流程功能，可以根据器件类型选用合适的工艺流程标准样板，并可对工艺流程标准样板进行编辑，教学和大数据模块通过自主设计器件工艺流程功能引导用户主动输入相关工艺数据；
教学和大数据模块通过建立工艺大数据库功能获取用户主动输入的工艺数据，汇总后建立工艺大数据库；
用户通过教学和大数据模块的使用工艺大数据库功能对工艺大数据库内的数据进行统计分析。


2.如权利要求1所述的一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，相关用户分别通过前台界面及后台界面登入所述综合管理系统的前台及后台；相关用户在净化室外处理业务时，通过前台界面登入所述综合管理系统的前台；相关用户在净化室内工作时，通过后台界面登入所述综合管理系统的后台。


3.如权利要求2所述的一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，相关用户可以在校园网登入所述前台；相关用户只能利用净化室门口或净化室内的电脑登入所述后台，且用户进入净化室必须登入所述后台。


4.如权利要求2所述的一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，新注册用户的权限仅限于登入前台后，使用所述教学和大数据模块中的所述在线设备培训与考核功能，以及所述动态与安全模块中的查询功能，利用该查询功能对所述动态与安全模块反馈的数据进行查询；待新注册的用户学习考核通过后，自动为其开放相关后台的相关权限。


5.如权利要求2所述的一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，所述动态与安全模块通过安全动态管理功能对违规行为做出判断时利用所述前台及所述后台判断区分用户在净化室内还是在净化室外，从而有效落实实验室双人制度，具体包括：
用户在进入净化室前需要利用所述后台界面登入所述后台，用户在离开净化室时需要利用所述后台界面登出所述后台；所述动态与安全模块通过安全动态管理功能通过用户在后台的状态判断当前净化室内用户的数量；
若净化室内当前没有用户，第一位用户利用所述后台界面登入所述后台时，所述动态与安全模块通过安全动态管理功能向当前用户发出单人进入净化室提醒，此时，当前用户有一定的缓冲时间登出后台或等待第二位用户登入后台；
若净化室内仅剩两名用户，倒数第二位用户利用所述后台界面登出所述后台时，所述动态与安全模块通过安全动态管理功能向当前用户发出提醒，提醒当前用户必须将另一位留在净化室内的用户一起带出净化室或者当前用户留在净化室内等待另一位用户一起离开；
用户若违反上述实验室双人制度，所述动态与安全模块通过安全动态管理功能自动发送警告邮件至用户本人、用户导师或直属上司以及平台团队。
所述动态与安全模块通过所述安全动态管理功能对人员进入净化室的时间进行统计，若某一用户单次登入后台超过15小时，则所述动态与安全模块通过所述安全动态管理功能自动发送邮件给用户、用户导师或直属上司；若某一用户单次登入超过24小时，则所述动态与安全模块通过所述安全动态管理功能再次自动发送邮件给用户、用户导师或直属上司以及学院安全负责人。


6.如权利要求2所述的一种专门用于公共微纳加工平台运行的综合管理系统，其特征在于，所述动态与安全模块通过所述动态管理功能给除工艺工程师及厂务工程师外的用户设定的权限是只能给工艺设备及厂务设备挂黄灯，工艺设备或厂务设备挂黄灯表示该工艺设备或厂务设备存在问题，需要工艺工...

【专利技术属性】
技术研发人员：张艳，张超，熊荣欣，何金金，陆盛楠，高珍，王宏达，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：上海;31