【技术实现步骤摘要】
一种定位平台设备
本申请涉及精密驱动领域，特别涉及一种定位平台设备。
技术介绍
随着超精密制造领域的发展，对零件的制造精度已经达到了纳米级，基于此制造精度的要求，诞生了诸如纳米机械加工机床、纳米激光直写光刻机等加工设备，同时为适应纳米加工的需要，相应的纳米级计量装备也应运而生，比如纳米级的定位平台设备，通过其纳米级的定位精度和分辨率，并采用扫描等方式，可对放置于其上的零件进行尺寸、表面质量等检测，这些纳米定位平台驱动方式主要分为电磁力驱动(比如音圈电机剪应力电磁驱动、正应力电磁驱动)和智能材料驱动(比如压电驱动、磁致伸缩驱动)两种。以智能材料驱动为例，其中压电驱动虽然具有体积小、力密度大、刚度大、高带宽、高运动分辨率等性能，但由于压电材料的自身特性将导致行程范围有限，通常行程为几十微米，而如果采用柔性铰链的放大机构来增加压电行程，又会使整体运动质量增大且降低运动频率；而磁致伸缩驱动性能并未高于压电驱动，因此在微纳米驱动领域未得到广泛的应用。又以电磁力驱动为例，其中音圈电机剪应力电磁驱动的纳米定位平台虽然可达到...
【技术保护点】
1.一种定位平台设备，其特征在于：包括运动平台(500)和驱动机构(400)，/n所述驱动机构(400)包括定子(410)、线圈(420)和动子(440)，/n所述定子(410)具有基板，所述基板的第一端面凸设4个定子臂(411)，所述4个定子臂(411)围成活动区域，所述动子(440)可移动的设置于所述活动区域，所述驱动机构(400)通过所述动子(440)驱动连接所述运动平台(500)，/n所述定子臂(411)成对设置形成两组驱动组，第一组所述驱动组中的两个所述定子臂(411)沿第一方向(X)依次设置，第二组所述驱动组中的两个所述定子臂(411)沿第二方向(Y)依次设置，...
【技术特征摘要】
1.一种定位平台设备，其特征在于：包括运动平台(500)和驱动机构(400)，
所述驱动机构(400)包括定子(410)、线圈(420)和动子(440)，
所述定子(410)具有基板，所述基板的第一端面凸设4个定子臂(411)，所述4个定子臂(411)围成活动区域，所述动子(440)可移动的设置于所述活动区域，所述驱动机构(400)通过所述动子(440)驱动连接所述运动平台(500)，
所述定子臂(411)成对设置形成两组驱动组，第一组所述驱动组中的两个所述定子臂(411)沿第一方向(X)依次设置，第二组所述驱动组中的两个所述定子臂(411)沿第二方向(Y)依次设置，所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)相交，
各所述驱动组均绕设有所述线圈(420)，在所述线圈(420)通电的情况下，所述动子(440)可于所述活动区域中沿所述第一方向(X)或所述第二方向(Y)运动，所述运动平台(500)可随所述动子(440)运动。
2.根据权利要求1所述的定位平台设备，其特征在于：所述驱动机构(400)还包括磁体(430)，所述磁体(430)固设于所述活动区域，
所述磁体(430)、所述动子(440)和所述运动平台(500)沿垂直所述第一端面的方向依次设置。
3.根据权利要求1所述的定位平台设备，其特征在于：所述动子(440)设有第一驱动极面和第二驱动极面，所述第一驱动极面位于沿所述第一方向(X)依次设置的两个所述定子臂(411)之间，所述第二驱动极面位于沿所述第二方向(Y)依次设置的两个所述定子臂(411)之间。
4.根据权利要求3所述的定位平台设备，其特征在于：所述第一驱动极面垂直于所述第一方向(X)，所述第二驱动极面垂直于所述第二方向(Y)。
5.根据权利要求1所述的定位平台设备，其特征在于：每个所述定子臂(411)均绕设有所述线圈(420)。
6.根据权利要求1所述的定位平台设备，其特征在于：所述定位平台设备还包括导向机构(700)，所述导向机构(700)包括第一导向件(710)和第...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈栎，房彦宁，黄鹏，周荣晶，朱志伟，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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