一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体行业超高纯水终端处理设备技术领域，具体为一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜，包括原水箱以及反渗透元件，所述原水箱一端连接有增压泵，所述增压泵一端连接产水管，所述产水管一端连接过滤器，所述过滤器一端连接高压泵，所述高压泵一端连接高压管，所述反渗透元件一端设有进水接口，所述反渗透元件另一端设有纯水接口和浓水接口，所述纯水接口一端连接分离元件，所述分离元件一端连接UV消毒元件，所述UV消毒元件一端连接有纯水箱，通过设置的反渗透膜，替代以前工艺中终端UF的使用，来祛除水中的杂质，对供水微生物进行有效拦截，保证供水的安全，使得设备使用时更加的高效。

【技术实现步骤摘要】
一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜
本技术涉及半导体行业超高纯水终端处理设备
，具体为一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜。
技术介绍
在半导体加工过程中需要使用水进行处理，该水质的要求非常高，不能含有任何离子杂质，通过前处理来达到进入终端的水质条件，终端通过抛光树脂满足电阻率、离子浓度的要求，通过脱气膜满足溶氧的要求，通过UV灯满足TOC的要求，通过终端超滤满足颗粒度的使用要求，终端超滤作为是终端最后道保障，因其本身的结构特点，在系统异常的情况下，不能控制整个水质指标，尤其对离子浓度和TOC的控制，此结果会造成整个产线的宕机，造成很大的损失。由于终端超滤其本身的结构特点，只能截留公称截留分子量6000以上的颗粒物，对小于该分子量物质截留不了，在系统异常的情况下，不能保证出水水质，导致纯水质量较低，使用时效率不高，因此需要一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜来改变现状。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜,包括原水箱以及反渗透元件，所述原水箱一端连接有增压泵，所述增压泵一端连接产水管，所述产水管一端连接过滤器，所述过滤器一端连接高压泵，所述高压泵一端连接高压管，所述反渗透元件一端设有进水接口，所述反渗透元件另一端设有纯水接口和浓水接口，所述纯水接口一端连接分离元件，所述分离元件一端连接UV消毒元件，所述UV消毒元件一端连接有纯水箱，所述浓水接口一端连接回流管，所述反渗透元件内端设有浓溶液区、反渗透膜以及稀溶液区。优选的，所述高压泵进水一端分别连接原水接口和浓水接口，所述高压泵出水一端通过高压管连接进水接口。优选的，所述反渗透元件具体采用超低压大通量膜组件。优选的，所述高压管采用SUS316LBA材质，所述产水管采用PVDF或CLPVC优选的，所述纯水箱的出水口通过产水管连接终端进水口。优选的，所述分离元件内端设有脱水膜组件。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.本技术中，通过设置的反渗透膜，由于反渗透膜是一种半透膜，其结构特点只允许水分子通过，几乎可以截留水中出水分子外的其他所有物质，所以在系统异常情况下，可以截留水中的离子、TOC以及颗粒物，本实用通过利用反渗透膜的结构特点，替代以前工艺中终端UF的使用，来祛除水中的杂质，对供水微生物进行有效拦截，保证供水的安全，使得设备使用时更加的高效。2.本技术中，通过反渗透元件以及设置的回流管，能够充分提高运行反渗透和系统的抗负荷能力，避免频繁启停导致处理系统发生故障的现象发生，保证了出水正常，使供水更加的安全，使得设备使用时更加的安全。3.本技术中，由于采用了反渗透膜设计，从而能够提高终端的使用寿命，减少膜体的频繁更换和维护，进而可以节约投资成本，使得设备使用时更加的方便。附图说明图1为本技术整体示意图；图2为本技术反渗透元件内部原理示意图A；图3为本技术反渗透元件内部原理示意图B；图4为本技术反渗透元件内部原理示意图C；图中：1-原水箱、2-反渗透元件、3-增压泵、4-过滤器、5-高压泵、6-高压管、7-进水接口、8-纯水接口、9-浓水接口、10-分离元件、11-UV消毒元件、12-纯水箱、13-产水管、14-浓溶液区、15-反渗透膜、16-稀溶液区、17-回流管具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4本技术提供一种技术方案：一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜,包括原水箱1以及反渗透元件2，原水箱1一端连接有增压泵3，增压泵3一端连接产水管13，产水管13一端连接过滤器4，过滤器4一端连接高压泵5，高压泵5一端连接高压管6，反渗透元件2一端设有进水接口7，反渗透元件2另一端设有纯水接口8和浓水接口9，纯水接口8一端连接分离元件10，分离元件10一端连接UV消毒元件11，UV消毒元件11一端连接有纯水箱12，浓水接口9一端连接回流管17，反渗透元件2内端设有浓溶液区14、反渗透膜15以及稀溶液区16，通过设置的反渗透膜15，由于反渗透膜15是一种半透膜，其结构特点只允许水分子通过，几乎可以截留水中出水分子外的其他所有物质，所以在系统异常情况下，可以截留水中的离子、TOC以及颗粒物，本实用通过利用反渗透膜15的结构特点，替代以前工艺中终端UF的使用，来祛除水中的杂质，对供水微生物进行有效拦截，保证供水的安全，使得设备使用时更加的高效，通过反渗透元件2以及设置的回流管17，能够充分提高运行反渗透和系统的抗负荷能力，避免频繁启停导致处理系统发生故障的现象发生，保证了出水正常，使供水更加的安全，使得设备使用时更加的安全，由于采用了反渗透膜15设计，从而能够提高终端的使用寿命，减少膜体的频繁更换和维护，进而可以节约投资成本，使得设备使用时更加的方便，具有一定的推广价值。本技术工作流程：使用时，通过高压泵5将原水导入反渗透元件2内，此时由于高压泵5给于浓溶液区14一侧施加大于渗透压的压力，从而使溶剂的流动方向将与原来的渗透方向相反，开始从浓溶液区14向稀溶液区16一侧流动(如图4所示)，进而达到反渗透的作用，通过设置的反渗透膜15，由于反渗透膜15是一种半透膜，其结构特点只允许水分子通过，几乎可以截留水中出水分子外的其他所有物质，所以在系统异常情况下，可以截留水中的离子、TOC以及颗粒物，本实用通过利用反渗透膜15的结构特点，替代以前工艺中终端UF的使用，来祛除水中的杂质，对供水微生物进行有效拦截，保证供水的安全，使得设备使用时更加的高效，通过反渗透元件2以及设置的回流管17，能够充分提高运行反渗透和系统的抗负荷能力，避免频繁启停导致处理系统发生故障的现象发生，保证了出水正常，使供水更加的安全，使得设备使用时更加的安全，由于采用了反渗透膜15设计，从而能够提高终端的使用寿命，减少膜体的频繁更换和维护，进而可以节约投资成本，有一定的推广价值。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜,包括原水箱(1)以及反渗透元件(2)，其特征在于：所述原水箱(1)一端连接有增压泵(3)，所述增压泵(3)一端连接产水管(13)，所述产水管(13)一端连接过滤器(4)，所述过滤器(4)一端连接高压泵(5)，所述高压泵(5)一端连接高压管(6)，所述反渗透元件(2)一端设有进水接口(7)，所述反渗透元件(2)另一端设有纯水接口(8)和浓水接口(9)，所述纯水接口(8)一端连接分离元件(10)，所述分离元件(10)一端连接UV消毒元件(11)，所述UV消毒元件(11)一端连接有纯水箱(12)，所述浓水接口(9)一端连接回流管(17)，所述反渗透元件(2)内端设有浓溶液区(14)、反渗透膜(15)以及稀溶液区(16)。/n

【技术特征摘要】
1.一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜,包括原水箱(1)以及反渗透元件(2)，其特征在于：所述原水箱(1)一端连接有增压泵(3)，所述增压泵(3)一端连接产水管(13)，所述产水管(13)一端连接过滤器(4)，所述过滤器(4)一端连接高压泵(5)，所述高压泵(5)一端连接高压管(6)，所述反渗透元件(2)一端设有进水接口(7)，所述反渗透元件(2)另一端设有纯水接口(8)和浓水接口(9)，所述纯水接口(8)一端连接分离元件(10)，所述分离元件(10)一端连接UV消毒元件(11)，所述UV消毒元件(11)一端连接有纯水箱(12)，所述浓水接口(9)一端连接回流管(17)，所述反渗透元件(2)内端设有浓溶液区(14)、反渗透膜(15)以及稀溶液区(16)。


2.根据权利要求1所述的一种在超高纯水终端代替UF处理应用的反渗透膜，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾明亲，
申请(专利权)人：上海三邦水处理技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31