弹性波装置制造方法及图纸

提供一种弹性波装置，即便所传播的弹性波的主成分是纵波也能够得到良好的阻抗特性。弹性波装置(1)具备支承基板(2)、压电体层(3)以及IDT电极(4)。压电体层(3)直接或间接地设置在支承基板(2)上。IDT电极(4)包括多个电极指(41)，设置于压电体层(3)的主面(31)。在将由IDT电极(4)的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ的情况下，压电体层(3)的厚度为1λ以下。支承基板(2)是A面蓝宝石基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术一般涉及弹性波装置，更详细而言涉及利用弹性波的弹性波装置。
技术介绍
以往，已知有一种弹性波装置，该弹性波装置具备支承基板、声速相对高的高声速膜、声速相对低的低声速膜、压电膜、以及IDT(InterdigitalTransducer，叉指换能器)电极(例如参照专利文献1)。高声速膜层叠在支承基板上，低声速膜层叠在高声速膜上。压电膜层叠在低声速膜上。通过在高声速膜与压电膜之间配置低声速膜，能够降低弹性波能量的损耗，提高Q值。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2012/086639号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1所公开的弹性波装置中传播的弹性波的主成分是纵波的情况下，根据支承基板的材料及方位，与传播以横波为主成分的弹性波的情况相比，有时弹性波能量的损耗变大。因此，存在Q值变低这样的问题，换言之，存在得不到良好的阻抗特性这样的问题。本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于，提供一种当弹性波在压电体层传播时能够得到良好的阻抗特性的弹性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：/n支承基板；/n压电体层，其直接或间接地设置在所述支承基板上；以及/nIDT电极，其包括多个电极指，设置于所述压电体层的主面，/n在将由所述IDT电极的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ的情况下，所述压电体层的厚度为1λ以下，/n所述支承基板是A面蓝宝石基板。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181213 JP 2018-2335751.一种弹性波装置，具备：
支承基板；
压电体层，其直接或间接地设置在所述支承基板上；以及
IDT电极，其包括多个电极指，设置于所述压电体层的主面，
在将由所述IDT电极的电极指周期决定的弹性波的波长设为λ的情况下，所述压电体层的厚度为1λ以下，
所述支承基板是A面蓝宝石基板。


2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述压电体层由钽酸锂或铌酸锂生成，
所述压电体层的欧拉角是在(90°±5°，90°±5°，40°±20°)、(0°±5°，35°±20°，90°±20°)及(0°±5°，85°±20°，90°±20°)中的任意一个范围内决定的方位、或者在晶体学上与在...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，永友翔，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP