缺陷检查装置和缺陷检查方法制造方法及图纸

该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分。控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】缺陷检查装置和缺陷检查方法
本专利技术涉及一种缺陷检查装置和缺陷检查方法。
技术介绍
以往，已知一种缺陷检查装置。缺陷检查装置例如在国际公开第2017/221324号中被公开。在上述国际公开第2017/221324号中公开了一种声波传播影像化装置(缺陷检查装置)，其具备：声波施加部，其对测定对象的表面施加声波(包括在气体、液体、固体中传播的所有弹性波)；脉冲激光光源，其向测定对象照射脉冲激光；散斑剪切干涉仪，其使来自被声波施加部施加了声波振动(以下简称为振动)的测定对象的互不相同的位置的、脉冲激光的反射光发生干涉；图像传感器，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制处理部，其基于由图像传感器拍摄到的发生了干涉的反射光，来生成与测定对象的振动的传播有关的运动图像。基于由该声波传播影像化装置生成的与振动的传播有关的运动图像，来获取测定对象的缺陷。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2017/221324号
技术实现思路
专利技术要解决的问题在上述国际公开第2017/221324号的声波传播影像化装置(缺陷检查装置)中记载有将振动的传播不连续的部位探测为缺陷的内容。但是，由于在没有缺陷的对象物中的具有不连续的形状和构造的部分也会产生振动的传播的不连续，因此为了判别振动的传播的不连续实际上是否为缺陷，需要将振动的传播的信息与对象的形状及构造的信息进行对比。本专利技术是为了解决如上所述的问题而完成的，本专利技术的一个目的在于提供如下一种缺陷检查装置和缺陷检查方法：能够容易地掌握振动检查对象中的振动的传播不连续的位置，并且能够容易地区分检查对象的形状及构造与缺陷。用于解决问题的方案为了实现上述目的，本专利技术的第一方面的缺陷检查装置构成为具备：激励部，其激励检查对象来使该检查对象产生声波振动；激光照明，其向检查对象照射激光；干涉部，其使来自被激励部进行了激励的检查对象的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉；摄像部，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分，其中，控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。在本专利技术的第一方面的缺陷检查装置中，如上所述那样设置控制部，该控制部进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。由此，能够一边根据静止图像来确认检查对象的形状、构造，一边确认从物理量的空间分布中提取出的振动的不连续部分。由此，能够容易地将检查对象的静止图像与振动的不连续部分的强调显示进行对比，因此能够容易地掌握检查对象中的振动的传播不连续的位置。另外，能够根据检查对象的静止图像来确认检查对象的形状。其结果，能够容易地掌握检查对象中的振动的传播不连续的位置，并且能够容易地区分检查对象的形状及构造与缺陷。为了实现上述目的，在本专利技术的第二方面的缺陷检查方法中，激励检查对象来使该检查对象产生声波振动，向检查对象照射激光，使来自被激励的检查对象的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉，拍摄发生了干涉的反射光，基于拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分，将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于拍摄到的检查对象的静止图像。在本专利技术的第二方面的缺陷检查方法中，如上所述那样将提取出的不连续部分以强调的方式重叠地显示于拍摄到的检查对象的静止图像。由此，能够一边根据静止图像来确认检查对象的形状、构造，一边确认从物理量的空间分布中提取出的振动的不连续部分。由此，能够容易地将检查对象的静止图像与振动的不连续部分的强调显示进行对比，因此能够容易地掌握检查对象中的振动的传播不连续的位置。另外，能够根据检查对象的静止图像来确认检查对象的形状。其结果，能够提供如下一种缺陷检查方法：能够容易地掌握检查对象中的振动的传播不连续的位置，并且能够容易地区分检查对象的形状及结构与缺陷。专利技术的效果如上所述，根据本专利技术，能够容易地掌握检查对象中的振动的传播不连续的位置，并且能够容易地区分检查对象的形状及结构与缺陷。附图说明图1是示出本专利技术的一个实施方式的缺陷检查装置的结构的框图。图2是用于说明本专利技术的一个实施方式的缺陷检查装置的缺陷的显示的图。图3是示出本专利技术的一个实施方式的缺陷检查装置的显示的一例的图。图4是用于说明由本专利技术的一个实施方式的缺陷检查装置的控制部进行的缺陷显示处理的流程图。图5是示出本专利技术的一个实施方式的变形例的缺陷检查装置的结构的框图。具体实施方式下面，基于附图来说明将本专利技术具体化的实施方式。(缺陷检查装置的结构)参照图1和图2对本专利技术的一个实施方式的缺陷检查装置100的结构进行说明。缺陷检查装置100是对检查对象7的缺陷进行检查的装置。本实施方式的缺陷检查装置100具备振子1、激光照明2、散斑剪切干涉仪3、控制部4、信号发生器5以及显示部6。此外，振子1是本专利技术的“激励部”的一例，散斑剪切干涉仪3是本专利技术的“干涉部”的一例。振子1及激光照明2经由线缆而与信号发生器5连接。振子1激励检查对象7来使该检查对象7产生振动(声波振动)。具体地说，振子1以与检查对象7接触的方式配置，将来自信号发生器5的交流电信号变换为机械振动，激励检查对象7来使该检查对象7产生振动(声波振动)。激光照明2向检查对象7照射激光。激光照明2包括未图示的激光光源和照明光透镜。照明光透镜用于将从激光光源照射出的激光扩散地照射到检查对象7的表面的整个测定区域。另外，激光照明2基于来自信号发生器5的电信号，在规定的定时照射激光。也就是说，激光照明2与通过振子1产生的振动相对应地向检查对象7照射激光。散斑剪切干涉仪3构成为使来自被振子1进行了激励的检查对象7的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉。另外，散斑剪切干涉仪3包括分束器31、移相器32、第一反射镜331、第二反射镜332、聚光透镜34以及图像传感器35。此外，图像传感器35是本专利技术的“摄像部”的一例。分束器31包括半透半反镜。另外，分束器31配置于被检查对象7的表面反射的激光入射的位置。另外，分束器31使入射的激光向移相器32侧反射，并且使入射的激光向第二反射镜332侧透过。另外，分束器31使从第二反射镜332反射后入射的激光向聚光透镜34侧反射，并且使从第一反射镜331反射后入射的激光向聚光透镜34侧透过。第一反射镜331以相对于分束器31的反射面呈45度的角度的方式配置在被分束器31反射的激光的光路上。第一反射镜331使从分束器31反射后入射的激光向分束器31侧反射。第二反射镜332以相对于分束器31的反射面呈从45本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缺陷检查装置，具备：/n激励部，其激励检查对象来使该检查对象产生声波振动；/n激光照明，其向所述检查对象照射激光；/n干涉部，其使来自被所述激励部进行了激励的所述检查对象的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉；/n摄像部，其拍摄发生了干涉的反射光；以及/n控制部，其基于由所述摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因所述检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分，/n其中，所述控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由所述摄像部拍摄到的所述检查对象的静止图像。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种缺陷检查装置，具备：
激励部，其激励检查对象来使该检查对象产生声波振动；
激光照明，其向所述检查对象照射激光；
干涉部，其使来自被所述激励部进行了激励的所述检查对象的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉；
摄像部，其拍摄发生了干涉的反射光；以及
控制部，其基于由所述摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因所述检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分，
其中，所述控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由所述摄像部拍摄到的所述检查对象的静止图像。


2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，
所述控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分中的周期性地变化的物理量以运动图像的形式叠加地显示于静止图像。


3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其特征在于，
所述控制部构成为进行以下控制：根据提取出的振动的不连续部分的物理量的变化使重叠地显示于静止图像的颜色发生变化来进行强调显示。


4.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，
所述控制部构成为：进行控制，以使得存在在根据提取...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田康纪，畠堀贵秀，田窪健二，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP