一种半导体有害气体监控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体有害气体监控装置，包括底板，所述底板的两侧底部固定连接有万向轮，所述底板的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶部间隙固定连接有抽屉，本实用新型专利技术涉及电力设备技术领域。该一种半导体有害气体监控装置，达到了整体便于移动，在托盘的上方设置主体，且抽屉的上方设置显示器，利用主体对空气进行检查，并通过显示器进行显示，为现有已知技术，设置限位装置，便于对限位杆进行卡接，进而改变托盘的位置，方便工作人员调节主体的高度，便于对不同高度的气体进行检查，提高使用范围，设置支撑板，便于对主体进行夹持，提高主体稳定性，进而提高主体使用寿命，满足使用需求的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体有害气体监控装置
本技术涉及电力设备领域，更具体地说，涉及一种半导体有害气体监控装置。
技术介绍
半导体制造工艺中应用于沉积及蚀刻工序等处后排放的废气大部分包含有害物质，因此通过适当的处理予以净化后排放。由于半导体加工过程中，产生的有害气体容易泄漏，影响工作人员的身体健康，需要对加工车间进行实时移动监测，利用GMS在线监控系统，在设备PM保养时防止特气管道气体残留对人身伤害和产品质量事故环境中微量气体分析上提供可靠安全数据分析和安全预警。目前，现有的半导体有害气体监控装置，结构相对固定，不便于工作人员进行移动使用，使用范围有限，同时不便于调节检测仪的高度，不方便工作人员进行操作，无法满足使用需求。
技术实现思路
1．要解决的技术问题针对现有技术中存在的现有的半导体有害气体监控装置，结构相对固定，不便于工作人员进行移动使用，使用范围有限，同时不便于调节检测仪的高度，不方便工作人员进行操作，无法满足使用需求的问题，本技术的目的在于提供一种半导体有害气体监控装置，它可以实现底板、万向轮、立柱、抽屉、限位杆、套筒、托盘、主体、限位装置与显示器组成一个整体，整体便于移动，在托盘的上方设置主体，且抽屉的上方设置显示器，利用主体对空气进行检查，并通过显示器进行显示，为现有已知技术，设置限位装置，便于对限位杆进行卡接，进而改变托盘的位置，方便工作人员调节主体的高度，便于对不同高度的气体进行检查，提高使用范围，设置支撑板，便于对主体进行夹持，提高主体稳定性，进而提高主体使用寿命，满足使用需求。2.技术方案为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。一种半导体有害气体监控装置，包括底板，所述底板的两侧底部固定连接有万向轮，所述底板的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶部间隙固定连接有抽屉，所述底板与抽屉的间隙固定连接有限位杆，所述限位杆套接有套筒，所述套筒的间隙固定连接有托盘，所述托盘的上方设置有主体，所述托盘的底部设置有限位装置，所述限位装置与限位杆卡接，所述抽屉的顶部设置有显示器，所述主体与显示器电性连接。优选的，所述托盘的内壁固定连接有复位弹簧，所述托盘通过复位弹簧固定连接有支撑板，所述支撑板与主体侧壁相对应。优选的，所述立柱的表面固定连接有缓冲垫。优选的，所述限位装置包括固定块，所述固定块与托盘底部固定连接，所述固定块滑动连接有挤压杆，所述挤压杆的数量为两个，所述挤压杆的端部固定连接有挡板，所述挡板的表面固定连接有拉环，所述挤压杆远离挡板的一端固定连接有挤压块，所述挤压块的侧壁固定连接有支撑弹簧，所述支撑弹簧与挤压杆套接，所述挤压块通过支撑弹簧与固定块相连接，所述挤压块的表面固定连接有卡杆，所述限位杆的表面设置有卡槽，所述卡杆与卡槽卡接。3.有益效果相比于现有技术，本技术的优点在于：通过底板、万向轮、立柱、抽屉、限位杆、套筒、托盘、主体、限位装置与显示器组成一个整体，整体便于移动，在托盘的上方设置主体，且抽屉的上方设置显示器，利用主体对空气进行检查，并通过显示器进行显示，为现有已知技术，设置限位装置，便于对限位杆进行卡接，进而改变托盘的位置，方便工作人员调节主体的高度，便于对不同高度的气体进行检查，提高使用范围，在托盘的内壁设置复位弹簧对支撑板，便于对主体进行夹持固定，提高主体稳定性，进而提高主体使用寿命，减少碰撞，设置缓冲垫，使得整体移动的过程中，具有一定的缓冲性能，避免直接与立柱发生碰撞，进而提高对主体的保护，设置限位装置，当需要调节托盘的高度时，拉动拉环，带动挡板运动，带动挤压杆运动，带动挤压块运动，增加支撑弹簧的弹性势能，带动卡杆运动，解除卡杆与卡槽的限制，即可调节套筒与限位杆进行滑动，改变托盘的位置，进而改变主体的位置，方便对不同高度的气体进行检查，提高使用范围，达到了底板、万向轮、立柱、抽屉、限位杆、套筒、托盘、主体、限位装置与显示器组成一个整体，整体便于移动，在托盘的上方设置主体，且抽屉的上方设置显示器，利用主体对空气进行检查，并通过显示器进行显示，为现有已知技术，设置限位装置，便于对限位杆进行卡接，进而改变托盘的位置，方便工作人员调节主体的高度，便于对不同高度的气体进行检查，提高使用范围，设置支撑板，便于对主体进行夹持，提高主体稳定性，进而提高主体使用寿命，满足使用需求的目的。附图说明图1为本技术的整体外部结构示意图；图2为本技术图1的A处局部放大结构示意图；图3为本技术图2的B处局部放大结构示意图。图中标号说明：1、底板；2、万向轮；3、立柱；4、抽屉；5、限位杆；6、套筒；7、托盘；8、主体；9、限位装置；91、固定块；92、挤压杆；93、挡板；94、拉环；95、挤压块；96、支撑弹簧；97、卡杆；98、卡槽；10、显示器；11、缓冲垫；12、复位弹簧；13、支撑板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图；对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例；而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本技术保护的范围。实施例1：请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种半导体有害气体监控装置，包括底板1，底板1的两侧底部固定连接有万向轮2，底板1的顶部固定连接有立柱3，立柱3的顶部间隙固定连接有抽屉4，底板1与抽屉4的间隙固定连接有限位杆5，限位杆5套接有套筒6，套筒6的间隙固定连接有托盘7，托盘7的上方设置有主体8，托盘7的底部设置有限位装置9，限位装置9与限位杆5卡接，抽屉4的顶部设置有显示器10，主体8与显示器10电性连接。底板1、万向轮2、立柱3、抽屉4、限位杆5、套筒6、托盘7、主体8、限位装置9与显示器10组成一个整体，整体便于移动，在托盘7的上方设置主体8，且抽屉4的上方设置显示器10，利用主体8对空气进行检查，并通过显示器10进行显示，为现有已知技术，方便工作人员进行施压，设置限位装置9，便于对限位杆5进行卡接，进而改变托盘7的位置，方便工作人员调节主体8的高度，便于对不同高度的气体进行检查，提高使用范围。实施例2：请参阅图2，一种电力工程用自动收线装置，与实施例1基本相同，更进一步的是，托盘7的内壁固定连接有复位弹簧12，托盘7通过复位弹簧12固定连接有支撑板13，支撑板13与主体8侧壁相对应。在托盘7的内壁设置复位弹簧12与支撑板13，便于对主体8进行夹持固定，提高主体8稳定性，进而提高主体8使用寿命，减少碰撞。实施例3：请参阅图1，一种电力工程用自动收线装置，与实施例1基本相同，更进一步的是，立柱3的表面固定连接有缓冲垫11。设置缓冲垫11，使得整体移动的过程中，具有一定的缓冲性能，避免直接与立柱3发生碰撞，进而提高对主体8的保护。实施例4：请参阅图3，一种电力工程用自动收线装置，与实施例1基本相同，更进一步的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体有害气体监控装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的两侧底部固定连接有万向轮（2），所述底板（1）的顶部固定连接有立柱（3），所述立柱（3）的顶部间隙固定连接有抽屉（4），所述底板（1）与抽屉（4）的间隙固定连接有限位杆（5），所述限位杆（5）套接有套筒（6），所述套筒（6）的间隙固定连接有托盘（7），所述托盘（7）的上方设置有主体（8），所述托盘（7）的底部设置有限位装置（9），所述限位装置（9）与限位杆（5）卡接，所述抽屉（4）的顶部设置有显示器（10），所述主体（8）与显示器（10）电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体有害气体监控装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的两侧底部固定连接有万向轮（2），所述底板（1）的顶部固定连接有立柱（3），所述立柱（3）的顶部间隙固定连接有抽屉（4），所述底板（1）与抽屉（4）的间隙固定连接有限位杆（5），所述限位杆（5）套接有套筒（6），所述套筒（6）的间隙固定连接有托盘（7），所述托盘（7）的上方设置有主体（8），所述托盘（7）的底部设置有限位装置（9），所述限位装置（9）与限位杆（5）卡接，所述抽屉（4）的顶部设置有显示器（10），所述主体（8）与显示器（10）电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种半导体有害气体监控装置，其特征在于：所述托盘（7）的内壁固定连接有复位弹簧（12），所述托盘（7）通过复位弹簧（12）固定连接有支撑板（13），所述支撑板（13）与主体（8）侧壁相对应。


3....

【专利技术属性】
技术研发人员：邓志涛，汤晴峰，
申请(专利权)人：上海涵唐自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31