【技术实现步骤摘要】
用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置
本技术涉及的是激光器校准
,具体涉及用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置。
技术介绍
目前,现在行业内校准光刻机激光器,一般都是需要将激光器安装到光刻机上进行在线的校准调试,由于光刻机内部的光路众多,无法很直观地观察光线的变化,校准起来繁琐且耗时较长,会占用生产设备的很多时间。为了解决上述问题,设计一种新型的用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置尤为必要。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足,本技术目的是在于提供用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置,将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线,校准操作简便且耗时短,可直观地观察光线的变化,且不占用生产设备的时间,易于推广使用。为了实现上述目的,本技术是通过如下的技术方案来实现:用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置,包括前定位块、侧边定位块、承载平面台、连接面、近点小孔标记和远点小孔标记,前定位块的侧边设置有两个侧边定位块,前定位块与两个侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台,前定位块、侧边定位块的底部设有连接面,前定位块与前部的侧边定位块的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记;所述的前定位块与前部的侧边定位块之间的距离a为20mm,两个侧边定位块之间的距离b为100mm,前部的侧边定位块与近点小孔标记之间的距离c为300mm,近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离d不小于4000mm。作为优选,所述的前定位块、侧边 ...
【技术保护点】
1.用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置,其特征在于,包括前定位块(1)、侧边定位块(2)、承载平面台(3)、连接面(4)、近点小孔标记(5)和远点小孔标记(6),前定位块(1)的侧边设置有两个侧边定位块(2),前定位块(1)与两个侧边定位块(2)的表面均设置有独立的承载平面台(3),前定位块(1)、侧边定位块(2)的底部设有连接面(4),前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记(5)、远点小孔标记(6);所述的前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)之间的距离a为20mm,两个侧边定位块(2)之间的距离b为100mm,前部的侧边定位块(2)与近点小孔标记(5)之间的距离c为300mm,近点小孔标记(5)与远点小孔标记(6)之间的距离d不小于4000mm。/n
【技术特征摘要】
1.用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置,其特征在于,包括前定位块(1)、侧边定位块(2)、承载平面台(3)、连接面(4)、近点小孔标记(5)和远点小孔标记(6),前定位块(1)的侧边设置有两个侧边定位块(2),前定位块(1)与两个侧边定位块(2)的表面均设置有独立的承载平面台(3),前定位块(1)、侧边定位块(2)的底部设有连接面(4),前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记(5)、远点小孔标记(6);所述的前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)之间的距离a为20mm...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘大伟,
申请(专利权)人:上海矽锐电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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