基板检查方法及基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板检查方法以及基板检查装置，以高精度进行对被检查部位的检查区域的设定，提高检查的精度。针对检查对象的基板，预先作成全体图像（１０３），预先使检查区域（３１）与该全体图像（１０３）上的被检查部位建立对应。检查时，将照相机（３Ａ）定位于与拍摄对象区域（３０）对应的位置上而进行拍摄，获取处理对象图像（４０）时，在全体图像（１０３）上提取与该处理对象图像（４０）对应的区域（４１），计算出相对于该区域（４１）的拍摄对象区域（３０）的偏差量（Δｘ、Δｙ）。另外，使用偏差量（Δｘ、Δｙ）修正检查区域（３１）的设定位置，根据该修正后的坐标，在处理对象图像（４０）上设定检查区域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使用拍摄部件安装基板(下面有时单称为“基板”)而得到的图像来执行部件的有无、位置偏差、焊接的适当与否等的检查的方法以及实施该方法的基板检查装置。
技术介绍
申请人开发了一种用部件安装基板的图像来自动检查部件的安装状态和焊接状态的基板检查装置(参照专利文献1)。该基板检查装置具有支承检查对象的基板的基板台；用于拍摄基板的照相机；用于使基板台及照相机沿水平面移动的工作台部(X轴工作台部、Y轴工作台部)等。检查时，通过控制各工作台部的动作使上述照相机的视野与基板的规定区域对应，通过处理在该状态下生成的图像，对上述区域内的被检查部位进行检查所需要的测定，将得到的测量值与规定的判定基准值比较。专利文件1为JP特开2003-222598号公报。这种检查装置中，在检验之前，进行作成各种检验数据而登录到存储器中的处理(示教)。在该检查数据中包含有在各检查部位设定的检查区域的设定数据。检查时，在检查对象的基板的图像(以下称为“处理对象图像”)上，基于上述设定数据设定检查区域，通过对每个检查区域的图像分别进行处理，进行对各被检查部位的检查。进行上述检查时，必须调整基板或照相机的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查方法，是使用由拍摄装置拍摄部件安装基板而得到的图像，执行相对于上述基板上的多个被检查部位的检查的方法，其特征在于，包括准备的步骤和检查的步骤，在上述准备的步骤中包括有如下的各步骤：获取上述拍摄装置的视野与基板上的规定区域 对应时应得到的基准图像的步骤Ａ；获取使拍摄装置与对应于上述基准图像的基板上的区域对位所需要的拍摄装置与基板的位置关系的步骤Ｂ；在上述基准图像上的被检查部位设定检查区域的步骤Ｃ；使在上述步骤Ａ中获取的基准图像、在上述步骤Ｂ中获取的拍摄装置与基板的位置关系、以及在步骤Ｃ中设定的检查区域的相对于基准图像的位置关系分别建立对应并进行登录的步骤Ｄ，在上述检查的...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：村上清，浅野靖典，木下崇，四谷辉久，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]