表面压力分布传感器制造技术

本发明专利技术的目的在于提供特别是能够减小内部压力的变化、并使测定的灵敏度比以往提高的表面压力分布传感器。在测定部（Ｅ）的侧方设有流体积存部（３０），将前述流体积存部（３０）的内部空间（Ｇ）和前述测定部（Ｅ）的内部空间（Ｈ）相连。因而当按压测定面（Ｉ）上、前述测定部（Ｅ）的内部空间（Ｈ）被压缩时，由于流体也可以向前述流体积存部（３０）的方向溢出，因此前述测定部（Ｅ）的内部空间（Ｈ）的压力上升与以往相比变小，与以往相比，相对于前述测定部（Ｅ）的上部基板（２３）的推起力变弱。其结果，可以使测定灵敏度比以往提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测定例如指纹等被测定物的细微凹凸的表面压力分布传感器，特别是涉及能够使测定的灵敏度比以往提高的表面压力分布传感器。
技术介绍
在指纹传感器中，有多种方式，有压敏式、光学式、半导体式(根据在指纹和电极之间积存的电荷量的变化测定指纹的图像)等。其中，用光学式和半导体式有可能因手指的干湿状况等而不能恰当地检测指纹图像，相对于此，用压敏式则因很难受到手指的干湿的影响，即便在严格的条件下也能恰当地检测指纹图像，故很受期待。图7，是以往的压敏式指纹传感器的部分剖面图。在专利文献1(日本特开平11-155837号公报)中也公开了压敏式指纹传感器。图7中所示的符号1是下部基板，在前述下部基板l上，沿着图示Y方向(长度方向)延伸的多个下部导体2被沿着图示X方向(宽度方向)并列地设置。在前述下部导体2上设有绝缘层9。在前述下部基板l上离开预定距离设有可挠性的上部基板3。在前述上部基板3的下表面，相对于各下部导体2沿着正交方向(图示X方向)延伸的多个上部导体4被沿着图示Y方向并列地设置。如图7所示，在前述下部基板1和上部基板3之间，设有衬垫层(スペ一サ )5。在前述上部基板3上设有用于划本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面压力分布传感器，其特征在于，其具有：下部基板、在前述下部基板的上表面被并列地排列的多个下部导体、在前述下部基板上具有预定的间隔而设置的可挠性的上部基板、和在前述上部基板的下表面向与前述下部导体正交的方向被并列地排列的多个上部 导体；测定部被设在前述上部导体和下部导体在膜厚方向上相对并且内部成为空间的区域，通过前述测定部，根据因前述上部基板上的测定面被按压而变化的静电电容来检测表面压力的分布，在前述测定部的侧方设有内部成为空间的流体积存部，前述流体 积存部的内部空间和前述测定部的内部空间相连。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：奥田伸幸，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]