交叉双输入阵列波导光栅解复用器制造技术

本公开提供一种交叉双输入阵列波导光栅解复用器，包括：对称双输入波导，用于分别接收TE和TM两个偏振态下的不同波长的本振信号光和调制信号光；交叉输入区平板波导，用于不同波长的本振信号光和调制信号光的TE和TM两个偏振态的衍射；交叉阵列波导，用于分别收集不同波长的本振信号光和调制信号光的TE和TM两个偏振态的衍射光，实现不同波长、不同相位下的本振信号光和调制信号光的传输；交叉输出区平板波导，分别用于不同波长、不同相位下传输后的本振信号光和调制信号光的TE和TM两个偏振态的干涉；以及对称输出波导，每一组输出波导单元包括多个通道，每一组输出波导单元中的多个通道能够依次实现同一偏振态下同一波长的不同信号光的相邻输出。的不同信号光的相邻输出。的不同信号光的相邻输出。

【技术实现步骤摘要】
交叉双输入阵列波导光栅解复用器


[0001]本公开涉及半导体技术/数据传输领域，尤其涉及一种交叉双输入阵列波导光栅解复用器。

技术介绍

[0002]随着云计算、大数据、高清视频、AR/VR、物联网、人工智能等大带宽需求的新技术和新业务的快速发展，推动数据中心内部互连和数据中心之间互连速率的快速升级。100G已经成为数据中心互连主流并实现了规模化的应用，并正在朝着200G/400G发展。如何实现更高速率、更低成本、更低功耗的数据中心互连光模块成为数据中心建设的重中之重。
[0003]提高数据中心互连速率的方式一般有两种：一种是单路传输速率提升，通过提高激光器、调制器和探测器等器件的传输速率，提升整个系统的传输速率，但受限于工艺等技术因素，单路速率增长一定程度就很难继续增长；另外一种是通过通道数、波分、幅度、偏振或相干的调制方式，通过提高通道数、波长数、幅度电平数、偏振分量和相位分量实现传输速率的成倍增长，达到数据中心互连速率的快速提升。在传输距离100m、500m、2km和10km的数据中心互连传输中，主要采用通道数、波长和高阶幅度调制方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种交叉双输入阵列波导光栅解复用器，包括：对称双输入波导，包括对称设置的两个输入波导，用于分别接收TE和TM两个偏振态下的不同波长的本振信号光和调制信号光；交叉输入区平板波导，包括两个分别与所述对称设置的两个输入波导相连的交叉设置的输入平板波导，用于不同波长的本振信号光和调制信号光的TE和TM两个偏振态的衍射；交叉阵列波导，包括两组分别与所述两个交叉设置的输入平板波导相连的阵列波导单元，用于分别收集不同波长的本振信号光和调制信号光的TE和TM两个偏振态的衍射光，实现不同波长、不同相位下的本振信号光和调制信号光的传输；交叉输出区平板波导，包括两个分别与两组所述阵列波导相连的交叉设置的输出平板波导，分别用于不同波长、不同相位下传输后的本振信号光和调制信号光的TE和TM两个偏振态的干涉；以及对称输出波导，包括分别连接至两个所述输出平板波导的对称设置的两组输出波导单元，每一组输出波导单元包括多个通道，每一组输出波导单元中的所述多个通道能够依次实现同一偏振态下同一波长的调制信号光和本振信号光的相邻输出。2.根据权利要求1所述的交叉双输入阵列波导光栅解复用器，所述对称双输入波导包括：第一偏振态波导输入单元，用于接收TE偏振态下的不同波长的本振信号光和调制信号光；以及第二偏振态波导输入单元，用于接收TM偏振态下的不同波长的本振信号光和调制信号光。3.根据权利要求2所述的交叉双输入阵列波导光栅解复用器，所述第一偏振态波导输入单元，包括：第一本振信号输入波导，用于接收TE偏振态下的不同波长的本振信号光；第一调制信号输入波导，用于接收TE偏振态下的不同波长的调制信号光；所述第二偏振态波导输入单元，包括：第二本振信号输入波导，用于接收TM偏振态下的不同波长的本振信号光；以及第二调制信号输入波导，用于接收TM偏振态下的不同波长的调制信号光。4.根据权利要求3所述的交叉双...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亮亮，张家顺，王玥，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：