本发明专利技术涉及检测及校准技术领域，尤其涉及一种平行度检测方法及平行度检测装置。所述平行度检测方法包括如下步骤：提供一标准平面；于待测平面上选取一目标位置，并进行多次循环步骤，获取多个所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离；判断多个所述测试距离是否均相等，若否，则确认所述待测平面与所述标准平面不平行；所述循环步骤包括：旋转所述待测平面一预设角度，获取旋转后的所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离。本发明专利技术提高了两个平面之间平行度检测的准确性，避免了人为主观因素对检测结果的影响，而且操作简单，检测效率高。高。高。
Parallelism detection method and device
【技术实现步骤摘要】
平行度检测方法及平行度检测装置
[0001]本专利技术涉及检测及校准
，尤其涉及一种平行度检测方法及平行度检测装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造以及应用技术中，经常需要对两个平面之间的平行度进行检测，以确保后续制程工艺的顺利实施或者确保半导体器件的正常使用。例如，在机械部件安装过程中，需要确保两个部件的接触面平行，以确保安装后机械结构的稳定性；再例如，在晶圆键合工艺中，需要确保待键合的两片晶圆相对的表面平行，以确保键合工艺的顺利实施以及键合后两片晶圆之间的键合强度。然而，当前只能通过工程师主观目测的方式来确认两个平面之间是否平行，这不可避免的会带来人为主观因素的影响。人为目测的方式不仅费时费力、效率低下，而且准确度较低。
[0003]因此，如何提高两个平面之间平行度检测的准确度，避免人为主观因素对平行度检测结果的影响，是当前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种平行度检测方法及平行度检测装置，用于解决现有技术在检测两个平面的平行度时准确度较低的问题，避免人为主观因素对平行度检测结果的影响。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种平行度检测方法，包括如下步骤：
[0006]提供一标准平面；
[0007]于待测平面上选取一目标位置，并进行多次循环步骤，获取多个所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离；
[0008]判断多个所述测试距离是否均相等，若否，则确认所述待测平面与所述标准平面不平行；
[0009]所述循环步骤包括：
[0010]旋转所述待测平面一预设角度，获取旋转后的所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离。
[0011]可选的，在沿所述标准平面指向所述待测平面的方向上，所述待测平面的投影完全位于所述标准平面内。
[0012]可选的，进行多次循环步骤之前，还包括如下步骤：
[0013]于所述目标位置固定一传感器，所述传感器用于检测所述目标位置与所述标准平面之间的距离。
[0014]可选的，所述传感器为激光传感器。
[0015]可选的，所述传感器沿垂直于所述待测平面的方向向所述标准平面发射检测光线；或者，
[0016]所述传感器沿相对于所述待测平面倾斜一阈值角度的方向向所述标准平面发射
检测光线，所述阈值角度大于90度。
[0017]可选的，所述循环步骤包括：
[0018]旋转所述待测平面一预设角度，获取旋转后的所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离；
[0019]统计所述待测平面已旋转的总的角度值；
[0020]判断所述总的角度值是否大于或者等于360度，若是，则结束所述循环步骤。
[0021]为了解决上述问题，本专利技术还提供了一种平行度检测装置，包括：
[0022]标准平面；
[0023]支架，所述支架的第一端用于固定一待测平面；
[0024]驱动模块，连接所述支架的第二端，用于驱动所述支架旋转；
[0025]处理模块，用于控制所述驱动模块多次旋转所述支架，并获取每次旋转后的所述待测平面上一目标位置与所述标准平面之间的测试距离；
[0026]判断模块，用于判断多个所述测试距离是否均相等，若否，则确认所述待测平面与所述标准平面不平行。
[0027]可选的，在沿所述标准平面指向所述待测平面的方向上，所述待测平面的投影完全位于所述标准平面内。
[0028]可选的，所述处理模块包括：
[0029]传感器，用于固定于所述待测平面上的所述目标位置。
[0030]可选的，所述传感器为激光传感器。
[0031]可选的，所述传感器沿垂直于所述待测平面的方向向所述标准平面发射检测光线；或者，
[0032]所述传感器沿相对于所述待测平面倾斜一阈值角度的方向向所述标准平面发射检测光线，所述阈值角度大于90度。
[0033]可选的，所述处理模块还用于在每次控制所述驱动模块旋转所述支架之后，统计所述待测平面已旋转的总的角度值，并判断所述总的角度值是否大于或者等于360度，若是，则结束所述循环步骤。
[0034]本专利技术提供的平行度检测方法及平行度检测装置，通过多次旋转待测平面，在每次旋转后获取所述待测平面上同一目标位置与所述标准平面之间的测试距离，并通过判断多次获取的测试距离是否相等来检测所述待测平面与所述标准平面是否平行，提高了两个平面之间平行度检测的准确性，避免了人为主观因素对检测结果的影响，而且操作简单，检测效率高。
附图说明
[0035]附图1是本专利技术具体实施方式中平行度检测方法的流程图；
[0036]附图2A
‑
2F是本专利技术具体实施方式在检测平行度的过程中的示意图；
[0037]附图3是本专利技术具体实施方式中平行度检测装置的结构框图。
具体实施方式
[0038]下面结合附图对本专利技术提供的平行度检测方法及平行度检测装置的具体实施方
式做详细说明。
[0039]本具体实施方式提供了一种平行度检测方法，附图1是本专利技术具体实施方式中平行度检测方法的流程图，附图2A
‑
2F是本专利技术具体实施方式在检测平行度的过程中的示意图。如图1、图2A
‑
图2F所示，本具体实施方式提供的平行度检测方法，包括如下步骤：
[0040]步骤S11，提供一标准平面20。
[0041]具体来说，所述标准平面20应具有平坦的表面，以便于后续测定所述标准平面20与待测平面21之间的距离。为了简化操作步骤，本具体实施方式中以一墙面作为所述标准平面20。在进行平行度检测的过程中，所述标准平面20的位置是固定不变的。
[0042]步骤S12，于待测平面21上选取一目标位置211，并进行多次循环步骤，获取多个所述目标位置211与所述标准平面20之间的测试距离；所述循环步骤包括：
[0043]旋转所述待测平面21一预设角度，获取旋转后的所述目标位置211与所述标准平面20之间的测试距离。
[0044]可选的，在沿所述标准平面20指向所述待测平面21的方向上，所述待测平面21的投影24完全位于所述标准平面20内。
[0045]图2A是表明所述标准平面20与所述待测平面21之间相对位置关系的侧视图，图2B是表明所述标准平面20与所述待测平面21之间相对尺寸大小的俯视图。图2C
‑
图2F是在对所述待测平面21与所述标准平面20之间的平行度检测时的示意图。具体来说，如图2C所示，所述待测平面21位于所述标准平面20外部，且所述待测平面21与所述标准平面20之间间隔一定距离，即所述待测平面21与所述标准平面20不接触。所述标准平面20的尺寸应大于所述待测平面21的尺寸，使得所述待测平面21沿所述标准平面20指向所述待测平面21方向上的投影24完全位于所述标准平面20内。所述标准平面20与所述待测平面21之间的相对尺寸关系，本领域技术人本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平行度检测方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一标准平面；于待测平面上选取一目标位置，并进行多次循环步骤，获取多个所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离；判断多个所述测试距离是否均相等，若否，则确认所述待测平面与所述标准平面不平行；所述循环步骤包括：旋转所述待测平面一预设角度，获取旋转后的所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离。2.根据权利要求1所述的平行度检测方法，其特征在于，在沿所述标准平面指向所述待测平面的方向上，所述待测平面的投影完全位于所述标准平面内。3.根据权利要求1所述的平行度检测方法，其特征在于，进行多次循环步骤之前，还包括如下步骤：于所述目标位置固定一传感器，所述传感器用于检测所述目标位置与所述标准平面之间的距离。4.根据权利要求3所述的平行度检测方法，其特征在于，所述传感器为激光传感器。5.根据权利要求4所述的平行度检测方法，其特征在于，所述传感器沿垂直于所述待测平面的方向向所述标准平面发射检测光线；或者，所述传感器沿相对于所述待测平面倾斜一阈值角度的方向向所述标准平面发射检测光线，所述阈值角度大于90度。6.根据权利要求1所述的平行度检测方法，其特征在于，所述循环步骤包括：旋转所述待测平面一预设角度，获取旋转后的所述目标位置与所述标准平面之间的测试距离；统计所述待测平面已旋转的总的角度值；判断所述总的角度值是否大于或者等于360度，若是...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴英毅，刘善豪，吴霜锦，
申请(专利权)人：莆田杰木科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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