一种带上料器真空气相沉积炉制造技术

本发明专利技术提出了一种带上料器真空气相沉积炉，所述真空气相沉积炉包括加热炉体、炉体内设有螺旋式上料器，炉身还设有上电极和下电极。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。具有效率高，反应快速的优点。反应快速的优点。反应快速的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种带上料器真空气相沉积炉


[0001]本专利技术涉及粉体热处理
，更具体地，涉及一种粉体专用多搅拌轴真空气相沉积炉。

技术介绍

[0002]现有技术对制品材料实施表面气相沉积较为成熟，但粉体材料表面气相沉积技术有待提高，随着科学技术的不断进步，一些高端粉体材料需要在基体颗粒表面均匀、牢固的沉积或包覆一层纳米材料。
[0003]现有粉体气相沉积技术一般采用转炉或沸腾炉。但转炉由于气体与粉体不能充分接触，导致效率较低；沸腾炉由于真空度低难以满足产品品质需求。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是针对现有技术不足和缺陷，提供一种能够提供多种气相沉积环境，表面沉积均匀、沉积材料与基体材料粘结牢固的带有定向上料器的真空气相沉积炉。
[0005]本专利技术为解决所述技术问题所提供的技术方案为：一种带上料器真空气相沉积炉，包括炉身（1）和炉盖(2)；所述炉身（1）为一容器，炉身内为炉膛，炉身内设有上料器（8）；炉身（1）外侧设有加热元件和保温层；所述炉盖（2）设置在炉身（1）上方，炉盖内侧设有保温层；炉盖（2）上至少设有一个真空管道（3），真空管道（3）底部设有进气口，进气口伸入炉身内，真空管道（3）连接抽真空装置（305）；所述炉身内设有上电极（5）和下电极（20），所述上电极（5）包括底部的上电极板（501），上电极板（501）上设有至少一个布气孔，所述布气孔连接进气管（502）和进气接头（503），工作气体通过进气接头（503）、进气管（502）、上电极板（501）上的布气孔进入炉膛；所述下电极（20）布置在上电极（501）与上料器（8）之间；所述下电极包括下电极板（2001）和连杆（2002），所述连杆连接炉身外的震动装置（21），所述下电极板（2001）上设有布料通孔；所述上电极（5）和下电极（20）分别与射频电源（14）的两个输出电极相连或/和直流电源（15）的两个输出电极相连。
[0006]进一步地，所述上料器（8）为螺旋循环上料器。
[0007]进一步地，所述螺旋循环上料器（8）包括套管（801）、螺带转轴（802）、上固定支架（803）、下固定支架（805）、导流套（804）；固定架将套管（801）固定在炉身中心垂直轴线位置，导流套（804）设置在套管（801）顶部并靠近下电极板（2001）的底面位置；螺带转轴（802）设在套管（801）内，底部通过密封件与炉身（1）外部的旋转驱动装置（806）连接。
[0008]进一步地，所述下电极还包括套管（2004）、端板（2005），所述连杆（2002）通过端板（2005）与震动装置（21）连接，下电极板（2001）在震动装置（21）的驱动下震动。
[0009]进一步地，下电极板（2001）上端面为圆锥面或球面或平面或圆弧面或它们之间的任意组合。
[0010]进一步地，所述炉身外部设有支撑架（10）；炉体上还布置有称重传感器（9），所述称重传感器（9）布置于加热炉体炉身（1）与其炉体支撑架（10）之间，或布置于地面上对加热炉体和炉体支撑架（10）予以支撑。
[0011]进一步地，炉盖（2）上至少设有一个法兰窗口（201），每个法兰窗口（201）上设有带通孔的绝缘盖板（11），上电极（5）穿过绝缘盖板（11）的通孔，并固定在绝缘盖板（11）上。
[0012]进一步地，上电极(5）的数量大于或等于法兰窗口的数量，即可多个上电极（5）共用一个法兰窗口（201）。
[0013]进一步地，所述进气接头（503）上连接干路气体流量计（504），所述干路气体流量计（504）进气端设有至少两个支路气体流量计。
[0014]进一步地，所述真空管道（3）内设有至少一个粉尘过滤器（301）。
[0015]本专利技术通过所述螺旋循环上料器（8）不断向上方的导流套（804）输送粉体物料，粉体物料不断从下往上从处于往复震动状态的下电极板（2001）的布料孔输送到下电极板（2001）上方、上电极板（501）下方的气相沉积区域，在下电极板（2001）上跳跃、沸腾并顺着下电极板（2001）外周边流动并落到套管（801）外侧，再从套管（801）外侧下方位置从新进入螺旋循环上料器（8），周而复始，实现粉体物料的循环流动。所述真空通道（3）及其真空装置（305）控制炉内气压；所述各支路气体流量计（505）、（506）通过上电极（5）上方的进气接头（503）、进气管（502）、上电极板（501）上的布气孔向炉内通入工作气体或保护气体以控制炉内气氛状态；所述电阻加热元件为炉体供热；所述射频装置、直流装置借助真空、温度作用将含有效成分气体电离或热分解，所述各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。
[0016]本专利技术的有益效果在于：（1）本专利技术所提供的粉体专用的带上料器真空气相沉积炉，设置有物料上料器和带振动下电极板，可不断传输粉体物料并在下电极板上将粉体物料扬起和翻动，或不断将粉体物料运送到上电极和下电极组成的工作区域，上下电极连接射频电源装置或直流电源，工作气体进入炉内后，在射频或\和直流电场，以及温度和真空的作用快速电离和热解，气体中的有效成分以离子形式与带负电位的快速运动的粉体充分和均匀接触，并牢固粘结。在沉积过程中，有助于反应快速、彻底完成。
[0017]（2）本专利技术所提供的粉体专用的真空气相沉积炉，可以将物料从下部运送到顶部，在下电极板上震动落入炉身下部后，再通过上料器运送到顶部，如此循环实现物料不断反应，使粉体始终定向循环运动，上料器运送效率高，使粉体沉积或包覆均匀。
[0018]（3）本专利技术所提供的粉体专用的多搅拌轴真空气相沉积炉的加热炉体与冷却炉体均设置有相应水冷、风冷结构，可快速便捷地冷却加热完成的粉体。
[0019]（4）本专利技术所提供的粉体专用的多搅拌轴真空气相沉积炉的加热炉体设置有测温部件、粉体物料平面检测装置、称重传感器，可根据数据的反馈得知炉内的工作状况，从而便于进行接下来的操作。
附图说明
[0020]图1为本专利技术所提供的粉体专用的真空气相沉积炉；图2为本专利技术所提供的粉体专用的真空气相沉积炉。
具体实施方式
[0021]下面结合附图以及实施例对本专利技术作进一步说明。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本专利技术的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0022]实施例1如图1所示，一种带上料器真空气相沉积炉，包括炉身1与炉盖11。炉盖11上设有真空通道3、上电极5、进料管6、测温部件7。
[0023]所述炉身1是一容器，本实施例是上部为圆柱下部为圆锥的圆桶式结构。炉身1壳体外侧设有加热元件1010，本实施例为加热电阻丝，加热元件外设有保温层；炉身1上设有用于检测粉体物料高度的料平面传感器13和出料管104。所述加热炉体内设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，包括炉身（1）和炉盖(2)；所述炉身（1）为一容器，炉身内设有上料器（8）；炉身（1）设有加热元件（1010）和保温层；所述炉盖（2）设置在炉身（1）上方，炉盖内侧设有保温层；炉盖（2）上至少设有一个真空管道（3），真空管道（3）底部设有进气口，所述进气口伸入炉身内，真空管道（3）连接抽真空装置（305）；所述炉身内设有上电极（5）和下电极（20），所述上电极（5）包括底部的上电极板（501），上电极板（501）上设有至少一个布气孔，所述布气孔连接进气管（502）和进气接头（503），工作气体通过进气接头（503）、进气管（502）、上电极板（501）上的布气孔进入炉身内；所述下电极（20）布置在上电极板（501）与上料器（8）之间；所述下电极包括下电极板（2001）和连杆（2002），所述连杆连接炉身外的震动装置（21），所述下电极板（2001）上设有布料孔；所述上电极（5）和下电极（20）分别与射频电源（14）的两个输出电极相连或/和直流电源（15）的两个输出电极相连。2.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述上料器（8）为螺旋循环上料器。3.根据权利要求2所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述螺旋循环上料器（8）包括套管（801）、螺带转轴（802）、上固定支架（803）、下固定支架（805）、倒流套（804）；固定支架将套管（801）固定在炉身中心位置，导流套（804）设置在套管（801）顶部并靠近下电极板（2001）的底面位置；螺带转轴（802）设在套管（801）内，底部通过密封件与炉身（1）外部的旋转驱动装置（806）...

【专利技术属性】
技术研发人员：言伟雄，
申请(专利权)人：株洲弗拉德科技有限公司，
类型：发明
国别省市：