一种溅射靶材斜面花纹的加工方法技术

本发明专利技术提供了一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)将靶材溅射面和靶材侧面的直角连接边铣削成斜面；(2)在步骤(1)所得斜面上进行花纹铣削。本发明专利技术防止了反剥落现象的同时避免了产品在加工过程中发生变形，减缓了刀具磨损，合理控制了花纹结构的粗糙度范围。纹结构的粗糙度范围。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材斜面花纹的加工方法


[0001]本专利技术属于溅射靶材
，涉及一种溅射靶材斜面花纹，尤其涉及一种溅射靶材斜面花纹的加工方法。

技术介绍

[0002]在磁控溅射过程中，靶材边缘和侧面极易产生反剥落现象，严重影响镀膜质量。一般的做法是在相应位置设置花纹结构，以此来增加溅射面的粗糙度，提升反溅射物的附着力，从而防止反剥落现象。然而，现有技术采用滚花轮直接在靶材边缘及侧面进行滚花的操作极易导致产品变形，或者采用铣刀直接铣削的方式极易导致刀具磨损严重，这些方法得到的花纹结构粗糙度很难达到合格范围，且外观的美感较差。
[0003]由此可见，如何提供一种溅射靶材花纹结构的加工方法，防止反剥落现象的同时避免产品在加工过程中发生变形，减缓刀具磨损，合理控制花纹结构的粗糙度范围，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，所述加工方法防止了反剥落现象的同时避免了产品在加工过程中发生变形，减缓了刀具磨损，合理控制了花纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：(1)将靶材溅射面和靶材侧面的直角连接边铣削成斜面；(2)在步骤(1)所得斜面上进行花纹铣削。2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)采用铣刀进行；优选地，所述铣刀的规格包括4R0.5；优选地，步骤(2)采用平底尖刀进行；优选地，所述平底尖刀的规格为(3
‑
4)mm
×
(30
‑
60)
°×
(0.15
‑
0.25)mm。3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述铣削过程中靶材的转速为4000
‑
6000rpm。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述铣削的加工量为0.08
‑
0.12mm；优选地，步骤(1)所述铣削的给进速度为1800
‑
2200mm/min。5.根据权利要求4所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述铣削的加工量与给进速度满足负相关。6.根据权利要求1
‑
5任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所得斜面与靶材溅射面之间的夹角为30
‑
60
°
；优选地，步骤(1)所得斜面的整体平面度误差≤0.02
°
。7.根据权利要求1
‑
6任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述花纹铣削过程中靶材的转速为3500
‑
4500rpm。8.根据权利要求1
‑
7任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，韩军辉，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：