一种具有环形水道结构的背板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种具有环形水道结构的背板，所述具有环形水道结构的背板设置有与冷却水接触的区域；所述区域内设置有同心设置的至少2条环形水道；所述区域内设置有至少2条旋臂形水道，所述至少2条旋臂形水道沿所述具有环形水道结构的背板的中心轴等角度分布；所述旋臂形水道与环形水道连通。本实用新型专利技术通过旋臂形水道与环形水道的配合，不仅能够实现对靶材的有效冷却，还能够保证背板在真空镀膜过程中无过多形变产生，保证了真空镀膜的顺利进行。行。行。

【技术实现步骤摘要】
一种具有环形水道结构的背板


[0001]本技术属于磁控溅射
，涉及一种背板结构，尤其涉及一种具有环形水道结构的背板。

技术介绍

[0002]在真空镀膜工艺中，靶材组件由符合溅射性能的靶材和具有一定强度的背板构成。所述背板不仅在靶材组件中起到支撑作用，而且具有传导热量的功效。在真空溅镀过程中，靶材组件工作环境较为苛刻，温度在300
‑
500℃左右，且靶材组件处于高压电场和磁场强度较大的磁场中，靶材正面在10
‑9的真空环境下，收到各种高能量离子轰击，致使靶材发生溅射，而溅射处的中性靶原子或分子沉积在基片上，形成所需薄膜。
[0003]真空镀膜过程中，靶材的温度会急剧升高，因而需要通过靶材组件中的背板迅速传输靶材的热量，并避免由此产生靶材组件变形、靶材组件使用寿命短以及影响基片镀膜质量等问题。通常，本领域技术人员在背板内设置冷却水道，冷却水道中的冷却水可以吸收并迅速消散靶材和背板的热量，因此带有冷却水道的背板可以防止靶材组件变形、提高靶材组件的使用寿命和提高镀膜质量。
[0004]例如CN 10458本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有环形水道结构的背板，其特征在于，所述具有环形水道结构的背板设置有与冷却水接触的区域；所述区域内设置有同心设置的至少2条环形水道；所述区域内设置有至少2条旋臂形水道，所述至少2条旋臂形水道沿所述具有环形水道结构的背板的中心轴等角度分布；所述旋臂形水道与环形水道连通。2.根据权利要求1所述的具有环形水道结构的背板，其特征在于，所述具有环形水道结构的背板为铜背板。3.根据权利要求2所述的具有环形水道结构的背板，其特征在于，所述铜背板的直径为360
‑
450mm。4.根据权利要求3所述的具有环形水道结构的背板，其特征在于，所述区域内设置有3
‑
20条环形水道。5.根据权利要求4所述的具有环形水道结构的背板，其特征在于，相邻两条环形水道的间距相等。6.根据权利要求5所述的具有环形水道结构的背板，其特征在于，相邻两条环形水道的间距为6
‑
20mm；最内...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，冯周瑜，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：