封闭式片盒制造技术

本申请公开了一种封闭式片盒，涉及半导体制造领域。该封闭式片盒包括顶板、底板和连接于顶板与底板之间的多个立柱，所述立柱上设有多个槽位；所述封闭式片盒还包括活动门和侧板，所述活动门和所述侧板分别围设在多个所述立柱的外侧，所述活动门、所述侧板、所述顶板和所述底板共同围成容纳空间，所述活动门的顶部与所述顶板活动连接，所述活动门的底部与所述底板活动连接，所述活动门能够开启或关闭所述容纳空间。本申请能够降低晶圆表面的杂质，有效防止晶圆表面被污染。效防止晶圆表面被污染。效防止晶圆表面被污染。

【技术实现步骤摘要】
封闭式片盒


[0001]本申请属于半导体制造
，具体涉及一种封闭式片盒。

技术介绍

[0002]AlN磁控溅射设备是一种广泛应用于LED领域的薄膜制备设备，其使用物理气象沉积法(PVD)在晶圆(衬底)表面沉积一层AlN薄膜。相关技术中的AlN磁控溅射设备主要包括洁净工作台、装载腔、传输腔、工艺腔和冷却腔。工艺托盘传输的具体流程为：操作人员将洁净工作台以SiC(碳化硅)托盘作为载体进行晶圆装载，之后进入装载腔(大气和真空交互)，腔室抽至真空状态，托盘进入传输腔(腔室为真空状态)，通过机械手将托盘传入工艺腔进行工艺，工艺完成后进入冷却腔进行冷却，之后再传回装载腔，充氮气至大气状态后进行取片操作。由于装载腔与外界交互会引入尘埃，尘埃会影响后续芯片电性能和良率。
[0003]为了将推盘传入传输腔，相关技术中采用片盒搬运片盒，具体为：通过导片机或操作人员将载有晶圆的SiC托盘装入片盒的槽位中，然后将片盒搬运至装载腔进行AlN工艺。
[0004]然而，上述片盒无法将晶圆与大气隔绝，导致晶圆表面在装载和搬运过程中不可避免地被大气环境中的尘埃污染，从而增加AlN工艺过程中颗粒的数量，与此同时，装载腔在装载或卸载片盒时，由于充气会引入尘埃，污染晶圆表面，从而增加晶圆表面颗粒的数量。

技术实现思路

[0005]本申请实施例的目的是提供一种封闭式片盒，能够解决常规片盒无法隔绝晶圆与外界环境，从而导致晶圆表面受到污染而增加AlN工艺过程中晶圆表面颗粒数量的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
[0007]本申请实施例提供了一种封闭式片盒，该封闭式片盒包括：
[0008]顶板、底板和连接于顶板与底板之间的多个立柱，所述立柱上设有多个槽位；
[0009]所述封闭式片盒还包括活动门和侧板，所述活动门和所述侧板分别围设在多个所述立柱的外侧，所述活动门、所述侧板、所述顶板和所述底板共同围成容纳空间，所述活动门的顶部与所述顶板活动连接，所述活动门的底部与所述底板活动连接，所述活动门能够开启或关闭所述容纳空间。
[0010]本申请实施例中，通过顶板、底板、侧板和活动门共同围成一密闭的容纳空间，且活动门可进行开启或关闭，在需要向密闭式片盒内送入载有晶圆的托盘时，将活动门开启，从而方便载有晶圆的托盘送入；晶圆随封闭式片盒装载和搬运的过程中，活动门关闭，从而将晶圆密封在封闭式片盒内部，避免晶圆在装载和搬运过程中直接与大气环境接触，减少大气环境中的尘埃对晶圆表面的污染，从而降低晶圆表面颗粒的数量，提高LED制程生产过程中的外延片表面良率。
附图说明
[0011]图1为本申请实施例公开的活动门处于关闭状态的封闭式片盒的结构示意图；
[0012]图2为本申请实施例公开的去掉侧板的封闭式片盒的结构示意图；
[0013]图3为本申请实施例公开的封闭式片盒的后视图；
[0014]图4为本申请实施例公开的活动门的结构示意图；
[0015]图5为本申请实施例公开的锁紧件的示意图；
[0016]图6为本申请实施例公开的限位部的示意图；
[0017]图7为本申请实施例公开的第一连杆或第二连杆的示意图；
[0018]图8为本申请实施例公开的安装座、悬臂轴、第一连杆或第二连杆、以及紧固件的装配剖视图；
[0019]图9为本申请实施例公开的安装座、悬臂轴和第一连杆或第二连杆的装配剖视图；
[0020]图10为本申请实施例公开的左门、右门、连杆组件及顶板的装配示意图；
[0021]图11为本申请实施例公开的左护板和右护板的示意图；
[0022]图12为本申请实施例公开的左护板、右护板及活动门的装配示意图；
[0023]图13为图12中A处的局部放大图；
[0024]图14为图12中B处的局部放大图。
[0025]附图标记说明：
[0026]100
‑
顶板；110
‑
限位部；120
‑
安装座；130
‑
悬臂轴；140
‑
连接轴；150
‑
提手；
[0027]200
‑
底板；
[0028]300
‑
立柱；310
‑
槽位；
[0029]400
‑
活动门；410
‑
左门；411
‑
磁性件；412
‑
褶边；413
‑
第一弯钩；420
‑
右门；421
‑
吸附板；
[0030]500
‑
侧板；510
‑
左护板；511
‑
第二弯钩；520
‑
右护板；530
‑
后护板；531
‑
活动销；540
‑
可透视窗口；
[0031]600
‑
连杆组件；610
‑
第一连杆；611
‑
容纳孔；612
‑
通槽；620
‑
第二连杆；630
‑
锁紧件；640
‑
紧固件。
具体实施方式
[0032]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0033]本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0034]下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例进行详细地说
明。
[0035]参考图1至图4，本申请实施例公开了一种封闭式片盒，所公开的封闭式片盒包括顶板100、底板200、多个立柱300、活动门400和侧板500。
[0036]其中，顶板100和底板200相对且间隔设置，顶板100和底板200之间通过多个立柱300实现连接，如此，通过顶板100、底板200和多个立柱300形成了封闭式片盒的基本骨架。每个立柱300上设置多个槽位310，这些槽位310用于放置载有晶圆的托盘。通常情况下，将载有晶圆的托盘移动至封闭式片盒内，并对应放置在每个槽位310中。为了使托盘上的晶圆不受外界环境的影本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种封闭式片盒，其特征在于，包括：顶板(100)、底板(200)和连接于顶板(100)与底板(200)之间的多个立柱(300)，所述立柱(300)设有多个槽位(310)；所述封闭式片盒还包括活动门(400)和侧板(500)，所述活动门(400)和所述侧板(500)分别围设在多个所述立柱(300)的外侧，所述活动门(400)、所述侧板(500)、所述顶板(100)和所述底板(200)共同围成容纳空间，所述活动门(400)的顶部与所述顶板(100)活动连接，所述活动门(400)的底部与所述底板(200)活动连接，所述活动门(400)能够开启或关闭所述容纳空间。2.根据权利要求1所述的封闭式片盒，其特征在于，所述侧板(500)包括分别设置于所述活动门(400)左右两侧的左护板(510)和右护板(520)，以及与所述活动门(400)相对设置的后护板(530)，所述左护板(510)、所述右护板(520)及所述后护板(530)各自与所述顶板(100)和所述底板(200)中的至少一者连接。3.根据权利要求1所述的封闭式片盒，其特征在于，所述活动门(400)的顶部通过一连杆组件(600)与所述顶板(100)活动连接，所述活动门(400)的底部通过另一所述连杆组件(600)与所述底板(200)活动连接；所述连杆组件(600)包括第一连杆(610)和第二连杆(620)，所述第一连杆(610)的第一端与所述活动门(400)转动连接，所述第一连杆(610)的第二端与所述顶板(100)或所述底板(200)转动连接，所述第二连杆(620)的第一端与所述活动门(400)转动连接，所述第二连杆(620)的第二端与所述顶板(100)或所述底板(200)转动连接，所述活动门(400)通过所述连杆组件(600)能够绕所述顶板(100)和所述底板(200)运动，以开启或关闭所述容纳空间。4.根据权利要求3所述的封闭式片盒，其特征在于，所述第一连杆(610)和/或所述第二连杆(620)上设有锁紧件(630)，所述顶板(100)和/或所述底板(200)上设有限位部(110)，在所述活动门(400)开启时，所述锁紧件(630)与所述限位部(110)相配合对所述活动门(400)进行限位。5.根据权利要求3所述的封闭式片盒，其特征在于，所述活动门(400)包括左右对称设置的左门(410)和右门(420)，所述左门(410)通过两组所述连杆组件(600)与所述顶板(100)和所述底板(200)分别活动连接，所述右门(420)通过两组所述连杆组件(600)与所述顶板(100)和所述底板(200)分别活动连接，所述左门(410)和所述右门(420)能够分别绕所述顶板(100)和所述底板(200)相向运动或相背运动。6.根据权利要求5所述的封闭式片盒，其特征在于，所述左门(410)和所述右门(420)中的一者上设有磁性件(411)，另一者上设有导磁材质的吸附板(421)，在所述活动门(400)关闭时，所述左门(41...

【专利技术属性】
技术研发人员：任西鹏，李冬冬，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：