密封装置、真空电极引入密封装置及离子源制造方法及图纸

技术编号:29204701 阅读:17 留言:0更新日期:2021-07-10 00:39
本实用新型专利技术公开了密封装置,包括设置在通孔与套设在所述通孔内的工件之间的密封机构Ⅰ,所述通孔的一端设有扩口段Ⅰ,所述扩口段Ⅰ的内径沿着其所在端指向另一端的方向逐渐减小;所述密封机构Ⅰ包括套装在所述工件上并位于所述扩口段Ⅰ内的密封圈Ⅰ和用于向所述密封圈Ⅰ施加与所述扩口段Ⅰ的内径逐渐减小的方向同向的力的作用的密封压紧机构Ⅰ。本实用新型专利技术还公开了一种真空电极引入密封装置及离子源。本实用新型专利技术的密封装置及真空电极引入密封装置不仅能够满足密封要求,而且结构更加简单,所占用的安装空间更小。的安装空间更小。的安装空间更小。

【技术实现步骤摘要】
密封装置、真空电极引入密封装置及离子源


[0001]本技术属于机械密封
,具体的为一种密封装置、真空电极引入密封装置及离子源。

技术介绍

[0002]质谱仪又称质谱计,是一种用于分离和检测不同同位素的仪器。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪。质谱仪以离子源、质量分析器和离子检测器为核心。离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的装置。在离子源中需要引入高真空电极,现有技术中一般采用陶瓷密封组件对高真空电极的引入孔进行密封。然而,由于陶瓷密封组件需要占用较大的安装空间,在一些结构设计较为紧凑的离子源中,现有陶瓷密封组件无法满足要求。

技术实现思路

[0003]有鉴于此,本技术的目的在于提供一种密封装置、真空电极引入密封装置及离子源,不仅能够满足密封要求,而且结构更加简单,所占用的安装空间更小。
[0004]为达到上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0005]本技术首先提出了一种密封装置,包括设置在通孔与套设在所述通孔内的工件之间的密封机构Ⅰ,所述通孔的一端设有扩口段Ⅰ,所述扩口段Ⅰ的内径沿着其所在端指向另一端的方向逐渐减小;所述密封机构Ⅰ包括套装在所述工件上并位于所述扩口段Ⅰ内的密封圈Ⅰ和用于向所述密封圈Ⅰ施加与所述扩口段Ⅰ的内径逐渐减小的方向同向的力的作用的密封压紧机构Ⅰ。
[0006]进一步,所述扩口段Ⅰ的内壁为圆锥面。
[0007]进一步,所述扩口段Ⅰ的锥角为20

90
°

[0008]进一步,所述通孔包括内螺纹段Ⅰ,所述内螺纹段Ⅰ位于所述扩口段Ⅰ内径逐渐增大的方向所在的一侧;所述密封压紧机构Ⅰ包括套装在所述工件上并与所述内螺纹段Ⅰ螺纹配合的密封接头Ⅰ,所述密封接头Ⅰ与所述密封圈Ⅰ之间设有密封压块Ⅰ。
[0009]本技术还提出了一种真空电极引入密封装置,包括设置在电极引入孔与套设在所述电极引入孔内的高压线之间的密封机构Ⅱ,所述电极引入孔的外端设有扩口段Ⅱ,所述扩口段Ⅱ的内径沿着由外向内的方向逐渐减小;所述密封机构Ⅱ包括套装在所述高压线上并位于所述扩口段Ⅱ内的密封圈Ⅱ和用于向所述密封圈Ⅱ施加向内的力的作用的密封压紧机构Ⅱ。
[0010]进一步,所述扩口段Ⅱ的内壁为圆锥面。
[0011]进一步,所述扩口段Ⅱ的锥角为20

90
°

[0012]进一步,所述电极引入孔包括内螺纹段Ⅱ,所述内螺纹段Ⅱ位于所述扩口段Ⅱ的外侧;所述密封压紧机构Ⅱ包括套装在所述高压线上并与所述内螺纹段Ⅱ螺纹配合的密封接头Ⅱ,所述密封接头Ⅱ与所述密封圈Ⅱ之间设有密封压块Ⅱ。
[0013]进一步,所述密封接头Ⅱ采用防水接头。
[0014]本技术还提出了一种离子源,包括外壳和设置在所述外壳内的高压脉冲板,所述外壳上设有如上所述的真空电极引入密封装置,所述电极引入孔设置在所述外壳上,所述高压线穿过所述电极引入孔并与所述高压脉冲板连接。
[0015]本技术的有益效果在于:
[0016]本技术的密封装置,通过在通孔的一端设置扩口段Ⅰ并使扩口段Ⅰ的内径渐变,如此,当密封压紧机构Ⅰ向密封圈Ⅰ施加与其内径减小的方向同向的力的时候,密封圈Ⅰ一方面在力的作用下产生形变,并与工件之间紧密配合,另一方面,扩口段Ⅰ的内壁对密封圈Ⅰ施加与其垂直的压力作用,该压力作用具有垂直于通孔轴线的垂直分力和平行于通孔轴线的平行分力,平行分力与密封压紧机构Ⅰ施加的力平衡,而密封圈Ⅰ与工件之间需要与垂直分力大小相等方向相反的作用力作为平衡力,也即可以将密封压紧机构Ⅰ施加的力转化为密封圈Ⅰ与工件之间的密封结合力,从而达到更好的密封效果,且具有结构简单、所占用的安装空间小的优点。
[0017]同理,本技术的真空电极引入密封装置,通过在电极引入孔的外端设置扩口段Ⅱ,当密封压紧机构Ⅱ向密封圈Ⅱ施加向内的力的时候,密封圈Ⅱ一方面在力的作用下产生形变,并与工件之间紧密配合,另一方面,扩口段Ⅱ的内壁对密封圈Ⅱ施加与其垂直的压力作用,该压力作用具有垂直于电极引入孔轴线的垂直分力和平行于电极引入孔轴线的平行分力,平行分力与密封压紧机构Ⅱ施加的力平衡,而密封圈Ⅱ与工件之间需要与垂直分力大小相等方向相反的作用力作为平衡力,也即可以将密封压紧机构Ⅱ施加的力转化为密封圈Ⅱ与高压线之间的密封结合力,从而达到更好的密封效果,且具有结构简单、所占用的安装空间小的优点。
[0018]本技术的离子源,通过采用真空电极引入密封装置,使用过程中,外壳内部抽真空,也即外壳内外之间具有压力差,该压力差作用在密封圈Ⅱ上,对密封圈Ⅱ施加向内的压力,从而进一步增强密封圈Ⅱ与高压线之间的密封结合力,该密封结合力还可以起到箍紧高压线的作用,使高压线的外皮与内芯之间紧密贴合,进一步避免高压线内部出现泄漏;即本技术的离子源,通过采用真空电极引入密封装置,外壳内的真空度越高,密封性能反而越好,能够满足将真空电极引入离子源的要求。
附图说明
[0019]为了使本技术的目的、技术方案和有益效果更加清楚,本技术提供如下附图进行说明:
[0020]图1为本技术密封装置实施例1的结构示意图;
[0021]图2为本技术离子源实施例2的结构示意图;
[0022]图3为离子源的剖面图;
[0023]图4为图3的A详图。
[0024]附图标记说明:
[0025]1‑
通孔;1a

扩口段Ⅰ;1b

内螺纹段Ⅰ;2

工件;3

密封圈Ⅰ;4

密封接头Ⅰ;5

密封压块Ⅰ;
[0026]11

电极引入孔;11a

扩口段Ⅱ;11b

内螺纹段Ⅱ;12

高压线;13

密封圈Ⅱ;14


封接头Ⅱ;15

密封压块Ⅱ;16

外壳。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好的理解本技术并能予以实施,但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0028]实施例1
[0029]如图1所示,为本技术密封装置实施例1的结构示意图。本实施例的密封装置,包括设置在通孔1与套设在通孔1内的工件2之间的密封机构Ⅰ。通孔1的一端设有扩口段
Ⅰꢀ
1a,扩口段Ⅰ1a的内径沿着其所在端指向另一端的方向逐渐减小。本实施例的密封机构Ⅰ包括套装在工件2上并位于扩口段Ⅰ1a内的密封圈Ⅰ3和用于向密封圈Ⅰ3施加与扩口段Ⅰ1a 的内径逐渐减小的方向同向的力的作用的密封压紧机构Ⅰ。
[0030]进一步,本实施例的扩口段Ⅰ1a的内壁为圆锥面,且扩口段Ⅰ1a的锥角为20
本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封装置,包括设置在通孔(1)与套设在所述通孔(1)内的工件(2)之间的密封机构Ⅰ,其特征在于:所述通孔(1)的一端设有扩口段Ⅰ(1a),所述扩口段Ⅰ(1a)的内径沿着其所在端指向另一端的方向逐渐减小;所述密封机构Ⅰ包括套装在所述工件(2)上并位于所述扩口段Ⅰ(1a)内的密封圈Ⅰ(3)和用于向所述密封圈Ⅰ(3)施加与所述扩口段Ⅰ(1a)的内径逐渐减小的方向同向的力的作用的密封压紧机构Ⅰ。2.根据权利要求1所述的密封装置,其特征在于:所述扩口段Ⅰ(1a)的内壁为圆锥面。3.根据权利要求2所述的密封装置,其特征在于:所述扩口段Ⅰ(1a)的锥角为20

90
°
。4.根据权利要求1

3任一项所述的密封装置,其特征在于:所述通孔(1)包括内螺纹段Ⅰ(1b),所述内螺纹段Ⅰ(1b)位于所述扩口段Ⅰ(1a)内径逐渐增大的方向所在的一侧;所述密封压紧机构Ⅰ包括套装在所述工件(2)上并与所述内螺纹段Ⅰ(1b)螺纹配合的密封接头Ⅰ(4),所述密封接头Ⅰ(4)与所述密封圈Ⅰ(3)之间设有密封压块Ⅰ(5)。5.一种真空电极引入密封装置,包括设置在电极引入孔(11)与套设在所述电极引入孔(11)内的高压线(12)之间的密封机构Ⅱ,其特征在于:所述电极引入孔(11)的外端设有扩口段Ⅱ(11a),所述扩口段Ⅱ(11a)的内径...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘能科汪云飞
申请(专利权)人:重庆中元汇吉生物技术有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1