具有存储功能的真空设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有存储功能的真空设备，包括用于输送玻璃板的传输机构、存储腔体、传送机构，存储腔体位于传输机构上方和/或下方和/或侧面；传送机构设置在传输机构与存储腔体之间，并能够将传输机构上的玻璃移送至存储腔体。能够在玻璃生产线出口腔体停止输送时，将生产线上的玻璃通过传输机构和传送机构移送至本设备的存储腔体，以临时放置玻璃，避免玻璃长时间处于高温区。避免玻璃长时间处于高温区。避免玻璃长时间处于高温区。

【技术实现步骤摘要】
具有存储功能的真空设备


[0001]本技术涉及玻璃生产设备领域，特别涉及一种具有存储功能的真空设备。

技术介绍

[0002]工业生产中有许多真空腔体设备组成的生产线对玻璃进行加热、镀膜等生产，例如以玻璃为基板的PVD(物理气相沉积)生产，通常采用热蒸镀或者磁控溅射等方式，都需要对玻璃进行高温加热。一方面由于原料玻璃自身的缺陷、玻璃前期经过磨边、清洗等工序造成崩边等缺陷不易检测，当有缺陷玻璃经过加热后，运行至最后一个腔体—出口腔(即Load Lock腔体，实现真空和大气状态切换作用的腔体) 时，为保证生产节拍和连续性，快速充入出口腔的压缩空气对高温玻璃产生冲击可能造成有缺陷的玻璃碎裂，导致整条生产线故障停机；另一方面，出口腔包括入口插板阀、出口插板阀、真空泵、抽气隔离阀、充气隔离阀、气体压力开关、真空检测计、检测玻璃位置传感器等众多功能元器件，其中任何一个功能元器件故障都会导致出口腔无法正常工作。以上原因都会导致生产线停止传输玻璃，造成生产线高温区域的玻璃在持续高温下变形报废、工艺条件失效报废等故障，甚至变形的玻璃损害设备。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种具有存储功能的真空设备，能够在出口腔体故障时，将生产线上的玻璃传输并存储在存储腔体内，避免玻璃长时间处于高温区域。
[0004]根据本技术的第一方面实施例的具有存储功能的真空设备，包括用于输送玻璃板的传输机构、存储腔体、传送机构，存储腔体位于传输机构上方和/或侧面；传送机构设置在传输机构与存储腔体之间，并能够将传输机构上的玻璃移送至存储腔体。
[0005]根据本技术实施例的具有存储功能的真空设备，至少具有如下有益效果：能够在出口腔体停止输送时，将生产线上的玻璃传输并存储在本设备的存储腔体内，避免玻璃长时间处于高温区。
[0006]在本技术的一些实施例中，存储腔体与传输机构对接，能够形成一个相对封闭的空间，能够减少外部环境对玻璃的影响。
[0007]在本技术的一些实施例中，存储腔体设置在传输机构上方，传送机构为提升机构，在出口腔体故障时，提升机构能够承接传输机构上的玻璃并将玻璃提升至本设备的存储腔体，使生产线上的玻璃远离高温区，结构合理。
[0008]在本技术的一些实施例中，提升机构包括升降驱动机构及能够由升降驱动机构驱动的提升架组件，提升架组件上设置有至少一个承托卡位，承托卡位能够与传输机构对接，传输机构能够将玻璃板传送至装入承托卡位或与承托卡位对应，升降驱动机构带动提升架组件提升，即可通过承托卡位带动玻璃板升起至存储腔体内。
[0009]在本技术的一些实施例中，承托卡位能够与传输机构上的玻璃板对应，玻璃
板能够移动至与承托卡位对应的位置，并且其边缘进入承托卡位内，当升降驱动机构带动提升架组件升起时即可达到玻璃板上升。
[0010]在本技术的一些实施例中，提升架组件包括提升板、至少两组设置在提升板上的支撑杆，每一支撑杆上间隔设置有至少两个支撑板，相邻支撑板之间的间隔大于玻璃板的厚度，以使得在支撑杆上形成承托卡位，并容许玻璃板的边缘进入。
[0011]在本技术的一些实施例中，支撑杆上设置三个以上的支撑板，以形成两个以上的承托卡位，且支撑杆能够穿过传输机构，且不干涉传输机构运作，使得不同高度的承托卡位能够移动至与传输机构上的玻璃板对应，以便于承接多块玻璃板。
[0012]在本技术的一些实施例中，支撑杆自提升板向下延伸，存储腔体内设置有若干与提升板配合的导向轴，以提高其移动的位置精度。
[0013]在本技术的一些实施例中，升降驱动机构为拉索驱动机构，拉索驱动机构包括转动设置在存储腔体上的卷筒、能够驱动卷筒转动的卷筒驱动机构、设置在提升板上的滑轮组、及承重绳，承重绳绕过滑轮组且两端分别固定在卷筒上，当卷筒驱动机构带动卷筒转动时，能够通过收放卷承重绳实现提升板的升降驱动。
[0014]在本技术的一些实施例中，卷筒驱动机构为一减速电机同步带驱动机构，通过电机配合同步带机构带动卷筒转动，并配合张紧轮调节同步带的张紧力，使得传动高效可靠。
[0015]在本技术的一些实施例中，升降驱动机构为丝杆驱动机构，丝杆驱动机构包括可转动设置在存储腔体上的丝杆、能够驱动丝杆转动的丝杆驱动机构、固定安装在提升板上的丝杆螺母，丝杆与丝杆螺母形成滚珠丝杆副，通过丝杆驱动机构带动丝杆转动，即可驱动丝杆螺母带动提升板升降移动。
[0016]在本技术的一些实施例中，丝杆驱动机构为一减速电机，直接传动至丝杆，结构简单，传动精度高。
[0017]在本技术的一些实施例中，传输机构包括传输基座、多组可转动设置在传输基座上的传输辊、及能够驱动传输辊转动的传输驱动机构，通过多组传输辊转动实现对玻璃板的输送。
[0018]在本技术的一些实施例中，支撑杆能够穿过相邻两组传输辊之间的间隙，以实现玻璃板的正常取放，且不干涉传输机构的输送。
[0019]在本技术的一些实施例中，相邻的传输辊之间通过同步带联动机构联动，传输驱动机构包括减速电机及同步带传动机构，减速电机的输出轴通过同步带传动机构连接任意一个传输辊，即可实现传输辊的同步转动输送。
[0020]在本技术的一些实施例中，同步带联动机构及同步带传动机构均配置有张紧轮，以调整同步带的张紧力，使得传动可靠、稳定。
[0021]在本技术的一些实施例中，传输基座的一侧设置有与传输辊对应的磁流体密封装置，传输辊的一端连接至磁流体密封装置的一端，磁流体密封装置的另一端与传输驱动机构连接，实现传动机构的密封及传动连接。
[0022]在本技术的一些实施例中，传输基座上开设有与传输辊的传动平面对应的玻璃进口，用于接收送入的玻璃板，该玻璃进口与玻璃板对应，以减少传输机构及存储腔体与外部空气的对流，提高隔离的效果，实现真空密封传输。
[0023]在本技术的一些实施例中，传输基座下方设置有与提升机构对应的下腔体，形成能够部分容纳提升机构的封闭空间，提高隔离的效果。
[0024]在本技术的一些实施例中，下腔体与支撑杆对应，以为支撑杆提供足够的下移空间。
[0025]在本技术的一些实施例中，传输基座的侧壁上设置有第一液冷管组，以降低传输基座侧壁的温度，保护磁流体密封装置。
[0026]在本技术的一些实施例中，存储腔体下端为开口结构并盖装在传输基座上，形成密闭结构，保持真空密封传输。
[0027]在本技术的一些实施例中，存储腔体下端开口与传输基座之间设置有第一密封圈，提高密封的效果。
[0028]在本技术的一些实施例中，存储腔体包括上端和下端均为开口结构的主壳体、盖装在主壳体的上端的开口结构上的盖板，以便于存储腔体内的提升机构的安装及维护。
[0029]在本技术的一些实施例中，主壳体的上端的开口结构与盖板之间设置有第二密封圈，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有存储功能的真空设备，其特征在于，包括：传输机构(100)，用于输送玻璃板(900)；存储腔体(300)，所述存储腔体(300)位于所述传输机构(100)上方和/或侧面；传送机构，所述传送机构设置在所述传输机构(100)与所述存储腔体(300)之间，并能够将所述传输机构(100)上的玻璃板(900)移送至存储腔体(300)。2.根据权利要求1所述的具有存储功能的真空设备，其特征在于，所述存储腔体(300)设置在所述传输机构(100)上方，所述传送机构为提升机构，所述提升机构能够承接所述传输机构(100)上的玻璃板(900)并将玻璃板(900)提升至存储腔体(300)。3.根据权利要求2所述的具有存储功能的真空设备，其特征在于，所述提升机构包括升降驱动机构及能够由所述升降驱动机构驱动的提升架组件，所述提升架组件上设置有至少一个承托卡位(201)，所述承托卡位(201)能够与所述传输机构(100)对接，所述传输机构(100)能够将所述玻璃板(900)传送至装入所述承托卡位(201)。4.根据权利要求3所述的具有存储功能的真空设备，其特征在于，所述提升架组件包括提升板(221)、至少两组设置在所述提升板(221)上的支撑杆(222)，每一所述支撑杆(222)上间隔设置有至少两个支撑板(223)，相邻所述支撑板(223)之间的间隔大于所述玻璃板(900)的厚度，以使得在所述支撑杆(222)上形成所述承托卡位(201)。5.根据权利要求4所述的具有存储功能的真空设备，其特征在于，所述升降驱动机构为拉索驱动机构，所述拉索驱动机构包括转动设置在所述存储腔体(300)上的卷筒(211)、能够驱动所述卷筒(211)转动的卷筒驱动机构(212)、设置在所述提升板(221)上的滑轮组(213)、及承重绳(214)，所述承重绳(214)绕过所述滑轮组(213)且两端分别固定在所述卷筒(211)上。6.根据权利要求4所述的具有存储功能的真空设备，其特征在于，所述升降驱动机构为丝杆驱动机构，所述丝杆驱动机构包括可转动设置在所述存储腔体(300)上的丝杆(215)、能够驱动所述丝杆(215)转动的丝杆驱动机构(216)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志海，邝斌，陈金良，齐鹏飞，赖新暖，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：