软模板的拉力检测系统及检测方法技术方案

本发明专利技术实施例提供了一种软模板的拉力检测系统及检测方法，所述拉力检测系统包括：固定装置，所述固定装置用于固定软模板；投影装置，所述投影装置用于向所述软模板投射预设的检测图像，其中，所述检测图像覆盖所述软模板；检测装置，所述检测装置用于接收所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像，所述反射图像用于分析所述固定装置对所述软模板的拉力。本发明专利技术的具有提高软模板的拉力检测准确性的优点。

【技术实现步骤摘要】
软模板的拉力检测系统及检测方法
本专利技术涉及纳米压印
，特别涉及一种软模板的拉力检测系统及检测方法。
技术介绍
纳米压印技术是近年来在国际上迅速发展起来的微纳制造技术，以其超高图形精度(亚10nm)、工艺和设备简单、工艺吞吐量高等特点，备受学术界和工业界关注，被认为是下一代低成本、大规模制造纳米结构最有潜力的技术之一。纳米压印技术使用机械压印方式来复制微纳表面结构，根据工艺和使用材料的不同，通常分为热塑纳米压印和紫外固化纳米压印。在纳米压印生产过程中，进行大面积压印时，普遍需要制作软膜板版，从而通过软膜板版实现压印图像从硬膜版到目标产物之间的转印。传统的软模板一般由夹具及软膜板组成，但是在软膜板装载到夹具的过程中，容易造成软膜板两端拉力不均，软膜板内部松弛等问题，会在后续的纳米压印过程造成纳米压印缺陷甚至纳米压印转印失败的问题。当前，一般通过手指感受夹具对软膜板的拉力，以判断软膜板是否受力均匀，由于不同人的检测标准不同，导致夹具对软膜板的拉力检测存在较大的误差。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提供一种软模板的拉力检测系统，旨在解决目前人工检测夹具对软膜板的拉力攒在较大误差的问题。为实现上述目的，本专利技术实施例提供一种软模板的拉力检测系统，所述拉力检测系统包括：固定装置，所述固定装置用于固定软模板；投影装置，所述投影装置用于向所述软模板投射预设的检测图像，其中，所述检测图像覆盖所述软模板；检测装置，所述检测装置用于接收所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像，所述反射图像用于分析所述固定装置对所述软模板的拉力。进一步地，所述固定装置包括：固定框，所述固定框用于固定所述软模板至少两个相对的侧边；支架，所述固定框可调节设置于所述支架上。进一步地，所述投影装置包括：上位机；投影仪，所述投影仪与所述上位机电性连接，所述上位机用于控制所述投影仪向所述软模板投射所述检测图像。进一步地，所述检测装置包括：幕布，所述幕布所在平面与所述软模板所在平面平行，经所述软模板反射形成的所述反射图像投射至所述幕布上；相机，所述相机用于拍摄所述幕布上的所述反射图像。进一步地，所述投影仪将所述检测图像倾斜投射至所述软模板上，所述软模板将所述反射图像倾斜投射至所述幕布上，以使所述软模板上的检测图像的中轴线与所述幕布上的反射图像的中轴线不在同一直线上。进一步地，所述投影仪到所述软模板所在平面的垂直距离为第一距离，所述幕布到所述软模板所在平面的垂直距离为第二距离，所述第二距离大于或者等于所述第一距离。进一步地，预设的所述检测图像为棋盘格图像。为实现上述目的，本专利技术还提供一种软模板的拉力检测方法，应用于如上任一项所述的软模板的拉力检测系统，所述拉力检测方法包括如下步骤：控制所述投影装置向所述固定装置上的软模板投射预设的检测图像；通过所述检测装置获取所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像；根据所述反射图像分析所述固定装置对所述软模板的拉力。进一步地，所述控制所述投影装置向所述固定装置上的软模板投射预设的检测图像的步骤之前包括：将所述软模板安装于所述固定装置上。进一步地，预设的所述检测图像为棋盘格图像，所述根据所述反射图像分析所述固定装置对所述软模板的拉力的步骤包括：将所述反射图像轴划分成若干区域，将划分得到的所述区域依次作为待分析区域；根据所述待分析区域获取对比区域，其中，所述对比区域与所述待分析区域关于所述反射图像的对称轴对称；将所述待分析区域与所述对比区域进行比对得到相似度，根据相似度分析所述固定装置对所述软模板的各个区域的拉力。本专利技术的技术方案中，通过将所述软模板固定于所述固定装置上，并通过所述投影装置向所述软模板投射预设的检测图案，通过所述软模板反射所述检测图案以形成反射图案，通过分析所述反射图像是否形变以及形变的程度即可分析所述固定装置对所述软模板的拉力，比如，所述固定装置对所述软模板的拉力是否足以使所述软模板张紧成平板状(内部不松弛)，再如，所述软模板与所述固定装置的各个连接位置是否受到所述固定装置的均匀的拉力等，通过上述方式，可以通过所述反射图像客观地分析所软模板受到的拉力情况，相比于通过手指判断所述软模板的受力情况，可以提高对所述软模板的拉力分析的准确性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本专利技术软模板的拉力检测系统一实施例的结构示意图；图2为本专利技术预设的检测图像一实施例的示意图；图3为本专利技术软模板的拉力检测方法一实施例的流程示意图；图4为本专利技术软模板的拉力检测方法另一实施例的流程示意图；图5为本专利技术步骤S30一实施例的具体流程示意图。本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明，本专利技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果所述特定姿态发生改变时，则所述方向性指示也相应地随之改变。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本专利技术要求的保护范围之内。请参照图1-2，本专利技术实施例提供一种软模板200的拉力检测系统100，所述拉力检测系统100包括：固定装置10，所述固定装置10用于固定软模板200；投影装置20，所述投影装置20用于向所述软模板200投射预设的检测图像，其中，所述检测图像覆盖所述软模板200；检测装置30，所述检测装置30用于接收所述软模板200反射所述检测图像形成的反射图像，所述反射图像用于分析所述固定装置10对所述软模板200的拉力。在本实施例中，所述软模板200用于在纳米压印过程中将硬模板上的图像转印到目标产品上，在纳米压印之前，需要将所述软模板200装载于所述固定装置10上，以通过所述固定装置10的拉力将所述软模板200张紧，在纳米压印过程中，移动所述固定装置10将所述软模板200移动至目标产品上，再通过压印元件如滚轮将所述软模板200压向目标产品，从而在所述目标产品上压印出所需的图形。在本实施例中，在进行纳米压印之前，将所述固定装置10以及所述固定装置10上的软模板200放置于预设位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种软模板的拉力检测系统，其特征在于，所述拉力检测系统包括：/n固定装置，所述固定装置用于固定软模板；/n投影装置，所述投影装置用于向所述软模板投射预设的检测图像，其中，所述检测图像覆盖所述软模板；/n检测装置，所述检测装置用于接收所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像，所述反射图像用于分析所述固定装置对所述软模板的拉力。/n

【技术特征摘要】
1.一种软模板的拉力检测系统，其特征在于，所述拉力检测系统包括：
固定装置，所述固定装置用于固定软模板；
投影装置，所述投影装置用于向所述软模板投射预设的检测图像，其中，所述检测图像覆盖所述软模板；
检测装置，所述检测装置用于接收所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像，所述反射图像用于分析所述固定装置对所述软模板的拉力。


2.根据权利要求1所述的软模板的拉力检测系统，其特征在于，所述固定装置包括：
固定框，所述固定框用于固定所述软模板至少两个相对的侧边；
支架，所述固定框可调节设置于所述支架上。


3.根据权利要求1所述的软模板的拉力检测系统，其特征在于，所述投影装置包括：
上位机；
投影仪，所述投影仪与所述上位机电性连接，所述上位机用于控制所述投影仪向所述软模板投射所述检测图像。


4.根据权利要求1所述的软模板的拉力检测系统，其特征在于，所述检测装置包括：
幕布，所述幕布所在平面与所述软模板所在平面平行，经所述软模板反射形成的所述反射图像投射至所述幕布上；
相机，所述相机用于拍摄所述幕布上的所述反射图像。


5.根据权利要求4所述的软模板的拉力检测系统，其特征在于，所述投影仪将所述检测图像倾斜投射至所述软模板上，所述软模板将所述反射图像倾斜投射至所述幕布上，以使所述软模板上的检测图像的中轴线与所述幕布上的反射图像的中轴线不在同一直线上。


6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩兴君，赵东峰，李莹，郭培亮，张玉良，蔡璐，饶轶，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37